211 research outputs found

    Analysis and design of MEMS-based F-P cavity filter

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    通过对微光纤法布里-珀罗(F-P)腔滤波器工作原理的综合分析,确立了微F-P腔滤波器静电驱动腔长调谐方案。对可调谐滤波器的主体部分进行光学设计和; 分析,确立了反射镜的多层薄膜光学结构,并借助ANSYS有限元力电耦合分析,最终选择L型桥臂支撑的腔体结构,可以实现0.625; mum的调谐范围;保持桥面平行的能力很高,可实现高精度的滤波效果;结构稳固,能够抵抗制造时的残余应力。By comprehensive analysis on working principle of micro F-P cavity; filter,the optimum tuning scheme of micro F-P cavity filter is; established. The main part of the optical structure is designed, a; multilayer film structures of the mirror is established,and with the; help of ANSYS finite element electro-mechanical coupling analysis,L type; bridge arm supported cavity structure is finally established, the; structure can achieve a considerable range of tuning 0.625 mum;; relatively high fill factor,filter light leakage is avoided; the high; ability to keep parallel can achieve high precision filtering effect;; structural stability can resist the residual stress of manufacture.深圳市科技计

    Study on key fabrication process of micro F-P cavity tunable filter

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    采用表面加工工艺,AZ5214E光刻胶进行光刻并反转,磁控溅射Ni Cr合金,剥离出高度为2.3μm的金属桥墩,填充聚酰亚胺作为牺牲层,再在牺牲层上光刻、沉积金属形成金属桥面,在金属桥面的中心嵌入第二布拉格反射镜。采用O2等离子体刻蚀去除聚酰亚胺膜,制作成微法布里—珀罗(F-P)腔,不需要硅片键合,克服了传统F-P腔高度不够高、调谐范围有限、腔平整度不好以及对设备要求高的缺点,并且可以做出大阵列结构,易于探测器集成。着重对腔体关键工艺,即金属桥墩的Ni Cr剥离工艺进行研究,针对现有技术缺陷,提出解决办法。Using surface processing technology,AZ5214 E photoresist lithography and inverted,magnetron sputtering Ni Cr alloy,stripping out metal pier with height of 2. 3 μm,fill polyimide as sacrificial layer,and then on sacrificial layer photolithography,depositing metal to form metal bridge,in the center of metal bridge surface,embed the second Bragg reflector. Using O2 plasma etch and remove polyimide film,form cavity structure,without silicon bonding,overcome shortcoming that height is not high enough and the limited tuning range of traditional FP cavity,bad flatness of cavity and low demand of equipment,and it can make a large array structure,easy to integrate with the detector. Focus on key fabrication process that is Ni Cr metal stripping process,propose solutions based on existing technical defects.深圳市科技研发资金资助项目(JCYJ20140529163538765

    大数据环境下图书馆用户个人的信息保护研究

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    本文从技术角度对大数据环境下图书馆用户个人的信息保护进行研究,探讨目前主流的用户个人信息保护技术,基于用户身份加密和属性加密的双重算法对用户信息保护的方法,结果满足图书馆个人信息保护需求,得出在大数据环境下用户身份和属性双重加密能够提高图书馆用户个人信息的保护能力.福建省中青年教师教育科研项目(JZ170332);福建省中青年教师教育科研项目(JAT170436

    センダイヘイヤ ノ カイガンリン ヤシキリン イグネ ノ サイガイ チョウセイ サービス キノウ

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    今回の研究を通して、海岸林や屋敷林(いぐね)が津波・瓦礫から建物被害を軽減させ、後背地の被害を和らげる力を明らかにした。今回の大津波で、緑豊かな仙台平野の姿は一変した。ヒアリング調査では、「集落全体を囲うようないぐねを国や自治体で作っていくべきではないか」という回答が得られた。現代の居住構造からしても、いぐねを手入れする手間を考えると、若い世代が個人でいぐねを設けることは難しい。浸水したが現在もいぐねを守り、そこにまた住んでいくという人々は、国や自治体が何らかの補助で、いぐねのある昔ながらの屋敷として復活したいと望んでいる。また、集団移転などで新たな集落、あるいは人口密集地域を今後仙台平野の微高地に作る場合には、集落を一周するような大きな島のようないぐねを作ることで、防災・防砂に加え、緑豊かな仙台平野というイメージの復活につながっていくことが課題となっている。いぐねは、歴史ある緑豊かな仙台平野を復活させるシンボルである

    要求追加によるインパクトの分析に基づく組込みソフトウェア開発の効率化(開発支援(学生セッション))

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    Article情報処理学会研究報告. ソフトウェア工学研究会報告. 2008(29): 17-24 (2008)journal articl

    Numerical simulation about trapping two particles in microfluidic dielectrophoretic chip

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    In this paper, we calculated the spatial locally averaged velocity strains along the streamwise direction with four scales in the velocity vector field of turbulent boundary layer by utilizing the three-dimensional three-component database of time series of velocity field measured by tomographic time-resolved particle image velocimetry. We introduced an improved quadrant splitting method based on the spatial local-averaged velocity strains and a new conditional sampling phase average method as a data-mining criterion to detect and extract the inherent coherent structures from such turbulence signal database. Furthermore, we used the improved quadrant splitting method to obtain and investigate the spatial topologies of fluctuating velocity and fluctuating vorticity with four scales whose center was a strong second-quadrant event (Q2) or a fourth-quadrant event (Q4). Results illustrate that there is a better similarity of the multi-scale coherent structures in wall-normal direction than the one in other two dimensions. © 2012 IEEE
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