High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge

In this work, the characteristics of high-current operation modes of planar magnetron sputtering system with magnetically insulated anode without going to the arc discharge mode is investigated. The possibility of using an additional spatially modulated magnetic field in the anode region to prevent a transition from the magnetron to the arc is shown experimentally. It is shown that the use of such a magnetic field configuration provides efficient interruption of the arc current without external forced shutdown of the discharge.Исследованы особенности сильноточных режимов работы планарной магнетронной распылительной системы с магнитоизолированным анодом без перехода разряда в дуговой режим. Экспериментально показана возможность использования пространственно-модулированного дополнительного магнитного поля в прианодной области для предотвращения перехода режима работы из магнетронного в дуговой. Показано, что использование такой конфигурации магнитного поля обеспечивает эффективное прерывание дугового тока без принудительного внешнего выключения магнетронного разряда.Досліджені особливості сильнострумових режимів роботи планарної магнетронної розпилювальної системи з магнітоізольованим анодом без переходу розряду в дуговий режим. Експериментально показана можливість використання просторово-модульованого допоміжного магнітного поля в прианодній області для запобігання переходу режиму роботи з магнетронного в дуговий. Показано, що використання такої конфігурації магнітного поля забезпечує ефективне переривання дугового струму без примусового зовнішнього вимикання магнетронного розряду

Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field

The control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field was investigated. It was shown that additional anode magnetic field substantially affects to planar magnetron-sputtering system (MSS) balancing and allows adjusting the electron fluxes intensity to the operating surface. It was experimentally shown that the magnetic field intensity increasing stabilizes the low-current discharge. The magnetic field intensity increasing prevents the discharge extinction by the ignition of semi-self-maintained magnetron-type discharge in transverse anode magnetic field

TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system

The results of reactive ion-plasma etching of TiN coatings from a surface of the tool in a beam-plasma system are submitted. The researches were made on the industrial set-up of a type «the Plasma boiler» with a magnetic field of the plug configuration. The electron guns on the basis of magnetron discharge injected from magnetic plug in a magnetic trap volume oncoming electron beams with a current density up to 2 A/cm², energy 350÷550eV. At pressure 1.10⁻³ ÷ 5.10⁻³ Torr in a magnetic trap the beam-plasma discharge was fired from which one crosswise magnetic fields an ion flow on items was extracted. As working gases the mixture Ar and CF₄ were used. The given beam-plasma system allowed selectively to remove from a surface of the tools TiN coating at speed of etching 1÷2 µm/h on the area of 12000cm²

Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers

This paper concerns with investigation of the trimming process which uses ion beam etching for high-precision adjustment of the thickness of functional microelectronics layers. The layer deposited on the substrate is etched by scanning focused ion beam; its position and power is regulated according to the topography of layer non-uniformity. The trimming allows to create pre-defined topography of the non-uniformity with accuracy down to 4 Å and decrease the roughness of the surface.Досліджено процес коригувального іонно-променевого травлення для регулювання з високою точністю товщини функціональних шарів мікроелектроніки. Функціональний шар на підкладці витравлюється скануючим сфокусованим іонним пучком, локалізація та потужність якого відповідають топографії неоднорідності товщини функціонального шару. Показана можливість регулювання розподілу товщини плівок по поверхні підкладок до +/-4 Å та зменшення шорсткості поверхні.Исследован процесс корректирующего ионно-лучевого травления для регулировки с высокой точностью толщины функциональных слоев микроэлектроники. Функциональный слой на подложке травится сканирующим сфокусированным ионным пучком, локализация и мощность которого соответствуют топографии неоднородности толщины функционального слоя. Показана возможность регулировки распределения толщины пленок по поверхности подложек до +/-4 Å и уменьшения шероховатости поверхности

The spectrum features of UHECRs below and surrounding GZK

The energy spectrum of UHECRs is discussed on the basis of the Yakutsk array database analysis. In the region E=0.1 to 30 EeV the showers are detected under trigger-500, while at energies above 30 EeV the whole acceptance area for trigger-1000 is used in order to utilize all the data available in the region of GZK cutoff.Comment: Invited talk at CRIS2004: GZK and surroundings, Catania, Italy, 31.05.04. To appear in Nucl. Phys. B Proc. Supp

INCREASING THE RELIABILITY OF THE INFORMATION-MEASURING AND CONTROL SYSTEM OF THE ELECTRIC DRIVE OF LASER INSTALLATIONS

Background. The actual directions of development of an adjustable electric drive are considered – increasing the efficiency of information-measuring and control systems. Materials and methods. The need to improve the methods of control of an adjustable electric drive is shown by a comparative analysis of information-measuring and control systems of electric drives in order to improve reliability indicators. The principle of operation of the information- measuring and control system of the electric drive with increased reliability indicators is considered. Results and conclusions. A comparative calculation of the reliability of electric drives based on the vector and proposed control methods

THEORETICAL ESTIMATION METROLOGICAL CHARACTERISTICS OF INFORMATION-MEASURING AND CONTROL SYSTEMS ELECTRIC DRIVE

Background. Determination of the metrological characteristics of electric drives for industrial use at the early stages of design. Materials and methods. A theoretical method for determining the metrological characteristics of industrial electric drives in accordance with the requirements specified in GOST 27803-91 is given. The main stages of research, calculation formulas and recommendations for conducting practical tests are covered in detail. A simulation model of an information-measuring and control system of an electric drive with a DPU-200-550-3-D41 engine has been developed. Results and conclusions. The results of simulation modeling and practical testing of the informationmeasuring and control system of an electric drive with a DPU-200-550-3-D41 engine that meet the requirements of GOST 27803-91 are presented

ТОРАКОСКОПИЧЕСКАЯ САНАЦИЯ ПЛЕВРАЛЬНОЙ ПОЛОСТИ ПРИ ГНОЙНО-ВОСПАЛИТЕЛЬНЫХ ЗАБОЛЕВАНИЯХ ЛЕГКИХ У ДЕТЕЙ

Experience in treatment of pleural complication of destructive pneumonia in children was submitted. Of the 46 children, admitted with pneumonia complicated by the destructive, in 92% cases were typed pleural complications - 35% in the form of pleural empyema, in 30% fibrinothoracs. Delimited pleural empyema and fibrinothoracs found in children, treated for an average of two weeks in district hospitals. In these cases is made thoracoscopic pnevmoliz with resolution adhesions, opening and readjustment cavities, abscesses, removal of fibrin and subsequent drainage of pleural cavity. All 16 operated patients have a positive result, length of stay decreased by 1,5-2 times: 21 days vs 44-68 days with conservative tactics.Представлен опыт лечения плевральных осложнений деструктивной пневмонии у детей. Из 46 детей, поступивших с осложненной деструктивной пневмонией, в 92% случаев наблюдались плевральные осложнения: в 35% в виде эмпиемы плевры, в 30% в виде фибриноторакса. Отграниченная эмпиема плевры и фибриноторакс выявлены у детей, лечившихся в среднем в течение 2-х нед в районных больницах. В этих случаях выполнен торакоскопический пневмолиз с разрушением спаек, вскрытием и санацией полостей, абсцессов, удалением фибрина и последующим дренированием плевральной полости. У всех оперированных 16 пациентов получен положительный результат, продолжительность госпитализации снизилась в 1,5-2 раза: 21 день против 44-68 койко-дней при консервативной тактике