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    Resistencia a la corrosi贸n de recubrimientos de nitruros met谩licos depositados sobre acero AISI M2

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    In this work the corrosion behavior of zirconium nitride (ZrN), titanium nitride (TiN), chromium nitride (CrN), niobium nitride (NbN) and tantalum nitride (TaN) films deposited on commercial AISI M2 steel using unbalanced magnetron system (UBM) was investigated. The corrosion resistance was evaluated by testing electrochemical impedance spectroscopy (EIS) on a 3% solution of NaCl, changing the test time from 1 h to 7 d. The higher resistance to corrosion was obtained for NbN and ZrN films when these materials were deposited in the lower unbalanced configuration of UBM system. The coatings show degradation with the immersion time due to the microstructure defects, which become diffusion channels so that the corrosive solution can react with the substrate surface. Corrosion mechanisms in the coatings produced are discussed in this research.En este trabajo se estudia el comportamiento frente a la corrosi贸n de pel铆culas de nitruro de zirconio (ZrN), nitruro de titanio (TiN), nitruro de cromo (CrN), nitruro de niobio (NbN) y nitruro de tantalio (TaN) depositadas sobre acero para herramientas AISI M2 mediante la t茅cnica de sputtering con magnetr贸n desbalanceado (UBM). La resistencia a la corrosi贸n fue evaluada con ensayos de espectroscop铆a de impedancia electroqu铆mica (EIS) en una soluci贸n al 3% de NaCl variando el tiempo de ensayo desde 1 h hasta 7 d. En general, los mejores resultados de resistencia a la corrosi贸n se presentaron en las pel铆culas de ZrN y NbN cuando son producidas en la configuraci贸n de menor bombardeo i贸nico en un sistema UBM. Los recubrimientos muestran degradaci贸n en el tiempo de ensayo debido a los defectos presentes en su microestructura, que se convierten en canales de difusi贸n por los que la soluci贸n corrosiva llega a la superficie del sustrato. Los mecanismos de corrosi贸n para los recubrimientos producidos son discutidos en esta investigaci贸n

    CARACTERIZACI脫N DE RECUBRIMIENTOS DE TiN MEDIANTE PULVERIZACI脫N CAT脫DICA CON MAGNETRON (CHARACTERIZATION OF TiN COATINGS BY MAGNETRON SPUTTERING)

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    Resumen Los recubrimientos cer谩micos de TiN por su dureza y resistencia al desgaste, son una opci贸n viable para aumentar la vida 煤til de herramientas de corte y de partes mec谩nicas que son expuestos a una exigencia mayor que las superficies de aceros o materiales met谩licos no pueden competir. Existen una diversidad de m茅todos para realizar recubrimientos cer谩micos siendo identificados como parte de las t茅cnicas los dep贸sitos f铆sicos por vapor (PVD), las cuales muestran altos valores de dureza y superficies lisas, caracter铆sticas que en aplicaciones que requieran resistencia al desgaste es deseable; en espec铆fico en este trabajo enfocado en la t茅cnica de pulverizaci贸n cat贸dica por magnetr贸n. El presente trabajo se enfoca en el dep贸sito de nitruro de titanio (TiN) utilizando diferente relaci贸n de flujo gaseoso Ar: N2, para identificar como el cambio de concentraci贸n de N2 afecta en la tasa de dep贸sito, composici贸n qu铆mica y estructura en cada uno de los recubrimientos de TiN. Los resultados muestran como la tasa de dep贸sito es afectada por la cantidad de flujo N2 definido en cada experimento, ocasionando que disminuya; se observa una composici贸n qu铆mica del recubrimiento pr贸xima a la estequiometria TiN, y una orientaci贸n preferencial presente en las pel铆culas sobre la direcci贸n (111). Palabras Clave: Nitruro de Titanio, pulverizaci贸n cat贸dica asistida por magnetr贸n, tasa de dep贸sito. Abstract TiN ceramic coatings has a high hardness and wear resistance that make them a suitable option to increase the life-time of tools and mechanical parts that conventional steels or metallic materials cannot are support. There are a variety of methods for making ceramic coatings, physical vapor deposits (PVD) being identified as part of the techniques, which show high values of hardness and smooth surfaces, characteristics that in applications requiring resistance to wear are desirable; specifically in this work focused on the magnetron sputtering technique. The present work concentrates on the titanium nitride (TiN) deposit using different gas flow rate Ar: N2, to identify how the change in N2 concentration affects the deposit rate, chemical composition, and structure in each of TiN coatings. The results show how the deposit rate is affected by the amount of N2 flow defined in each experiment, causing it to decrease; a chemical composition of the coating close to the TiN stoichiometry is observed, and a preferential orientation present in the films on the direction (111). Keywords: Titanium Nitride, magnetron sputtering, deposition rate, coating chemical composition

    Resistencia a la corrosi贸n de recubrimientos de nitruros met谩licos depositados sobre acero AISI M2

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    In this work the corrosion behavior of zirconium nitride (ZrN), titanium nitride (TiN), chromium nitride (CrN), niobium nitride (NbN) and tantalum nitride (TaN) films deposited on commercial AISI M2 steel using unbalanced magnetron system (UBM) was investigated. The corrosion resistance was evaluated by testing electrochemical impedance spectroscopy (EIS) on a 3% solution of NaCl, changing the test time from 1 h to 7 d. The higher resistance to corrosion was obtained for NbN and ZrN films when these materials were deposited in the lower unbalanced configuration of UBM system. The coatings show degradation with the immersion time due to the microstructure defects, which become diffusion channels so that the corrosive solution can react with the substrate surface. Corrosion mechanisms in the coatings produced are discussed in this research.En este trabajo se estudia el comportamiento frente a la corrosi贸n de pel铆culas de nitruro de zirconio (ZrN), nitruro de titanio (TiN), nitruro de cromo (CrN), nitruro de niobio (NbN) y nitruro de tantalio (TaN) depositadas sobre acero para herramientas AISI M2 mediante la t茅cnica de sputtering con magnetr贸n desbalanceado (UBM). La resistencia a la corrosi贸n fue evaluada con ensayos de espectroscop铆a de impedancia electroqu铆mica (EIS) en una soluci贸n al 3% de NaCl variando el tiempo de ensayo desde 1 h hasta 7 d. En general, los mejores resultados de resistencia a la corrosi贸n se presentaron en las pel铆culas de ZrN y NbN cuando son producidas en la configuraci贸n de menor bombardeo i贸nico en un sistema UBM. Los recubrimientos muestran degradaci贸n en el tiempo de ensayo debido a los defectos presentes en su microestructura, que se convierten en canales de difusi贸n por los que la soluci贸n corrosiva llega a la superficie del sustrato. Los mecanismos de corrosi贸n para los recubrimientos producidos son discutidos en esta investigaci贸n

    Recubrimientos de nitruros met谩licos depositados con ubm: tecnolog铆a eficiente y ambientalmente limpia

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    El objetivo de esta investigaci贸n es estudiar la influencia de la configuraci贸n del campo magn茅tico sobre los par谩metros del plasma y algunas propiedades de recubrimientos de TaN, TiN, NbN, ZrN y CrN producidos con un sistema de sputtering con magnetr贸n desbalanceado (UBM). Este sistema permite modificar la densidad de corriente i贸nica y la energ铆a de los iones que llegan al substrato por medio de la variaci贸n en la configuraci贸n del campo magn茅tico sin modificar otras condiciones del dep贸sito. Las diferentes configuraciones del campo magn茅tico se cuantificaron a trav茅s del coeficiente de desbalance, KG, el cual es proporcional a la posici贸n del punto de campo cero del magnetr贸n. El efecto m谩s importante del aumento del bombardeo i贸nico al variar la configuraci贸n del campo magn茅tico se observ贸 en la microestructura de las pel铆culas, particularmente en la orientaci贸n preferencial. Usando la configuraci贸n KG = 1.3, se observ贸 la orientaci贸n preferencial [200] en todos los recubrimientos. Sin embargo, cuando KG = 0.85 la respuesta fue diferente para cada material. Otra consecuencia del aumento del bombardeo i贸nico fue el aumento de los esfuerzos residuales de compresi贸n que result贸 mayor para las pel铆culas de TaN, mientras que en las pel铆culas de CrN se obtuvo la menor concentraci贸n de esfuerzos. Las durezas m谩s altas se observaron en las pel铆culas de TaN, NbN y ZrN, la mejor resistencia a la corrosi贸n en las pel铆culas de ZrN y la mejor resistencia al desgaste en las pel铆culas de NbN
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