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Electrolyte Gated Metal Oxide Transistors
L’invention du transistor a significativement affectée le progrès technique et scientifique de notre
société. Depuis plus de 50 ans, les transistors sont utilisés comme composants actifs dans les
circuits électroniques, pour réaliser des amplificateurs ou des interrupteurs par exemple. La plus
fascinante des directions futures pour le développement des transistors consiste en leur utilisation
dans des dispositifs électroniques flexibles, légers et biocompatibles.
Les oxydes métalliques semi-conducteurs ont été intensivement étudiés au cours des dernières
décennies pour des applications dans les transistors, du fait de la grande mobilité de leurs
porteurs de charges (∼1– 100 cm2V-1s-1), de leur importante transparence optique, de leur
stabilité chimique ainsi que de leur faible coût de fabrication. Les oxydes métalliques sont divisés
entre les oxydes de transition et ceux post-transition, dépendamment des métaux, qui possèdent
différentes configurations électroniques et donc différentes conductivités.
Dans cette thèse, nous allons nous concentrer sur les deux principaux représentants des oxydes
métalliques de transition et post-transition, i.e., le TiO2 et le SnO2, utilisés comme matériaux de
canal dans des transistors utilisant un électrolyte comme diélectrique à la grille. Le TiO2 et le
SnO2 sont abondants et biointégrables, possèdent une large bande interdite (3-4 eV), et peuvent
être utilisés comme canal de transistor pour de nombreuses applications différentes.
Remplacer le diélectrique conventionnel dans les transistors à couche minces par un électrolyte
donne l’opportunité de décroître le voltage auquel le transistor est opéré du fait de la haute
capacitance de la double couche électrique (autour de 10 μF/cm2) qui se forme à l’interface entre
l’électrolyte et le semi-conducteur. Cette capacitance élevée permet l’accumulation d’une
importante densité de porteurs de charges dans le canal et rend donc possible la transition entre
un état isolant et un état semi-conducteur voire métallique. Les transistors utilisant un électrolyte
comme diélectrique à la grille (EGTs) peuvent être employés comme éléments de matrice active
pour les écrans à faible puissance ou encore intégrés dans des textiles ou d’autres matériaux
flexibles. Les EGTs peuvent aussi être utilisés dans d'autres applications prometteuses que sont
telles les capteurs chimiques ou biologiques, du fait de leur haute sensibilité aux ions et de leur
compatibilité avec les électrolytes aqueux.
Le coeur de cette thèse est dévoué à une meilleure compréhension des mécanismes d’opération
d’une importante classe de transistors à couche minces, i.e. les transistors à oxydes métalliques
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utilisant un électrolyte comme diélectrique à la grille, afin d’optimiser leurs performances et de
développer des agencements géométriques pour permettre d’obtenir des transistors à haute
performance. Les EGTs consistent en un canal en oxyde métallique et en une électrode de grille
en contact avec un électrolyte. L’application d’un voltage à la grille entraîne la formation d’une
double couche électrique au niveau de l’interface entre le canal et l’électrolyte, qui permet de
moduler la densité des porteurs de charges dans le canal. Les mécanismes de dopage et la
modulation de la densité des porteurs de charges dans les EGTs ont été étudiés par caractérisation
électrique des transistors, par voltammétrie cyclique (CV) ainsi que par spectroscopie
d’impédance électrochimique.
Des transistors SnO2 et TiO2 utilisant des liquides ioniques à la grille ont été fabriqués sur des
substrats en silicone. Une méthode de gravure non conventionnelle utilisant le parylène a été
utilisée pour étudier le rôle joué par l’extension des interfaces électrolyte/semi-conducteur et
électrode/semi-conducteur sur le dopage ainsi que sur les processus de transport des porteurs de
charges. Le chevauchement entre les électrodes métalliques et le semi-conducteur, qui est en
contact avec l’électrolyte, affecte le processus d’injection des charges. La gravure a entraîné
l’augmentation de la densité des porteurs de charges d’un à deux ordres de magnitude dans les
deux oxydes métalliques. De plus, les EGTs à SnO2 ont été fabriqués sur des substrats flexibles
en polyimide. Les transistors EGTs à SnO2 flexibles possèdent de bonnes propriétés électriques
lorsqu’ils sont pliés selon différents rayons de courbure et ils pourraient posséder un fort potentiel
pour des applications dans le domaine de l’électronique flexible.
Les effets de la structure et de la morphologie des semi-conducteurs sur les performances des
transistors ont été étudiés. Dans ce but, des films de TiO2 poreux à très forte densité ont été
fabriqués par traitement à partir d’une solution ainsi que par évaporation par faisceau d’électrons.
Les EGTs à TiO2 faits par évaporation possédaient un courant plus élevé ainsi qu’un ratio on/off
plus haut du fait d’une meilleure qualité de la structure. Les effets des gros cations [EMIM] et des
petits cations Li+ sur les mécanismes de dopage ont été étudiés en utilisant deux électrolytes
[EMIM][TFSI] et [EMIM][TFSI] mélangé avec un sel de lithium. Les relativement gros cations
[EMIM] ne peuvent pas pénétrer à l’intérieur du maillage cristallin du TiO2. L’intercalation de
petits cations comme le Li+ a été rendue possible à la fois dans les films denses et dans les films
mésoporeux de TiO2 par réduction de la vitesse de balayage dans les mesures courant/voltage.
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Les mécanismes de transport des charges des transistors utilisant un électrolyte comme
diélectrique à la grille ont été étudiés et une corrélation entre la capacitance de la double couche,
la densité des porteurs de charges, la mobilité des électrons, la tension seuil et le ratio on/off a été
démontrée. Nous pensons que nos transistors à oxydes métalliques utilisant un électrolyte comme
diélectrique à la grille sont prometteurs pour de l’électronique flexible, produite sur de grandes
surfaces et à faible coût.
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The invention of the transistor has significantly affected the technological and scientific progress
of our society. For over 50 years, transistors have been used as the active components, such as
amplifiers or switches, in electronic circuits. The most fascinating future direction for transistor
development is towards flexible, lightweight and biocompatible electronics.
Metal oxide semiconductors have been intensively investigated over the past decades for
transistor applications, due to their high charge carrier mobility (∼1– 100 cm2V-1s-1), high optical
transparency, chemical stability and low-manufacturing cost. Metal oxides are divided into
transition and post transition oxides, depending on the metals, which possess different electron
configurations and, accordingly, different conductivity.
In this Thesis we focus on two main representatives of transition and post transition metal oxides,
i.e., TiO2 and SnO2, as the channel materials in electrolyte gated transistors. TiO2 and SnO2 are
abundant and bio friendly, with high band gap (3-4 eV) and can be utilized as transistor channel
for many different applications.
Replacing the conventional dielectric in thin film transistors with electrolyte gives the
opportunity to decrease the transistor operating voltage due to the high capacitance of the
electrical double layer (around 10 μF/cm2) that form at the electrolyte/semiconductor interface.
This high capacitance allows accumulation of high charge carrier density in the channel thus
making possible a transition from an insulating state to semiconducting or metallic one.
Electrolyte gated transistors (EGTs) can be utilized as backplanes for low powered displays and
integrated into textiles or flexible materials. Other exciting applications of EGTs are chemical
sensors or biosensors, due to the high sensitivity to ions and compatibility with aqueous
electrolytes.
The core of this thesis is devoted to a better understanding of the operational mechanisms of an
important class of thin film transistors, i.e. electrolyte gated metal oxide transistors, to optimize
their performance and to develop the appropriate device geometry for high performance
transistors. EGTs consist of metal oxide channel and a gate electrode in contact with an
electrolyte. The application of a gate electrical bias leads to the formation of an electrical double
layer at the channel/electrolyte interface, which permits to modulate the charge carrier density in
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the channel. The doping mechanisms and the charge carrier density modulation in EGTs were
investigated by transistor electrical characterization, cyclic voltammetry (CV) and
electrochemical impedance spectroscopy.
Ionic liquid gated SnO2 and TiO2 transistors were fabricated on silicon substrates. Parylene
patterning was utilized to investigate the role played by the extension of the
electrolyte/semiconductor and electrode/semiconductor interfaces on the doping and charge
carrier transport processes. The overlap between the metal electrodes and the semiconductor,
which is in contact with the electrolyte, affects the charge injection process. By patterning the
charge carrier density was increased on one or two order of magnitude in both metal oxide
materials. Moreover, SnO2 EGTs were fabricated on flexible polyimide substrate. EGT SnO2
flexible transistors possessed good electrical properties under bending at different radius and
could have high potential in flexible electronics.
The effect of structure and morphology of semiconductors on transistor performance was
demonstrated. For this purpose, porous and highly dense films of TiO2 were fabricated by
solution processing and by electron beam evaporation. Evaporated TiO2 EGT showed higher
current and higher on/off ratio due to better structural quality. The effect of big [EMIM] and
small Li+ cation on doping mechanisms was investigated by using two electrolytes
[EMIM][TFSI] and [EMIM][TFSI] mixed with a lithium salt. The relatively large [EMIM] cation
cannot enter the crystal lattice of TiO2. The intercalation of small cation such as Li+ was possible
both in mesoporous and dense TiO2 films by decreasing the sweeping rate in current / voltage
measurements.
The charge transport mechanism of electrolyte gated transistors was investigated and a
correlation between capacitance of the double layer, charge carrier density, electron mobility,
threshold voltage and on/off ratio was demonstrated. We believe that our electrolyte gated metal
oxide transistors are promising for low cost, flexible and large area electronics
СИСТЕМАТИЗАЦИЯ НАРУШЕНИЙ ПСИХОФИЗИЧЕСКОГО РАЗВИТИЯ ДЕТЕЙ РАННЕГО ВОЗРАСТА
Закономерности нарушений психофизического развития ребенка в раннем возрасте, по сравнению с более поздним, исследованы в специальной психологии крайне мало. Имеющиеся классификации видов нарушений (расстройства) развития не созданы для раннего возраста, что затрудняет как научные исследования, так и практическую работу психологов в системе раннего вмешательства. Ранний возраст – период от одного года до трех лет – традиционно рассматривается как сензитивный период для развития ребенка, отличающийся высоким темпом психофизического развития; ребенок в этом возрасте легко подвергается вредоносному воздействию биологических и психологических факторов. Однако целостная картина закономерностей нарушений развития ребенка в раннем возрасте отсутствует.
В статье даются классификации нарушений развития, созданные в детской неврологии и психиатрии, специальной психологии и коррекционной педагогике. Показывается их ограниченность применительно к характеристике нарушений развития у детей раннего возраста: не включены важные виды нарушений, поэтому они не могут применятся относительно к маленьким детям. Имеется лишь одна классификация DC 0-3, в которой представлены виды нарушений развития у детей от рождения до трех лет, однако в ней рассматриваются эмоционально-поведенческие расстройства у детей и не включены, в частности, нарушения речи и когнитивного развития, расстройства двигательных функций.
Предлагается модель нарушений психофизического развития детей раннего возраста, в которой систематизированы имеющиеся научные данные и которая опирается на концепцию первичного и вторичного дефектов в структуре нарушений психофизического развития. В качестве критерия классификации видов нарушений развития выбрана ведущая сфера, которая нарушается, в первую очередь, в структуре психофизического развития ребенка
Tackling the Problem of Dangerous Radiation Levels with Organic Field-Effect Transistors
Accurate, quantitative measurements of ionizing radiation, commonly employed in medical diagnostic and therapeutic applications are essential prerequisites to minimize exposure risks. Common examples of radiation detectors include ionization chambers, thermoluminescent dosimeters, and various semiconductor detectors. Semiconductor dosimeters such as p/n type silicon diodes and MOSFETs have found widespread adoption due to their high sensitivity and easy processing. A significant limitation of these devices, however, is their lack of tissue equivalence. The high atomic number (relative to soft tissue) of silicon causes these devices to over-respond to photon beams that include a significant low energy component, for example, 1–10 kV, due to an enhanced photoelectric interaction coefficient. Organic field effect transistors (OFETs) are capable of providing tissue equivalent response to ionizing radiation in order to monitor more accurately the risk of exposure in medical treatments. This chapter presents the possibility to use different types of OFETs as ionizing and X-ray radiation dosimeters in medical applications
Ion-gated transistors based on porous and compact TiO2 films: Effect of Li ions in the gating medium
Ion-gated transistors (IGTs) are attractive for chemo- and bio-sensing, wearable electronics, and bioelectronics, because of their ability to act as ion/electron converters and their low operating voltages (e.g., below 1 V). Metal oxides are of special interest as transistor channel materials in IGTs due to their high mobility, chemical stability, and the ease of processing in air at relatively low temperatures (<350 °C). Titanium dioxide is an abundant material that can be used as a channel material in n-type IGTs. In this work, we investigate the role of the morphology of the TiO2 channel (porous vs compact films) and the size of the cations in the gating media ([EMIM][TFSI] and [Li][TFSI] dissolved in [EMIM][TFSI]) to study their role on the electrical characteristics of IGTs. We found that both the film morphology and the type of gating medium highly affect the electrical response of the devices
Preliminary Evaluation of Pentacene Field Effect Transistors with Polymer Gate Electret as Ionizing Radiation Dosimeters
Interest in the use of organic electronic devices in radiation sensing applications has grown in recent years. The numerous device configurations (e.g., diodes, thin film transistors) and potential for improved tissue equivalence compared to their silicon-based analogues make them attractive candidates for various radiation dosimetry measurements. In this work, a variation of the organic thin film transistor (OTFT) is studied, in which a polymer electret is added. An OTFT electret design can be used in either a wired or wireless configuration for in vivo dosimetry with the possibility of real-time detection. The linearity, reproducibility, and dependence on energy of these devices were measured through exposure to 100 kVp photons from an orthovoltage treatment unit (Xstrahl 300) and 6 MV photons from a Varian TrueBeam medical linear accelerator. Prior to irradiation, all transistors were programmed with a −80 V bias applied to the Gate electrode (Vg) for 3 s. In the wireless configuration, after each delivered dose, the transfer characteristic was scanned to readout the amount of erased charges by monitoring the drain current change. When the programmed charge was sufficiently depleted by radiation, transistors were reprogrammed for repeated use. The real-time readout in a wired configuration was performed by measuring the drain current with Vg = −15 V; Vd = −15 V. The 6 MV photon beam was turned on and off at different dose rates of 600, 400, 300, 200, and 60 cGy/min to quantify the sensitivity of the device to changes in dose rate. The wireless transistors showed a linear increase in current with increasing dose. The sensitivities for different energies were 60 ± 5 nA/Gy at 6 MV at a dose rate of 600 cGy/min and 80 ± 10 nA/Gy at 100 kVp at a dose rate of 200 cGy/min. The sensitivity of detectors tested in a wired configuration at Vd = −15 V; Vg = −15 V was 8.1 nA/s at a dose rate of 600 cGy/min. The principle of pentacene OTFTs with polymer electret as radiation detectors was demonstrated. Devices had excellent linearity, reproducibility, and were able to be reprogrammed for multiple uses as wireless detectors. The wired transistors demonstrated an effective response as real-time detectors
Photolithographically Patterned TiO2 Films for Electrolyte-Gated Transistors
Metal oxides constitute a class of materials whose properties cover the entire range from insulators to semiconductors to metals. Most metal
oxides are abundant and accessible at moderate cost. Metal oxides are widely investigated as channel materials in transistors, including electrolyte-gated transistors, where the charge carrier density can be modulated by orders of magnitude upon application of relatively low electrical bias (2 V). Electrolyte gating offers the opportunity to envisage new applications in flexible and printed electronics as well as to improve our current understanding of fundamental processes in electronic materials, e.g. insulator/metal transitions. In this work, we employ photolithographically patterned TiO2 films as channels for electrolyte-gated transistors. TiO2 stands out for its biocompatibility and wide use in sensing, electrochromics, photovoltaics and photocatalysis. We fabricated TiO2 electrolyte-gated transistors using an original unconventional
parylene-based patterning technique. By using a combination of electrochemical and charge carrier transport measurements we demonstrated that patterning improves the performance of electrolytegated
TiO2 transistors with respect to their unpatterned counterparts. Patterned electrolyte-gated (EG) TiO2 transistors show threshold voltages of about 0.9 V, ON/OFF ratios as high as 1
7 105, and electron mobility above 1 cm2/(V s)
Tin Dioxide Electrolyte-Gated Transistors Working in Depletion and Enhancement Modes
Metal
oxide semiconductors are interesting for next-generation flexible
and transparent electronics because of their performance and reliability.
Tin dioxide (SnO<sub>2</sub>) is a very promising material that has
already found applications in sensing, photovoltaics, optoelectronics,
and batteries. In this work, we report on electrolyte-gated, solution-processed
polycrystalline SnO<sub>2</sub> transistors on both rigid and flexible
substrates. For the transistor channel, we used both unpatterned and
patterned SnO<sub>2</sub> films. Since decreasing the SnO<sub>2</sub> area in contact with the electrolyte increases the charge-carrier
density, patterned transistors operate in the depletion mode, whereas
unpatterned ones operate in the enhancement mode. We also fabricated
flexible SnO<sub>2</sub> transistors that operate in the enhancement
mode that can withstand moderate mechanical bending
Carbon nanotube electrodes in organic transistors
International audienceThe scope of this Minireview is to provide an overview of the recent progress on carbon nanotube electrodes applied to organic thin film transistors. After an introduction on the general aspects of the charge injection processes at various electrode-semiconductor interfaces, we discuss the great potential of carbon nanotube electrodes for organic thin film transistors and the recent achievements in the field