Procédé de lithographie laser pour la fabrication de masques optiques DWL 200 du LAAS-CNRS

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Mode opératoire : traitement des données et insolation pour la fabrication de masques optiques DWL 200 du LAAS-CNRS Septembre 2014

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Contrôle qualité des motifs géométriques 2D sur les masques de photolithographie optique

National audienceLes moyens de la plateforme RENATECH du LAAS permettent la fabrication de différents formats (carrés de 2,5 / 4 / 5 / 6 / 7 pouces de côté) de masque verre / chrome et réticule quartz / chrome pour la photolithographie optique.Ce document présente une étude des paramètres ayant une influence prépondérante sur le procédé de fabrication des masques et réticules

Mode opératoire : Traitement chimique pour la fabrication de masques optiques

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VHF/UHF Kapton supported antenna for cubesat applications

International audienceThis paper addresses an original concept for very low mass planar flexible Kapton supported antenna for cubesat application. In order to illustrate the concept a dual-band VHF/UHF planar cross dipole antenna is presented. This circularly polarized antenna is compatible with the integration requirements for a cubesat mission and demonstrates very good performances in terms of input matching and radiation pattern

Lithographie laser bi-photons pour l'impression de moules PDMS dédiés à des applications micro-fluidique

National audienceLes moules utilisés pour la fabrication de puces micro-fluidiques sont en général fabriqués à partir de la mise en forme de films secs ou résine SU-8 en photolithographie UV. Pour certaines géométries de moule cette technique n’est pas la mieux appropriée. On observe des limites au respect des côtes et des difficultés d’alignement des géométries. Pour améliorer la qualité des moules nous avons développé un nouveau procédé de fabrication par photo-polymérisation bi-photons de la résine IP-S sur silicium. Après avoir optimisé les stratégies de détection d’interface et de raccordement de champs, nous avons fabriqué des moules de longueur supérieure à 8 mm et comportant des flancs de hauteurs comprises entre 2 et 530 µm

VHF/UHF Kapton supported antenna for cubesat applications

International audienceThis paper addresses an original concept for very low mass planar flexible Kapton supported antenna for cubesat application. In order to illustrate the concept a dual-band VHF/UHF planar cross dipole antenna is presented. This circularly polarized antenna is compatible with the integration requirements for a cubesat mission and demonstrates very good performances in terms of input matching and radiation pattern

Flexible technology for millimeter-wave wireless sensors applications

International audienceThis paper addresses recent advances obtained in LAAS CNRS concerning the developments of the flexible kapton technology and the use of this technology in the manufacturing of flexible and conformal structures for applications like Wireless Sensor Networks (WSNs) and Structure Health Monitoring (SHM). Flexible kapton supported passive devices are presented as well as the technological process developed for the heterogeneous integration of active circuits with such flexible passive devices

Lithographie laser bi-photons pour l'impression de moules PDMS dédiés à des applications micro-fluidique

National audienceLes moules utilisés pour la fabrication de puces micro-fluidiques sont en général fabriqués à partir de la mise en forme de films secs ou résine SU-8 en photolithographie UV. Pour certaines géométries de moule cette technique n’est pas la mieux appropriée. On observe des limites au respect des côtes et des difficultés d’alignement des géométries. Pour améliorer la qualité des moules nous avons développé un nouveau procédé de fabrication par photo-polymérisation bi-photons de la résine IP-S sur silicium. Après avoir optimisé les stratégies de détection d’interface et de raccordement de champs, nous avons fabriqué des moules de longueur supérieure à 8 mm et comportant des flancs de hauteurs comprises entre 2 et 530 µm