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Design und Realisierung eines elektrostatischen Mikrorelais in Oberflächen-Mikromechanik
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- Publication venue
- Publication date
- 09/09/2004
- Field of study
Die Arbeit beschreibt die Konzeption und Realisierung eines Mikrorelais für den Einsatz im Bereich Messtechnik, speziell zur Miniaturisierung von Relaiskarten und piezoelektrischen Messsystemen. Ausgehend von einer Analyse des Verhaltens metallischer Mikrokontakte werden die Anforderungen an den Mikroaktuator aufgestellt, der die Schaltfunktion ausführt. Die Kontaktkraft muss 100 µN übersteigen, um einen stabilen Kontaktwiderstand zu erhalten. Zur Trennung der geschlossenen Kontakte, ist eine Mindestrückstellkraft von > 100 µN nötig. Die offenen Kontakte werden über eine Luftstrecke von 1.5 µm isoliert. Das elektrostatische Antriebsprinzip ist prädestiniert für einen Einsatz in Mikrorelais, weil es die Realisierung eines schnellen und leistungsarmen Aktuators ermöglicht, der eine hohe Normalkraft am Ende seines Stellweges erzielt, wenn die Kontakte geschlossen werden. Nach einer analytischen Abschätzung wird das Mikrorelais mit Hilfe einer elektro-mechanisch gekoppelten FEM-Simulation dimensioniert. Ein neues Aktuator-Konzept mit mehrstufigen Federn (Nulllage-, Rückstell- und Relaisankerfeder) und planparallelen, verstärkten Elektrodenplatten erzeugt auf einer Nettofläche von unter 0.2 qmm eine elektrostatische Gesamtkraft von mindestens 600 µN bei einem Stellweg von etwa 2 µm. Das Mikrorelais wird mit den Prozessen der Oberflächen-Mikromechanik realisiert. Die elektro-mechanischen Strukturen (Relaisanker und Elektroden) bestehen aus Polysilizium. Der Schalt- ist vom Lastkreis galvanisch durch eine Siliziumnitridschicht getrennt und die Kontakte bestehen aus Gold. Nach einer Initialisierung des drehbar gelagerten Relaisankers führt dieser die Schaltfunktion durch eine Bewegung normal zum Substrat aus, wobei ein Brückenkontakt zwei Gegenkontakte elektrisch leitend verbindet. Das Schaltverhalten des Relais wird messtechnisch untersucht und alle relevanten Kennwerte aufgenommen. Das Relais benötigt eine Ansteuerspannung von etwa 35 Volt. Der Kontaktwiderstand beträgt 1.3 Ohm, der Durchgangswiderstand 6.5 Ohm, der Sperrwiderstand mehr als 100 GOhm und die Spannungsfestigkeit 150 Volt. Das Relais wird bei Normaldruck betrieben, so dass die Luftdämpfung (Squeeze-Film-Damping) das dynamische Schaltverhalten bestimmt. Schon bei der analytischen Berechnung mit Hilfe der Reynoldsgleichung zeigt sich die Prellfreiheit des Schaltvorgangs, wobei trotz der hohen Dämpfung eine Einschaltzeit von unter 150 µs erreicht wird. Wenn die Belastung auf den untersten Trockenlastbereich (Lasten unter 5 V / 100 µA) beschränkt bleibt, beträgt die Lebensdauer mindestens 10E6 Schaltspiele. Die Arbeit wird ergänzt durch eine ausführliche tabellarische Übersicht bisher veröffentlichter Mikrorelais
First do no harm
- Author
- Adams
- Alexander
- Andral
- Barondess
- Beecher
- Benda
- Berk
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- Eppinger
- Ernst
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- Hornblum
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- Lerner
- Levine
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- Pilgerstorfer
- Proctor
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- Rabelais
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- Rigg
- Seidelman
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- Spiro
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- Spitz
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- Thaler
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- Thaler
- Thielicke
- Virchow
- Vollman
- Weindling
- Weindling
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- Welsome
- Wiesel
- Publication venue
- 'Wiley'
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- 01/01/2006
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First do no harm
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- Adams
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- 01/01/2005
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Anhang
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- 'Vandenhoeck & Ruprecht GmbH & Co, KG'
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Literatur
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- Aufgehobene Vergangenheit TRILLHAAS WOLFGANG
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- BARTH
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- Barth-Studien JÜNGEL EBERHARD
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- BOYD IAN
- Briefwechsel Bd KARL BARTH-EDUARD THURNEYSEN.
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- BULTMANN
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- Das Absolute CRAMER WOLFGANG
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- Das KOHLS ERNST-WILHELM
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- Die »antihistoristische GRAF FRIEDRICH WILHELM
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- Dissonanzen der Moderne BRASSEL-MOSER RUEDI
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- Ein Briefwechsel KARL BARTH-MARTIN RADE.
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- Erinnerungen GOLLWITZER HELMUT
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- Karl Barths Dogmatik GOGARTEN FRIEDRICH
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- Zeit der Ideologien BRACHER KARL DIETRICH
- Zwischen Transzendenz INACKER MICHAEL J.
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Literatur
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- - Sechs Kapitelüber Christentum und Nationals
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- Barth Bultmann
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- Bonhoeffer Dietrich
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- Calvin Johannes
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- Gogarten Friedrich
- Gogarten Friedrich
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- Pannenberg Wolhart
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- Ragaz Leonhard
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- Weinrich Michael
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Literatur
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- Alexander GEBHARD RUDOLF
- Antwort des Glaubens SCHWEITZER CARL GUNTHER
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- Apologetik des Glaubens OTT HEINRICH
- Apologetik HEMPELMANN REINHARD
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- Apologetik REIMER HANS-DIETHER
- Apologetik zur Interkulturellen Diakonie JENSSEN HANS HINRICH
- Apologetische PETZOLDT MATTHIAS
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- Apologizing For God LOSCALZO CRAIG A.
- Art BEYERHAUS PETER
- Art BEYERHAUS PETER
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- Art BROWNING DON S.
- Art BÄUMLER CHRISTOF
- Art BÜRKLE HORST
- Art EVERS GEORG
- Art FRIES HEINRICH
- Art GASPER HANS
- Art GERN WOLFGANG
- Art GILLIOT CLAUDE
- Art Iß THOMAS
- Art KAISER JOCHEN-CHRISTOPH
- Art KAMLAH ERNST
- Art KÜSTER VOLKER
- Art LEHMANN ARNO
- Art LEMME LUDWIG
- Art LEVINSON P. NAVE
- Art LOHFF WENZEL
- Art LÜDEMANN GERD
- Art MORITZEN NIELS-PETER
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- Art MÜLLER-SCHWEFE HANS-RUDOLF
- Art PERELMUTTER HAYIM G.
- Art RÖER HENNING
- Art RÖER HENNING
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- Art SCHEEL OTTO
- Art SCHOELL JAKOB
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- Art SECKLER MAX
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- Art STEPHAN HORST
- Art STRATHMANN HERMANN
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- Art SUNDERMEIER THEO
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- Art SURALL FRANK
- Art WAGNER HARALD
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- Art WALLS ANDREW F.
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- Art WINKLER EBERHARD
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- Art WOBBERMIN GEORG
- Art WOLFINGER FRANZ
- Art ZERFASS ROLF
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- Aufgaben HAUSCHILDT EBERHARD
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- BAUMGARTEN
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- BENDRATH
- BERENDT JOACHIM
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- Bildungsgeschehen PAUSCH EBERHARD
- BIRGDEN
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- Bonhoeffers HÖNHERR ALBRECHT
- BORNEMANN FRIEDRICH WILHELM BERNHARD
- BORNEMANN FRIEDRICH WILHELM BERNHARD
- BOSCH DAVID
- BRUNNER
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- der Vorlesungen Kurze Darstellung
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- Die Bekehrungspredigt BIENECK JOACHIM
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- Die CLEMEN CARL
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- Die GEISSNER HELLMUT K.
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- Die PETRI WERNER
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- Die WÖBEL CHRISTOPH
- Die WÖBEL CHRISTOPH
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- Distanzierte Kirchlichkeit KRETZSCHMAR GERALD
- Distanzierte Kirchlichkeit KRETZSCHMAR GERALD
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- Evangelische WEYMANN VOLKER
- FABRI
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- Falscher Weg WEYEL BIRGIT
- Falscher Weg WEYEL BIRGIT
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- HELING
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- Holz TRIER JOST
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- Homiletik STOCKMEYER IMMANUEL
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- JOSUTTIS
- JOSUTTIS
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- KD
- KIRCHENLEITUNG DER EVANGELISCH-LUTHERISCHEN LANDESKIRCHE
- KLAIBER
- Klare Fronten ZOELLNER WILHELM
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- Kommentar ZIMMERMANN JOHANNES
- Kommentar ZIMMERMANN JOHANNES
- Kontextuelle EKIR-VOLKSMISSIONARISCHES AMT
- KOTHMANN
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- KRETZSCHMAR
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- Kultivierte Kulturdistanz WEEBER MARTIN
- KÄSEMANN
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- Lehrbuch der Homiletik KRAUSS ALFRED
- Leidenschaft BÜNKER ARND
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- LUHMANN
- LUHMANN
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- Missionarische Kompetenz KÄHLER REINHARD
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- OFFENE KIRCHE ELISABETHEN BASEL
- Ohne Krampf WISCHNATH ROLF
- OORSCHOT
- Orientierungskrise SAUTER GERHARD
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- OSTEN
- PALMER CHRISTIAN
- Partnerschaft GESAMTSYNODE DER EVANGELISCH-REFORMIERTEN KIRCHE
- PECHMANN
- PECHMANN
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- Philosophie des Protestantismus KAFTAN JULIUS
- Philosophische WITTGENSTEIN LUDWIG
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Phases in the Postwar German Reception of the “Euthanasia Program” (1939–1945) Involving the Killing of the Mentally disabled and its Exploitation by Neuroscientists
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- 'Vandenhoeck & Ruprecht GmbH & Co, KG'
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