Silicon oxide contact hole etching employing an environmentally benign process

An environmentally benign etching process using a solid material evaporation technique has been investigated for preventing global warming. In this process, a polytetrafluoroethylene is evaporated by a CO_2 laser, resulting in production of fluorocarbon species working as the etching species. Therefore, this system employs no perfluorocompound feed gases, which cause global warming, and enables us to design a new plasma chemistry using the solid material. The system was successfully applied to a SiO_2 contact hole etching process employing a planar electron cyclotron resonance plasma. The etched profile was successfully controlled by varying the Ar dilution ratio and the process pressure. In a 0.6 μm contact hole and a 0.08 μm trench fabrication process, this novel process enables us to realize high etching performances, where the etching rate of SiO_2 , selectivities of SiO_2/resist, and SiO_2 /Si were 340 μm/min, 6.8 and 31, respectively, in optimal condition. To clarify the plasma chemistry using solid material evaporation, CF_x (x=1 – 3) radical densities and F atom density were measured by infrared diode laser absorption spectroscopy and actinometric optical emission spectroscopy, and fluorocarbon films deposited on SiO_2 were analyzed by x-ray photoelectron spectroscopy. On the basis of these results, the etching mechanism was discussed.journal articl

ゲンチョ キンゾクステント expandable metallic stent ニ ヨル アクセイ タンドウ キョウサク ナイロウ ジュツ ノ チリョウ セイセキ

平成3年4月から平成8年2月にかけ当院及び関連施設で expandable metallic stent(EMS)による経皮経肝的悪性胆道狭窄内瘻術を29例(男性12例,女性17例,31～92歳,平均70歳)に施行した。原疾患は,肝門部胆管癌11例,中下部胆管癌10例,胆嚢癌4例,その他4例であった。EMSの留置は,PTCDに引続き,そのルートを用いて行った。EMS留置成功率は96.6%,家庭復帰率は89.7%であった。外瘻チュープ抜去時からの全体の累積生存期間は,50%生存期間で30週であった。予後因子について多変量解析の結果,病変の範囲(病変の限局性),放射線治療,胆道の狭窄の長さが予後に影響していた。併用抗腫瘍療法としては,病変の限局群では放射線療法が有意に予後の改善に寄与したが,病変の非限局群では,併用抗腫瘍療法は,予後の改善に寄与しなかった。ステントの閉塞は,31%に見られ,閉塞群の平均ステント開存期間は14週であった。原因は腫瘍の再増殖,および sludgeによるものが多かった。合併症は,重篤なものとして肝膿瘍が2例に見られた。逸脱は,1例に見られたが合併症はなかった。EMSによる悪性胆道狭窄内瘻術は,患者のQOLの改善に寄与し,有用な方法であるが,併用抗腫瘍療法は,その症例の病変の範囲などから予後を考慮して行うべきと考えられたjournal articl

Proposal of education materials for learning a desired science using a Questionnaire

We carried out a questionnaire survey to clarify the interesting engineering field (mechatronics technologies) for schoolchild. Regardless of gender, more than 60% of them expressed their interest in robot construction. We also propose an education material of robot construction for learning a desired science.departmental bulletin pape

Improved measurement of CP-violation parameters sin⁡2ϕ1 and |λ|, B meson lifetimes, and B0-B̅0 mixing parameter Δmd

journal articl

太平洋戦争における「終戦」の過程 : 沖縄統治の形態と範囲をめぐる軍事と行政の相克

application/pdf來生新教授退職記念号departmental bulletin pape

HANDS プロジェクト始動

一般雑誌記事 / Articlearticl

Layered optical tomography of multiple scattering media with combined constraint optimization

In this paper, we proposed an improved optical scattering tomography for optically dense media. We model a material by many layers with voxels, and light scattering by a distribution from a voxel in one layer to other voxels in the next layer. Then we write attenuation of light along a light path by an inner product of vectors, and formulate the scattering tomography as an inequality constraint optimization problem solved by an interior point method. To improve the accuracy, we solve simultaneously four configurations of a multiple-scattering tomography, however, this would increase the computational cost by a factor of four if we simply solved the problem four times. To reduce the computation cost, we introduce a quasi-Newton method to update the inverse of a Hessian matrix used in the iteration of the interior point method. We show experimental results with numerical simulation for evaluating the proposed method and comparisons with our previous work.conference pape

クラフトリグニンの化学構造 特に縮合型構造の分布について

application/pdf3区分に溶剤分別したクラフトリグニンの性状を主として核交換法およびニトロベンゼン酸化分解法によって解析し、クラフト蒸解過程におけるリグニン分子の変化、特に縮合反応に考察を加えた。パルプ化過程で二次的に形成されたジフェニルメタン型縮合構造は、低分子量区分により高分子量区分でより少なかった。高分子量区分におけるジフェニルメタン型構造は、フェノール・ホルムアルデヒド樹皮型に富むとみなされ、一方低分子量区分には、ジフェニルメタン型縮合構造に加えて、側鎖同志の縮合により不活性化した構造もかなり多く存在することが示唆された。Industrial kraft lignin (TOKAI Lignin F) was fractionated into three fractions (F-2, F-3 and F-4), based on the solubility to acetone, acetone-water, and methanol. The properties of each fraction were examined by nuclear exchange method and nitrobenzene oxidation. The reactivity of side chains of non-condensed units was similar to that of MWL, in high molecular weight fraction (F-2),whereas, was very low in low molecular weight fraction (F-4). The diphenylmethane types of condensation during the pulping process were less in high molecular weight fraction (F-2), compared with low molecular weight fractions (F-3 and F-4). It was suggested that the diphenylmethane structures in high molecular weight fraction are rich in phenol-formaldehyde resin types, whereas, in low mokecular weight fraction, there are also more amounts of inactive structures condensed secondary between side chains, in addition to diphenylmethane structures.departmental bulletin pape

第6回筑波技術大学保健科学部アメリカ研修

筑波技術大学保健科学部としては第1回、筑波技術短期大学視覚部時代からは通算で6回目のアメリカ研修を平成19年3月7日から同15日までの日程で行った。　研修期間の前半は大学間交流協定締結校のひとつであるニューヨーク州立大学バッファロー校（UB）を訪れた。訪問した学内の障害補償支援センターやニューヨーク州西部生活自立支援センターでは、高等教育機関やニューヨーク州・アメリカ国内における障害者支援や社会自立について理解を深めた。語学研修センターでは実際の授業に参加する機会を得た。　期間の後半は場所をニューヨーク市に移して、参加学生自らの立案により、東洋医学に関するプログラムを提供しているパシフィック・カレッジ・オブ・オリエンタル・メディスン（PCOM）を主たる研修先として訪問した。そこでは、アメリカ国内での東洋医学の現状と今後の展望などについて理解を深めた。departmental bulletin pape

Aerodynamic Characteristics of a Concentrator Photovoltaic System

Aerodynamic characteristics of a scale model of a concentrator photovoltaic system built near the ground were investigated for a wide range of yaw and attack angles. For smaller angles of incidence, aerodynamic forces are proportional to projected area in the transverse and lateral direction to the free stream. However, as the angles increase, separated shear layers reattach on the rear surface of the panel, and some deviations appear from the sine or cosine curve of the aerodynamic coefficients. Measurements revealed the effect of blockage by the ground on the aerodynamic forces and moment.departmental bulletin pape