Photoresists comparative analysis using soft X-ray synchrotron radiation and time-of-flight mass spectrometry

Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES)Positive photoresists are widely used in lithographic process for the fabrication of relief components. When exposed to UV radiation they suffer chemical reactions modifying their chemical and physical properties. Aiming to follow molecular modifications among two different photoresists unexposed and previously exposed to ultraviolet light we have employed spectroscopic techniques coupled with mass spectrometry in the study of the AZ-1518 and AZ-4620 photoresists. The photon stimulated ion desorption (PSID) technique following the S K-edge NEXAFS spectrum was employed at the brazilian synchrotron light source (LNLS), during single-bunch operation and using time-of-flight mass spectrometry (TOF-MS) for ion analysis. NEXAFS and PSID mass spectra on both AZ-1518 and AZ-4620 photoresists (unexposed and exposed) were obtained and relative desorption ion yield curves determined for the main fragments as a function of the photon energy. They present marked different PSID spectra. Fragments related to the photochemical decomposition of the AZ-1518 photoresist could be clearly identified differently from the AZ-4620. Studies on the hardness of both photoresists were performed using O(2) plasma reactive ion etching (RIE) technique, analyzed by scanning electron microscopy (SEM) and used to explain different desorption yields in the PSID spectra. These results show that the PSID technique is adequate to investigate structural changes in molecular level in different unexposed and exposed photoresists, which is crucial for improving our knowledge about the breakup process. (C) 2009 Elsevier Ltd. All rights reserved.451233473354LNLS-National Synchrotron Light Laboratory, BrazilConselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)Instituto do Milnio de Materiais Complexos (IM2C)Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de Minas Gerais (FAPEMIG)ICE-UFJFCoordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES)Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq)Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES

Terapia comunitária integrativa: situações de sofrimento emocional e estratégias de enfrentamento apresentadas por usuários

A Terapia Comunitária Integrativa (TCI) surge como uma estratégia de apoio à saúde mental dos usuários do Sistema Único de Saúde. O estudo tem como objetivo identificar os principais problemas apresentados pelos usuários da terapia comunitária e identificar as estratégias que utilizam no enfrentamento das situações que provocam sofrimento emocional. Pesquisa do tipo documental realizada na Secretaria Municipal de Saúde, tendo como fontes de informações fichas de organização de dados da TCI. Os resultados demonstraram que o problema mais frequente é o estresse, que a estratégia de enfrentamento mais utilizada é a espiritualidade, e que através dos discursos dos participantes é possível perceber a opinião positiva que eles têm dos encontros. A TCI é um espaço onde as relações construídas transmitem apoio emocional, fortalecem vínculos e diminuem os casos de exclusão social