Virtual metrology for semiconductor manufacturing applications

Per essere competitive nel mercato, le industrie di semiconduttori devono poter raggiungere elevati standard di produzione a un prezzo ragionevole. Per motivi legati tanto ai costi quanto ai tempi di esecuzione, una strategia di controllo della qualità che preveda la misurazione completa del prodotto non è attuabile; i test sono eettuati su un ristretto campione dei dati originali. Il traguardo del presente lavoro di Tesi è lo studio e l'implementazione, attraverso metodologie di modellistica tipo non lineare, di un algoritmo di metrologia virtuale (Virtual Metrology) d'ausilio al controllo di processo nella produzione di semiconduttori. Infatti, la conoscenza di una stima delle misure non realmente eseguite (misure virtuali) può rappresentare un primo passo verso la costruzione di sistemi di controllo di processo e controllo della qualità sempre più ranati ed ecienti. Da un punto di vista operativo, l'obiettivo è fornire la più accurata stima possibile delle dimensioni critiche a monte della fase di etching, a partire dai dati disponibili (includendo misurazioni da fasi di litograa e deposizione e dati di processo - ove disponibili). Le tecniche statistiche allo stato dell'arte analizzate in questo lavoro comprendono: - multilayer feedforward networks; Confronto e validazione degli algoritmi presi in esame sono stati possibili grazie ai data-set forniti da un'industria manifatturiera di semiconduttori. In conclusione, questo lavoro di Tesi rappresenta un primo passo verso la creazione di un sistema di controllo di processo e controllo della qualità evoluto e essibile, che abbia il ne ultimo di migliorare la qualità della produzione.ope

Phylogenomic proof of Recurrent Demipolyploidization and Evolutionary Stalling of the “Triploid Bridge” in Arundo (Poaceae)

Polyploidization is a frequent phenomenon in plants, which entails the increase from one generation to the next by multiples of the haploid number of chromosomes. While tetraploidization is arguably the most common and stable outcome of polyploidization, over evolutionary time triploids often constitute only a transient phase, or a “triploid bridge”, between diploid and tetraploid levels. In this study, we reconstructed in a robust phylogenomic and statistical framework the evolutionary history of polyploidization in Arundo, a small genus from the Poaceae family with promising biomass, bioenergy and phytoremediation species. Through the obtainment of 10 novel leaf transcriptomes for Arundo and outgroup species, our results prove that recurrent demiduplication has likely been a major driver of evolution in this species-poor genus. Molecular dating further demonstrates that the species originating by demiduplication stalled in the “triploid bridge” for evolutionary times in the order of millions of years without undergoing tetratploidization. Nevertheless, we found signatures of molecular evolution highlighting some of the processes that accompanied the genus radiation. Our results clarify the complex nature of Arundo evolution and are valuable for future gene functional validation as well as reverse and comparative genomics efforts in the Arundo genus and other Arundinoideae

Phylogenomic proof of Recurrent Demipolyploidization and Evolutionary Stalling of the “Triploid Bridge” in Arundo (Poaceae)

Polyploidization is a frequent phenomenon in plants, which entails the increase from one generation to the next by multiples of the haploid number of chromosomes. While tetraploidization is arguably the most common and stable outcome of polyploidization, over evolutionary time triploids often constitute only a transient phase, or a “triploid bridge”, between diploid and tetraploid levels. In this study, we reconstructed in a robust phylogenomic and statistical framework the evolutionary history of polyploidization in Arundo, a small genus from the Poaceae family with promising biomass, bioenergy and phytoremediation species. Through the obtainment of 10 novel leaf transcriptomes for Arundo and outgroup species, our results prove that recurrent demiduplication has likely been a major driver of evolution in this species-poor genus. Molecular dating further demonstrates that the species originating by demiduplication stalled in the “triploid bridge” for evolutionary times in the order of millions of years without undergoing tetratploidization. Nevertheless, we found signatures of molecular evolution highlighting some of the processes that accompanied the genus radiation. Our results clarify the complex nature of Arundo evolution and are valuable for future gene functional validation as well as reverse and comparative genomics efforts in the Arundo genus and other Arundinoideae

Virtual metrology for semiconductor manufacturing applications

Per essere competitive nel mercato, le industrie di semiconduttori devono poter raggiungere elevati standard di produzione a un prezzo ragionevole. Per motivi legati tanto ai costi quanto ai tempi di esecuzione, una strategia di controllo della qualità che preveda la misurazione completa del prodotto non è attuabile; i test sono eettuati su un ristretto campione dei dati originali. Il traguardo del presente lavoro di Tesi è lo studio e l'implementazione, attraverso metodologie di modellistica tipo non lineare, di un algoritmo di metrologia virtuale (Virtual Metrology) d'ausilio al controllo di processo nella produzione di semiconduttori. Infatti, la conoscenza di una stima delle misure non realmente eseguite (misure virtuali) può rappresentare un primo passo verso la costruzione di sistemi di controllo di processo e controllo della qualità sempre più ranati ed ecienti. Da un punto di vista operativo, l'obiettivo è fornire la più accurata stima possibile delle dimensioni critiche a monte della fase di etching, a partire dai dati disponibili (includendo misurazioni da fasi di litograa e deposizione e dati di processo - ove disponibili). Le tecniche statistiche allo stato dell'arte analizzate in questo lavoro comprendono: - multilayer feedforward networks; Confronto e validazione degli algoritmi presi in esame sono stati possibili grazie ai data-set forniti da un'industria manifatturiera di semiconduttori. In conclusione, questo lavoro di Tesi rappresenta un primo passo verso la creazione di un sistema di controllo di processo e controllo della qualità evoluto e essibile, che abbia il ne ultimo di migliorare la qualità della produzione