-FLUOROSULFURES ET -FLUOROSULFOXYDES, PRECURSEURS APPROPRIES A LA SYNTHESE DE FLUOROALCENES (Z)

CAEN-BU Sciences et STAPS (141182103) / SudocSudocFranceF

Étude et optimisation d une étape industrielle de dépôt polysilicium dopé in situ au phosphore par LPCVD

La fabrication de microstructures à forts facteurs d aspect s impose pour l intégration des composants électroniques passifs. Une des étapes clés de ces procédés d intégration est le remplissage des structures 3D, réalisé par le dépôt d une couche de polysilicium fortement dopé in situ (ISDP) par LPCVD. Cette thèse a permis l étude, le développement et l optimisation d étapes de dépôt ISDP à travers un procédé d intégration de structures passives. Les objectifs industriels liés à cette étape de dépôt ISDP sont les suivants : Remplir conformément des structures à fort facteur d aspect tout en réalisant des résistances de précision. Pour atteindre les objectifs fixés, ces travaux ont été abordés suivant deux axes principaux. Le premier axe concerne les études théoriques et expérimentales visant à qualifier et à quantifier les paramètres influents de l étape. Le second axe décrit les travaux de développement réalisés ainsi que la mise en place de méthodologies spécifiques d amélioration.The manufacturing of microstructures with high aspect ratio (A.R.) is becoming essential for passives components integration. One of the key steps in theses integrating processes is the filling of 3D structures, realized by an highly phosphorous in situ doped polysilicon (ISDP) by LPCVD method. This thesis is related to the study, the development and the optimization of an industrial ISDP stage through a process that integrates passives structures on 5 and 6 inches wafers. Industrials goals linked to this ISDP stage are following: Fill high AR structures with a good step coverage while realizing high precision resistances. In order to reach fixed goals, the work has been divided in two main parts. The first part concerns theoretical and experimental studies made in order to qualify and quantify most influent parameters of the stage. The second part describes the developing work made and specific improvement methodologies implemented on the ISDP stage.RENNES1-BU Sciences Philo (352382102) / SudocSudocFranceF

Assessment and Non-clinical Impact of Medical Devices

Medical devices (MDs) cover a wide variety of products. They accompany changes in medical practice in step with technology innovations. Innovations in the field of MDs can improve the conditions of use of health technology and/or modify the organisation of care beyond the strict diagnostic or therapeutic benefit for the patients. However, these non purely clinical criteria seem to be only rarely documented or taken into account in the assessment of MDs during reimbursement decisions at national level or for formulary listing by hospitals even though multidimensional models for the assessment of health technologies have been developed that take into account the views of all stakeholders in the healthcare system In this article, after summarising the background concerning the assessment of health technologies in France, a definition of non-clinical criteria for the assessment of MDs is proposed and a decision tree for the assessment of MDs is described. Future lines of approach are proposed as a conclusion

Evaluation et impact non clinique des dispositifs médicaux

Les dispositifs médicaux (DM) couvrent une large variété de produits. Ils accompagnent, au gré des innovations technologiques, l’évolution des pratiques médicales. Les innovations dans le champ du DM peuvent améliorer les conditions d’utilisation de la technologie de santé et/ou modifier l’organisation des soins au-delà du strict bénéfice thérapeutique ou diagnostique pour le patient. Cependant, ces critères non purement cliniques semblent n’être que rarement documentés ou pris en compte dans l’évaluation des DM lors des décisions de remboursement au niveau national ou de référencement au niveau des établissements de santé alors même que des modèles d’évaluation multidimensionnelle des technologies de santé, prenant en compte le point de vue de l’ensemble des acteurs du système de santé, ont été élaborés. Dans cet article, après avoir rappelé le contexte de l’évaluation des technologies de santé en France, une définition des critères d’évaluation non clinique des DM est proposée et un arbre de décision pour l’évaluation des DM est décrit. Des pistes de réflexion sont proposées en conclusion. Abréviations : voir en fin d’article