Properties of Nanoscale Carbon Coatings Obtained by the Pulsed Vacuum-Arc Method on Silicon

The complex of properties including the structure, adhesive strength, internal stresses, tribological properties, microhardness and crack-resistance of nanoscale carbon coatings obtained by the pulsed vacuum-arc method on single-crystal silicon substrates was investigated. Two types of samples of the carbon coating: type (i) formed at the normal location of the substrate relative to the geometric axis of the plasma flow (θ = 0°); type (ii) obtained at an angle θ = 70° were studied. The analysis of the experimental results showed, that the angle of plasma flow incidence relative to the substrate drastically affects the properties of carbon coatings. The structure, adhesion, internal stresses, wear resistance, crack resistance are interrelated and determined by the radiation-diffusion sealing during the process of carbon coating deposition from the carbon plasma flow. Nanoscale carbon coatings can significantly improve the strength and tribological properties of different tools, parts and products. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3530

Наноструктурні покриття на основі аморфного вуглецю і наночастинок золота, отримані імпульсним вакуумно-дуговим методом

Імпульсним вакуумно-дуговим методом отримані наноструктурні покриття на основі алмазоподібного вуглецю та вуглецю, легованого золотом, товщиною 100-300 нм на підкладках з кремнію. Досліджено структуру методом просвічуючої електронної мікроскопії високої роздільної здатності, елементний склад методом рентгенівського мікроаналізу, визначено твердість, адгезійні та трибологічні характеристики, величину внутрішніх напружень, а також електропровідність і оптичні характеристики. Встановлено, що наночастинки золота у вуглецевій матриці мають кристалічну структуру і розмір близько 5 нм. При змінюванні вмісту золота від 1 до 25 % трибологічні властивості погіршуються, а питомий опір зменшується з 920 до 0.06 мОм×м. Запропонована методика легування вуглецевого алмазоподібного покриття золотом дозволяє в широких межах змінювати питомий опір і коефіцієнт пропускання при збереженні високої зносостійкості і низького коефіцієнту тертя.Nanostructured coatings based on diamond-like carbon and gold-doped carbon with a thickness of 100- 300 nm were obtained by a pulsed vacuum-arc method on silicon substrates. The structure of the coatings was studied by high-resolution transmission electron microscopy, the elemental composition was studied by X-ray microanalysis. In addition, hardness, adhesive and tribological characteristics, the magnitude of internal stresses, as well as electrical conductivity and optical characteristics were also investigated. It was found that gold nanoparticles in the carbon matrix have a crystal structure and their size is about 5 nm. A change in the gold content from 1 to 25 % leads to a deterioration in the tribological properties of the coating, while the resistivity decreases from 920 to 0.06 mΩ∙m. The technique proposed in this study for the doping of a diamond-like carbon coating with gold allows varying the resistivity and transmittance over a wide range while maintaining high wear resistance and low friction coefficient