Developpement de Sondes Thermoelectriques pour applications de type champ Proche

The evolution towards the world of the nanotechnologies currently increases very quickly. These technologies are in many industry domains but some of them are unknown for their fundamental aspects by the industrial and scientific field. Many of the industrial processes need the temperature information: heating, cooking, heat treatment, fusion, etc. The processes for controlling and regulating temperature are included in the thermal measuring equipment. In first case, in the middle of the process, the sensor constitutes the sensitive element of this chain. For half a century, the microscopy techniques develop to characterize the material and understand the local phenomena. In order to manage this understanding, the thermal microscopies have emerged to determine at the nano-scale the temperature to know the energy level. The probe is also at the heart of the problem. The design until the development of this new probe is based on the hybrid technologies based on deposit techniques in clean rooms, and on traditional techniques of making of thermocouples. The produced probe, certainly intrusive, makes it possible to combine the temperature measurement with contact various materials, and making it possible to be an active probe. In particular, it (this probe) will be able to supplement the probes currently proposed in near field microscopyL'évolution vers le monde des nanotechnologies croît actuellement très rapidement. Ces technologies sont présentes dans de nombreux secteurs d'activités allant de l'automobile à la recherche, mais sont encore bien méconnues dans leurs aspects fondamentaux du domaine industriel et scientifique. Nombreux sont les process industriels faisant appel à la température : chauffage, cuisson, traitement thermique, fusion, etc. Les procédés mis en œuvre pour la contrôler et la réguler forment un ensemble complet, la chaîne de mesure thermique. En première ligne, au cœur du process, le capteur constitue l'élément sensible de cette chaîne. Depuis un demi siècle, les techniques de microscopies évoluent pour caractériser la matière et comprendre les phénomènes locaux. Afin de mieux maîtriser cette compréhension les microscopies thermiques ont vu le jour pour déterminer également à l'échelle locale la température afin de connaître le niveau d'énergie. La sonde utilisée est également au cœur du problème. La conception jusqu'au développement de cette nouvelle sonde s'appuie sur des technologies hybrides basées sur des techniques de dépôts en salles blanches ainsi que sur des techniques classiques d'élaboration de thermocouples. La sonde réalisée, certes intrusive, permet d'allier la mesure de températures aux contacts de matériaux et d'offrir la possibilité d'être une sonde active. Elle pourra notamment compléter les sondes actuellement proposées en microscopie de champ proche

Thermal contact calibration between a thermocouple probe and a microhotplate

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