5 research outputs found
Félszáz elaboratio kistükre az 1992-es magyar irodalmi főiskolai felvételi tesztek alapján
KvantitatĂv Makyoh-topográfia = Quantitative Makyoh topography
A korszerű fĂ©lvezetĹ‘-technolĂłgiában alapvetĹ‘ fontosságĂş a szeletek felĂĽleti morfolĂłgiájának, az ideális sĂkjellegtĹ‘l valĂł eltĂ©rĂ©sĂ©nek a minĹ‘sĂtĂ©se. A korszerű nagy átmĂ©rĹ‘jű szeletek megjelenĂ©sĂ©vel a sĂkjelleg problĂ©mája Ă©s Ăgy a megfelelĹ‘ minĹ‘sĂtĂ©si eljárás szĂĽksĂ©gessĂ©ge fokozottabban jelentkezik. A jelen pályázat tĂ©mája egy, a Távol-KeletrĹ‘l származĂł Ĺ‘si, "mágikus" tulajdonságĂş tĂĽkör elvĂ©n alapulĂł optikai vizsgálati mĂłdszer, a Makyoh-topográfia alkalmassá tĂ©tele igĂ©nyes metrolĂłgiai cĂ©lokra. A kutatás során Ăşj koncepciĂłjĂş, nagy mĂ©retű minták vizsgálatára alkalmas mĂ©rĂ©si összeállĂtásokat valĂłsĂtottunk meg. Tanulmányoztuk a felĂĽleti domborzat visszanyerĂ©sĂ©re szolgálĂł eljárások Ă©rzĂ©kenysĂ©gĂ©t Ă©s pontosságát, valamint a lekĂ©pezĂ©s alapvetĹ‘ tulajdonságait. A kidolgozott mĂ©rĂ©si eljárást számos fĂ©lvezetĹ‘-technolĂłgiai Ă©s egyĂ©b kutatásban alkalmaztuk. LĂ©pĂ©seket tettĂĽnk a mĂ©rĂ©si eljárás gazdasági hasznosĂtása Ă©rdekĂ©ben. | The assessment of the surface morphology and flatness of the wafers is a key issue in modern semiconductor technology. The need for a proper flatness characterisation method became even more important with the advent of today's large-diameter wafers. The aim of the present project is to make Makyoh topography, an optical characterisation tool based on an ancient 'magic' mirror of Far-East origin suitable for advanced metrological purposes. During our research, we have constructed novel measurement set-ups suitable for the study of large-diameter samples. We have studied the sensivity and accuracy of the numerical methods for the reconstruction of the surface topography and investigated the basic characteristics of the imaging mechanism. The developed methods have been applied in semicondutor technolgy research as well as in other areas. We have taken steps forward the industrial exploitation