Lithographie laser bi-photons pour l'impression de moules PDMS dédiés à des applications micro-fluidique

Abstract

National audienceLes moules utilisés pour la fabrication de puces micro-fluidiques sont en général fabriqués à partir de la mise en forme de films secs ou résine SU-8 en photolithographie UV. Pour certaines géométries de moule cette technique n’est pas la mieux appropriée. On observe des limites au respect des côtes et des difficultés d’alignement des géométries. Pour améliorer la qualité des moules nous avons développé un nouveau procédé de fabrication par photo-polymérisation bi-photons de la résine IP-S sur silicium. Après avoir optimisé les stratégies de détection d’interface et de raccordement de champs, nous avons fabriqué des moules de longueur supérieure à 8 mm et comportant des flancs de hauteurs comprises entre 2 et 530 µm