Propriétés structurales, optiques et électriques des couches minces de TiO2 dopé Cu obtenues par voie Sol-gel

Des couches minces de TiO<sub>2</sub> dope au cuivre ont ete preparees par la methode Sol-Gel et deposees selon le procede dip-coating sur des substrats en verre. Les proprietes structurales, optiques et electriques des echantillons monocouches dopes 0, 3 et 7 % at. cuivre ont ete analysees par diffraction des rayons X (DRX), microscopie a force atomique (AFM), la spectroscopie ellipsometrique (SE) et spectroscopie UV-Visible. La structure des films est celle d¡¦une phase anatase avec une orientation preferentielle suivant l¡¦axe (101). La transmittance est de l¡¦ordre de 75 % dans le visible et l¡¦energie de la bande optique interdite varie de 3,3 a 2,97 eV. Les valeurs de l¡¦indice de refraction et de la densite de remplissage augmentent avec l¡¦augmentation du dopage en cuivre qui se situe dans l¡¦intervalle 0 a 7 % at. La caracterisation  electrique, realisee a l'aide de la technique de deux pointes, a donne une conductivite electrique maximale de 1,29 (ƒÇcm)-1 obtenue pour le film dope a 7 % Cu.Mots-cles : TiO<sub>2</sub>, anatase, indice de refraction, gap optique, sol-gel

TiO2 waveguides thin films prepared by sol-gel method on glass substrates with and without ZnO underlayer

TiO2 thin films have been deposited on glass substrates with and without ZnO underlayer by sol-gel dip coating process. XRD patterns show the formation of anatase phase with the diffraction lines (1 0 1) and (2 0 0) in TiO2/glass sample. In TiO2/(ZnO/glass) sample, TiO2 is composed of anatase phase with the diffraction line (2 0 0) but the diffraction peaks of ZnO wurtzite are also well-defined. The determination of the refractive index and the thickness of the waveguiding layers has been performed by m-lines spectroscopy. The thickness of TiO2 thin films deduced by Rutheford Backscattering Geometry (RBS) agrees well with that obtained by m-lines spectroscopy. TiO2/glass sample exhibits one guided TE0 and TM0 polarized modes. In TiO2/(ZnO/glass) sample, only, TE0 single mode has been excited due to cutoff condition