Étude des propriétés structurales, optiques et électriques des couches minces de ZnO dopées Al déposées par Spray Pyrolysis

Les couches minces de ZnO dopées Aluminium (AZO) ont été déposées par la technique spray pyrolysis sur des substrats de verre ordinaire préchauffés à la température de 425°C. Des solutions aqueuses de chlorure de zinc de concentration 0.1M et dopées à partir du nitrate d’aluminium ont été utilisées pour le dépôt. Le pourcentage de l’aluminium dans la solution variait de 0 à 5%. Après dépôt, les couches ont été caractérisées et l’effet de la concentration du dopage de l’aluminium sur leurs propriétés structurale, optique et électrique a été étudié. L’analyse structurale a montré que les films déposés ont cristallisé suivant la direction préférentielle (002) et que le dopage de l’aluminium avait un effet important sur l’intensité et le déplacement des pics. Les spectres de transmission montrent que les films AZnO sont transparents (~ 90%) dans les régions du proche ultraviolet et du visible. Les mesures électriques réalisées par la technique des 4 pointes a donné une conductivité maximale de 1.6 x104 (Ω.cm)-1 pour le film déposé à 2% Al.Mots-clés : ZnO, dopage, spray pyrolysis, propriétés électriques