Effect of RF power on the structure and properties of ZnO∶Al films deposited by magnetron sputtering

采用RF磁控溅射技术以ZnO:Al2O3(2 wt%Al2O3)为靶材在石英玻璃衬底上制备多晶ZnO:Al(AZO)薄膜,通过XRD、AFM、AES以及Hall效应、透射光谱、折射率等手段研究了RF溅射功率(50~300 W)对薄膜的组织结构和电学,光学性能的影响。分析表明:所制备的AZO薄膜具有c轴择优取向,并且通过对不同功率下薄膜载流子浓度与迁移率的研究发现对于室温下沉积的AZO薄膜,晶粒间界中的O原子吸附是影响薄膜电学性能的主要因素。同时发现当功率为250 W时薄膜的电阻率降至最低(3.995×10-3Ω.cm),可见光区平均透射率为91%。Aluminum doped zinc oxide films are deposited by magnetron sputtering using a zinc oxide target doped with Al2O3(2 wt%.) with different RF powers on quartz substrate.The structural and compositional characteristics of the films are investigated by XRD,AFM,SEM,AES and XPS.respctively,while the electrical and optical properties of the thin films are studied by the Hall measurement and spectrophotometry,respectively.It has been found that all films deposited are c-axis preferred orientation perpendicular to the substrate with porous crystalline structure.The lowest resistivity obtained in this study is 3.9×10-3 Ω·cm for the film deposited at 250 W,and the average transmittance is 91% in the visible range.By comparing the samples deposited at various RF power,the oxygen absorption in the grain boundaries is the dominant factor which influences the electrical property of the AZO thin film

Effect of Ar Pressure on the Structure and Properties of ZnO∶Al Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

以ZnO∶Al2O3为靶材在石英玻璃衬底上射频磁控溅射制备多晶ZnO∶A l(AZO)薄膜,通过XRD、AFM以及H all效应、透射光谱等测试研究了RF溅射压强对薄膜结构、电学与光学性能的影响。分析表明:所制备的薄膜具有c轴择优取向,当压强为1.2Pa时薄膜的电阻率降至最低(2.7×10-3Ω·cm)。薄膜在可见光区平均透射率高于90%,光学带隙均大于本征ZnO的禁带宽度。Aluminum doped zinc oxide films were deposited by RF magnetron sputtering using a zinc oxide target doped with Al2O3 with different Ar pressure.The structural characteristics of the films were investigated by XRD and AFM while the electric and optical properties of the thin films were studied by the Hall measurement and optical spectroscopy,respectively.All of the films deposited were c-axis preferred orientation perpendicular to the substrate.The lowest resistivity obtained in this study was for the film deposited at Ar pressure of 1.2Pa,and the average transmittance is larger than 90% in the visible range for all samples.The optical band gap of the films is in the range of 3.53—3.66eV which is larger than the band gap of intrinsic ZnO

Fabrication of 4H-SiC MSM Photodiode Linear Arrays

采用Ni/Au作为肖特基接触制备了一维阵列MSM4H-SiC紫外光电探测器,并测量和分析了阵列器件的I-V、光谱响应特性.结果表明,阵列探测器性能均匀性好,击穿电压均高于100V.阵列中单器件暗电流小,在偏压为20V的时候,最大暗电流均小于5pA(电流密度为5nA/cm2),光电流比暗电流高3个数量级以上.其光谱响应表明,单器件在电压为20V时的响应度约为0.09A/W,比400nm时的比值均大5000倍,说明探测器具有良好的紫外可见比.Metal-semiconductor-metal(MSM)photodetector linear arrays of 40 pixels based on 4H-SiC,in which nickel Schottky contacts are used,are designed,fabricated,and characterized.Current-voltage and spectral responsivity measurements are carried out at room temperature.The linear arrays show uniform performances,including responsibility,breakdown voltage,and low leakage current.The breakdown voltage of the unit is beyond 100V.The detector shows a peak responsivity of about 0.09A/W,a dark current smaller than 5pA at 20V,and a displayed peak response wavelength at 290nm.The ratio of responsivity at 290nm to that of at 400nm is more than 5000,implying that the photodetector has an improved visible blind performance

渐开线直齿轮啮合接触计算与分析

渐开线齿轮的啮合过程分析是判断传动品质的重要依据，其中，接触应力、传动误差及啮合刚度是分析的重点。根据直齿轮TCA模型，提取各接触点曲率半径，将齿面啮合接触简化为不同半径圆柱体对之间的弹性挤压。在考虑齿间载荷分配的情况下，运用Hertz原理对齿面进行了承载接触分析。分析表明，通过该方法得到的结果与有限元及实验所得结果相符，接触应力最大值相差0.74 %，传动误差及啮合刚度规律一致。该方法可反映齿面接触的动态过程及啮合刚度

一种面向电缆沟巡检作业多功能移动机器人

本发明提供一种面向电缆沟巡检作业的多功能移动机器人，包括履带式行走机构（1）和消防模块（2）、视觉检测模块（3）、气体检测模块（4）以及通信模块（5）。本发明可实现电缆沟内部环境的有害气体检测、视觉检测、消防作业等多种功能，及时发现并排除电缆沟内电力设备的故障隐患、降低电缆设备事故率

机械活化辅助浸出硫化镍矿中有价金属

随着高镍三元锂电池在新能源电动汽车领域的规模化应用,全球镍资源的需求量日益增加,绿色、高效、低成本地从硫化镍矿资源中提取镍的技术备受关注。本工作提出了机械活化辅助氧化浸出硫化镍矿的提取路径,在机械活化过程中通过改变硫化镍矿结构、增加晶体无序化程度、减小粒度和增加比表面积增加硫化镍矿的反应活性,再通过Na_2S_2O_8氧化浸出实现了常压环境中硫化镍矿中有价金属的高效浸出。考察了机械活化和浸出过程中各因素对硫化镍精矿浸出的影响,确定了较优条件。在较优条件球磨转速613 r/min、球料比20:1、球磨时间120 min、酸浓度2 mol/L、过硫酸钠浓度0.42 mol/L、浸出时间60min、液固比5:1、搅拌速率400 r/min和浸出温度80℃下,Ni, Co, Cu和Fe的浸出率分别达98.9%, 97.7%, 98.2%和98.7%

高速列车的关键力学问题

在过去10年时间,中国和谐号系列高速列车经历了一系列速度上的飞跃.在最初引进消化吸收基础上,研制了新一代高速列车并大规模投入运营,伴随这一过程的大量试验与工程实践,大大促进了对高速铁路这样一个车-线-网-气流强耦合的复杂大系统中的关键力学问题的深入理解和全面研究.该文将从6个方面对高速列车研制和运行过程中的典型力学问题的研究进展以及未来的研究方向做一个梳理.考虑到这样一个大系统的复杂性,同时也为了使对高速列车感兴趣的技术与科研人员对这些力学问题有一个比较全面的认识,文中将分别就高速列车的空气动力学、弓网关系、车体振动与车体模态设计、车体运行稳定性、高速轮轨关系、关键结构的运行可靠性和列车噪声

Current research progress in the mechanics of high speed rails

在过去10年时间,中国和谐号系列高速列车经历了一系列速度上的飞跃.在最初引进消化吸收基础上,研制了新一代高速列车并大规模投入运营,伴随这一过程的大量试验与工程实践,大大促进了对高速铁路这样一个车-线-网-气流强耦合的复杂大系统中的关键力学问题的深入理解和全面研究.该文将从6个方面对高速列车研制和运行过程中的典型力学问题的研究进展以及未来的研究方向做一个梳理.考虑到这样一个大系统的复杂性,同时也为了使对高速列车感兴趣的技术与科研人员对这些力学问题有一个比较全面的认识,文中将分别就高速列车的空气动力学、弓网关系、车体振动与车体模态设计、车体运行稳定性、高速轮轨关系、关键结构的运行可靠性和列车噪声

塔里木河上游典型绿洲不同连作年限棉田土壤质量评价/Soil quality assessment of continuous cropping cotton fields for different years in a typical oasis in the upper reaches of the Tarim River[J]

以塔里木河上游阿拉尔垦区为典型样区,选择0、3、8、12、20、30 a等不同连作年限棉田为研究对象,综合考虑土壤物理、化学和生物学性质,分析了12个土壤理化及酶活性指标;基于因子分析和聚类分析法评价棉田间土壤质量的差异并划分等级,利用产量持续指数验证评价结果.研究表明:不同连作年限的棉田土壤的理化性质和酶活性均存在一定差异;棉田的土壤质量随年限呈先上升后下降的趋势,8、12 a棉田土壤质量相对较高,20、30 a土壤质量有退化趋势;土壤质量评价值与产量持续指数变化趋势一致,后者略显滞后效应