Adaptive Estimation and Control of a Z-Axis MEMS Gyroscope With Time-Varying Rotation Rates

This paper presents a new adaptive control algorithm to control the sense axis of a Z-axis MEMS gyroscope. A force-to-rebalance mode of operation is applied to the sense axis. Under this mode, the output amplitude of sense axis is continuously monitored and driven to zero by the controller while an input rotation rate is measured. Adaptive laws are developed to estimate the rotation rate and a quadrature error term caused by mechanical imperfection. In the paper, we suppose the rotation rate of the gyroscope is an unknown time-varying piecewise continuous parameter, rather than a constant as in current literature. A Lyapunov approach is applied to obtain both control and adaptive laws. © 2006 IEEE

Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren

Der Bedarf an mikromechanischen Inertialsensoren zur Messung von Drehgeschwindigkeiten und Beschleunigungen ist stark ansteigend. Die Technologie für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bietet hierbei den Vorteil einer hohen Packungsdichte. In dieser Arbeit werden Ansätze auf Systemebene zur Reduktion der Stromaufnahme der Auswerteelektronik eines kapazitiven mikromechanischen Drehratensensors vorgestellt und so ein leistungsoptimierter Betrieb in mobilen Endanwendung ermöglicht