Синтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі

Матеріали модифіковані покриттями боридів та боридонітрідів набувають високої міцності і температурної стабільності, добре зарекомендували себе у сфері машинобудування. Надтвердість у даних плівках обумовлюється особливим наноструктурних станом з переважною орієнтацією зростання зерен по відношенню до кристалографічної площини.Для отримання покриттів диборида танталу використовували DC-магнетронну систему для реактивного синтезу з композиційних мішеней

Синтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі

Матеріали модифіковані покриттями боридів та боридонітрідів набувають високої міцності і температурної стабільності, добре зарекомендували себе у сфері машинобудування. Надтвердість у даних плівках обумовлюється особливим наноструктурних станом з переважною орієнтацією зростання зерен по відношенню до кристалографічної площини.Для отримання покриттів диборида танталу використовували DC-магнетронну систему для реактивного синтезу з композиційних мішеней

Аналіз впливу параметрів магнетронного розпилення на формування наноструктурних покриттів TaB2

Тонкі покриття на основі боридів перехідних металів мають високу температуру плавлення та твердість, і знайшли широкий діапазон використання у різних галузях промисловості, за рахунок ефективного підвищення захисних властивостей. Для нанесення даних покриттів високу популярність здобув метод нереактивного магнетронного розпилення композиційних мішеней за участю іонного бомбардування, за рахунок високої варіативності в плані регулювання параметрів

Effect of Energy Factors on the Structure and Substructure Characteristics of Hafnium Diboride Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

In this paper, the influence of energy factors, such as the bias potential, current density, deposition rate, on the formation of the structure and substructure of hafnium diboride films deposited using RF magnetron sputtering is analysed. As shown, the structural changes from a quasi-amorphous to a nanocrystalline state with a growth texture occur due to changes in energy factors.В роботі проведено аналіз впливу енергетичних факторів, таких як потенціал зсуву, що подається на підкладку, густина йонного струму на підкладку і швидкість осадження, на формування структури та субструктури плівок диборида гафнію, отриманих ВЧ-магнетронним розпорошенням. Показано, що структурні зміни від квазиаморфного стану до нанокристалічного з текстурою зростання відбуваються внаслідок змін енергетичних факторів.В работе проведен анализ влияния энергетических факторов, таких как потенциал смещения, подаваемый на подложку, плотность ионного тока на подложку и скорость осаждения, на формирование структуры и субструктуры плёнок диборида гафния, полученных ВЧ-магнетронным распылением. Показано, что структурные изменения от квазиаморфного состояния до нанокристаллического с текстурой роста происходят вследствие изменения энергетических факторов

Технологічні основи синтезу наноструктурних нанокомпозитних та багатошарових покриттів тугоплавких сполук для застосування у машинобудуванні

Об’єкт дослідження – процеси формування нанокомпозитних наноструктурних покриттів з комплексом прогнозованих властивостей на основі нітридів, карбідів та боридів перехідних металів, синтезованих за допомогою модернізованої установки магнетронного типу

Технологічні основи синтезу наноструктурних нанокомпозитних та багатошарових покриттів тугоплавких сполук для застосування у машинобудуванні

Об’єкт дослідження – процеси формування нанокомпозитних наноструктурних покриттів з комплексом прогнозованих властивостей на основі нітридів, карбідів та боридів перехідних металів, синтезованих за допомогою модернізованої установки магнетронного типу

Mechanical and tribological characterization of nanostructured HfB2 flms deposited from compound target

Fabrication and development of HfB2-based nanostructured coatings was investigated. All flms were deposited on stainless-steel substrates by RF magnetron sputtering from stochiometric HfB2 target in argon atmosphere. The aim of this work is to evaluate the efects of the bias potential on the microstructure, mechanical and tribological properties. These parameters strongly depend on the experimental conditions. X-ray difraction analysis indicated the diference in microstructure: from dense hexagonal structure with (0001) preferred orientation of nanocrystallites to quasi-amorphous with blurred HfB2 phase peaks. All coatings were measured using nanoindentation (using Berkovich tip), tribology (ballon-disk) and nano-scratch (friction). Coatings with a thickness of 1–2 µm had a signifcant dependence of properties on the microstructure: hardness drastically increased from 8 to 45 GPa, H/E ratio and elastic recovery changed respectively: 0.04–0.15 and 0.26–0.72

Технологічні основи синтезу наноструктурних нанокомпозитних та багатошарових покриттів тугоплавких сполук для застосування у машинобудуванні

Встановлення основних закономірностей формування складу та структури нанокомпозитних покриттів з прогнозованими функціональними властивостями, розробка технологічних рекомендацій до практичного застосування даних покриттів, дослідження процесів реактивного іонно-плазмового синтезу нанокомпозиційних структур та розробка технологій синтезу функціональних покриттів для потреб машинобудування

Технологічні основи синтезунаноструктурних нанокомпозитних та багатошарових покриттів тугоплавких сполук для застосування у машинобудуванні

Мета роботи – встановлення основних закономірностей формування складу та структури нанокомпозитних багатошарових наноструктурних покриттів з прогнозованими функціональними властивостями, розробка технологічних рекомендацій до практичного застосування даних покриттів, дослідження процесів реактивного іонно-плазмового синтезу нанокомпозиційних структур та розробка технологій синтезу багатошарових функціональних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів для потреб наноелектроніки, біомедицини, ядерної енергетики та машинобудування

Технологічні основи синтезунаноструктурних нанокомпозитних та багатошарових покриттів тугоплавких сполук для застосування у машинобудуванні

Мета роботи – встановлення основних закономірностей формування складу та структури нанокомпозитних багатошарових наноструктурних покриттів з прогнозованими функціональними властивостями, розробка технологічних рекомендацій до практичного застосування даних покриттів, дослідження процесів реактивного іонно-плазмового синтезу нанокомпозиційних структур та розробка технологій синтезу багатошарових функціональних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів для потреб наноелектроніки, біомедицини, ядерної енергетики та машинобудування