31 research outputs found
๋ง์ดํฌ๋ก๋น์์์ ๋ฐ๋ฅ ์ฐจ์ค๋ฆ์ ์ํ ๋ธ๋ก๋ง์ด๋ ์ด์จ๊ณผ ํธ๋ผ์ด์ํธ๋ ๊ธ๋ผ์ด์ฝ์ ๊ธฐ๋ฐํ ํํ์ ์ ๊ตฌ์กฐ์ ์์๋ค์ ๋ํ ์ ๊ธฐํํ์ ์ฐ๊ตฌ
ํ์๋
ผ๋ฌธ (๋ฐ์ฌ) -- ์์ธ๋ํ๊ต ๋ํ์ : ๊ณต๊ณผ๋ํ ํํ์๋ฌผ๊ณตํ๋ถ, 2021. 2. ๊น์ฌ์ .๊ตฌ๋ฆฌ ์ ํด๋๊ธ์ ์ ์๊ธฐ๊ธฐ ์ฐ์
์์ ์ธ์ ํ๋ก ๊ธฐํ๊ณผ ์ง์ ํ๋ก์์์ ๋ฐฐ์ ์ ์ํ ๊ธฐ์ ๋ก์ ๊ณตํต์ ์ผ๋ก ์ด์ฉ๋์๋ค. ๋ฐฐ์ ์ ๋์ ์ ๋ขฐ์ฑ์ ์ํด์๋ ๋ค์ํ ์ฒจ๊ฐ์ ๋ค์ ์ฌ์ฉํ๋ฉด์ ๋ฐ๋ฅ ์ฐจ์ค๋ฆ์ ํ์ฑํ์ฌ์ผ ํ๋ค. ์ด๋ฌํ ์ฒจ๊ฐ์ ๋ค ์ค์์ ํํ์ ๋ ๋ง์ดํฌ๋ก๋น์์ ๋ฐ๋ฅ ์ฐจ์ค๋ฆ์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ๋ฉฐ, ๋ ๋์ ์ฑ์ ํน์ฑ์ ์ํด ํํ์ ์ ๊ฐ๋ฐ์ ํ์์ ์ด๋ค. ์ต์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์์น์ํค๊ธฐ ์ํด์ ํํ์ ์ ๊ตฌ์กฐ ๋ณํ๋ ํ์ํ๋ค, ๊ทธ๋ฌ๋ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ํํ์ ์ ์ต์ ๊ฑฐ๋์ ๋ํ ์ฐ๊ตฌ๋ ์์ง ๋ถ์ถฉ๋ถํ ์ํ์ด๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ์ต์ ์ธ๊ธฐ๋ฅผ ์์น์ํค๊ธฐ ์ํด ํธ๋ผ์ด์ํธ๋ ๊ธ๋ผ์ด์ฝ ๊ธฐ๋ฐ์ ํํ์ ๋ค์ ๋ง๋จ ์์ฉ๊ธฐ ๊ทธ๋ฃน ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ 4๊ฐ ์๋ชจ๋ ๊ทธ๋ฃน๋ค๊ณผ ๊ฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ค์ ์กฐ์ ํ๋ ๊ฒ๊ณผ ๋ธ๋ก๋ง์ด๋ ์ด์จ๊ณผ ๊ฐ์์ ์ฌ์ด์ ์ํธ์์ฉ์ ๋ํ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์งํํ์๋ค.
์ฒซ๋ฒ์งธ ์ฐ๊ตฌ๋ ์คํฉ์ฒด์ ์ต์ ์ ์ ๊ฐ์์ ์ ํก์ฐฉ์ ๋ํ ๋ธ๋ก๋ง์ด๋ ์ด์จ๋ค์ ์ํฅ์ ๋ํด ์ดํ๋ค. ๋น๋ก ๋ธ๋ก๋ง์ด๋ ์ด์จ๋ค์ ๋ฐ๋ ์ด์จ๋ค๋ก ์ฌ์ฉ๋์์ง๋ง, ๋ฌด๊ธฐ ์ฒจ๊ฐ์ ๋ก์ ์ ์ฉ์ ํ ์ ์๋ค. ๋ธ๋ก๋ง์ด๋ ์ด์จ๋ค์ ๊ตฌ๋ฆฌ ํ๋ฉด์์ ์ต์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๋ณด์ด๊ณ ์ต์ ์ ์ ์ต์ ์ธต์ด ์์ ํ ๋๋ค. ๊ฐ์์ ์์ ๊ฒฝ์ ํก์ฐฉ์ ๊ฐ์์ ์ ๋ธ๋ก๋ง์ด๋ ์ด์จ๋ค์ ๋๋์ ๊ฐ์ ๋๋ฅ์ ์ข์ฐ๋๋ค. ์ฒจ๊ฐ์ ์ ๋๋๋น๊ฐ ํน์ ๋ฒ์(0.2 < [SPS]/[Br] < 0.7) ์์์, ๋ง์ดํฌ๋ก๋น์์ ๋ฐ๋ฅ ๋ชจ์๋ฆฌ์์ ๊ตฌ๋ฆฌ๋ฅผ ๋๊ธํ๊ณ ์ ํ๋ฉด์ ์ต์ ํจ์ผ๋ก์จ ๋ง์ดํฌ๋ก๋น์๋ ๋ฐ๋ฅ ์ฐจ์ค๋ฆ์ ํ์ฑ ํ ์ ์๋ค. ๋ง์ฝ ์ด ๋๋ ๋ฒ์์์ ๋ฒ์ด๋๋ค๋ฉด, ๋ฑ๊ฐ ์ฑ์์ด ํ์ฑ ๋๋ค.
๋ธ๋ก๋ง์ด๋ ์ด์จ์ ์ฒจ๊ฐ์ ๋ค๊ณผ ์ํธ์์ฉ์ผ๋ก ํ์ฑ๋ ์ต์ ํจ๊ณผ์ ์ด์ ๋ก TEG ๊ธฐ๋ฐ์ ํํ์ ์์ ๋ฐ๋์ด์จ์ผ๋ก์ ์ ํ๋์๋ค. ํํ์ ๋ค์ ๋ถ์กฑํ ์ต์ ๋ฅผ ๋ณด์ถฉํ๊ธฐ ์ํด ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์์ ํ ํ์์ฑ์ด ์์ผ๋ฉฐ ๊ทธ ์ด์ ๋ก๋ ์์ด์ค๋ค์ด๋ ์ด์จ์์ ๋ธ๋ก๋ง์ด๋ ์ด์จ์ผ๋ก ๋์ฒด๊ฐ ํํ์ ๋ค์ ์ต์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๊ฐ์์ํค๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ค. ํํ์ ๋ค์ ์ต์ ํน์ฑ์ ํฅ์์ํค๊ธฐ ์ํด์, ๋ง๋จ ์์ฉ๊ธฐ๋ค(์๋ฆด๊ธฐ, ํ๋กํ๊ธฐ, ๋ฒค์ง๊ธฐ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ํํธ๋ฉํธ๊ธฐ)์ ๋ณํ์ํค๋ฉด์ TEG ๊ธฐ๋ฐ์ ํํ์ ๋ค์ ํฉ์ฑํ์๋ค. ๋ชจ๋ ํํ์ ๋ค์์, ๋ํํธ๋ฉํธ๊ธฐ๊ฐ ํฌํจ๋ ํํ์ ๊ฐ ๊ฐ์ฅ ์ต์ ํจ๊ณผ๊ฐ ํฌ๊ณ ๊ฐ์์ ์ ์ํ ๋นํ์ฑํ๊ฐ ๋ํ๋์ง ์์์ ๋ณด์๋ค. ๋ง์ดํฌ๋ก๋น์ ์ฑ์์์, ํํ์ ๋ฅผ ํฌํจํ ์ธ๊ฐ์ ์ฒจ๊ฐ์ ๋ค์ ์ฌ์ฉํจ์ผ๋ก์จ ์ฑ์ ๋น์จ์ 100%๊ฐ 50๋ถ ์์ ๋๋ฌํ์๊ณ ๋ง์ดํฌ๋ก๋น์์ ์ ๋ถ๋ถ ๋๊ป๋ 15 ฮผm์ด์๋ค. ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ๋ํํธ๋ฉํธ ์์ฉ๊ธฐ๊ฐ ํํ์ ์ ์ต์ ์ธ๊ธฐ๋ฅผ ํฅ์ ์ํค๊ธฐ ์ํด์ ์ ๋ฆฌํ ์กฐ๊ฑด์ด์๋ค.
๊ฒ๋ค๊ฐ, ์ 4 ์๋ชจ๋ ์์ฉ๊ธฐ๋ ์์ ํ ๋๋ฌธ์ ํํ์ ์ ํก์ฐฉ์ ๊ด๋ จ๋ ์ ์๋ค. ์ฐ๋ฆฌ๋ ์ 4 ์๋ชจ๋ ์์ฉ๊ธฐ์ ์์ ๋ฐ๋ฅธ ํํ์ ๋ค์ ์ต์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ ์กฐ์ฌํ์๋ค. ์ธ๊ฐ์ ์๋ชจ๋ ์์ฉ๊ธฐ๋ฅผ ํฌํจํ ํํ์ ๋ ์ด ์ฐ๊ตฌ์์ ํฉ์ฑํ ์ฒจ๊ฐ์ ๋ค ์ค์์ ๊ฐ์ฅ ๊ฐํ ์ต์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์ด๋์๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ํํ์ ์ ๊ฐ์์ ์ฌ์ด์์์ ์ํธ์์ฉ์ด ๊ฒฝ์ ํก์ฐฉ ๋์ ์์น์ ์ธ ์ต์ ๋ฅผ ๋ง๋ค์ด๋ด๋ ๊ฒ์ ๋ณด์๋ค. ์ฒจ๊ฐ์ ๋ค์ ํน์ ๋๋์์ ์ธ๊ฐ์ ์๋ชจ๋ ์์ฉ๊ธฐ๊ฐ ์๋ ํํ์ ๋ฅผ ์ฌ์ฉํจ์ผ๋ก์จ ๋ฐ๋ฅ ์ฐจ์ค๋ฆ์ด ํ์ฑ ๋์๊ณ , ๋ํ ์ ๋ฅ ๋ฐ๋๋ฅผ 15์์ 30 mA/cm2 ํฅ์ ์ํด์ผ๋ก์จ ๋ฐ๋ฅ ์ฐจ์ค๋ฆ์ ์ป์ ์ ์์๋ค. ๋๋๊ฒ๋, ๊ตฌ๋ฆฌ ๋๊ธ ์๋๋ 60๋ถ์์ 30๋ถ์ผ๋ก ์ค์๋ค.
์ด๋ฌํ ์ฐ๊ตฌ๋ค์ ๊ตฌ๋ฆฌ ์ ํด๋๊ธ ์ฐ์
์์ ์๋ก์ด ํํ์ ๋ฅผ ๋ถ์ํ๊ณ ์ ์ํ๋๋ฐ ์์ด ๋์์ด ๋ ์ ์๋ค.Copper (Cu) electrodeposition is a commonly utilized technology for the metallization in printed circuit boards and integrated circuits in the electronics industry. For the high responsibility of metallization, bottomโup filling is achieved by using various additives. Levelers play a role in bottomโup filling of microvia among the additives, which is necessary to develop for better filling performance. It is necessary to modify the structure of levelers for enhancing the inhibition effect, but studies on the inhibition behavior of leveler according to structures are still insufficient. In this study, the interaction between bromide ions and accelerator and modifying the structures, such as terminal functional groups and quaternary ammonium groups, on triethylene glycol (TEG)โbased levelers are examined to improve the inhibition strength.
First study investigates the effect of bromide ions on the adsorption of polymeric suppressor and accelerator. Although bromide ions are used as the counter ions, they can be applied as the inorganic additive. Bromide ions indicate the inhibition effect and stabilize the inhibition layer of suppressor on the Cu surface. The competitive adsorption with the accelerator is dependent on the concentration of accelerator and bromide ions and the forced convections. In the range of concentration ratio (0.2 < [SPS]/[Brโ] < 0.7), microvias can form bottomโup filling by depositing Cu at the corner of bottom in microvias and inhibiting the top surface of microvias. The conformal filling is achieved if the concentration ratio is out of that range.
Bromide ions are chosen as the counter ions in TEGโbased levelers because of the inhibition effect produced by the interaction with additives. Levelers are necessary to modify the structure for compensating the insufficient inhibition because the displacement of Iโ to Brโ reduces the inhibition effect of levelers. To enhance the inhibition property of levelers, TEGโbased levelers varying the terminal functional groups (allyl, propyl, benzyl, and naphthylmethyl) are synthesized. Among the synthesized levelers, the leveler composed of naphthylmethyl groups indicates the strongest inhibition effect and no deactivation by accelerator. In microvia filling, filling ratio reaches 100% within 50 min and the top thickness of microvia is 15 ฮผm by using threeโadditives containing the leveler. As a results, naphthylmethyl groups are advantageous for enhancing the inhibition strength of leveler.
In addition, quaternary ammonium groups can be related to the adsorption of levelers because of their positive charge. We also investigate the inhibition effect of levelers according to the number of quaternary ammonium groups. The leveler containing threeโammonium groups induces the strongest inhibition effect among the synthesized levelers in this study. And it shows that the interaction between the leveler and accelerator make the synergistic inhibition by the competitive adsorption. In specific concentrations of additives, bottomโup filling is formed by using the leveler with threeโammonium groups, which also can be achieved by enhancing the current density from 15 to 30 mA/cm2 in the accelerator and leveler composition. Astonishingly, the Cu deposition time is reduced from 60 to 30 min.
These studies can be helpful for analyzing and suggesting new levelers in the Cu electrodeposition industry.Abstract....................................................................................................................... i
List of Tables............................................................................................................... vi
List of Figures............................................................................................................. vii
Chapter I. Introduction.............................................................................................. 1
1.1. Cu interconnects in electronic devices........................................................ 1
1.2. Filling of microvia by Cu electrodeposition................................................ 6
1.3. Additives for bottomโup filling.................................................................. 10
1.4. Leveler and its structural characteristic....................................................... 14
1.5 Purpose of this study.................................................................................... 20
Chapter II. Experimental........................................................................................... 22
2.1. Electrochemical analyses............................................................................. 22
2.2. Microvia filling........................................................................................... 25
2.3. Additives for microvia filling...................................................................... 28
Chapter III. Results and Discussion......................................................................... 33
3.1. Bromide ions as the additive in microvia filling......................................... 33
3.1.1. Electrochemical behaviors of bromide ions and interaction with
SPS........................................................................................................ 34
3.1.2. Microvia filling varying the concentration of Brโ and SPS.................. 44
3.2. Terminal functional groups of levelers....................................................... 51
3.2.1. Inhibition effect with different terminal functional groups.................. 52
3.2.2. Interaction of levelers with the accelerator and the suppressor............ 59
3.2.3. Filling performance of microvia with synthesized levelers................. 64
3.3. Quaternary ammonium groups of levelers..................................................68
3.3.1. Electrochemical effect of ammonium groups...................................... 68
3.3.2. Microvia filling in high current density............................................... 77
Chapter IV. Conclusion.............................................................................................. 87
References....................................................................................................................91
๊ตญ๋ฌธ ์ด๋ก.................................................................................................................... 98
Appendix I................................................................................................................... 101
Appendix โ
ก................................................................................................................. 122
Appendix โ
ข................................................................................................................ 126Docto
์ 83 ์ฐจ ์ค์ฌ๋ก - ๋ฐ์ค์ฌ๋ก ๋ ผ์์ ํจ์
์ ํต์ ์ธ ์ค์ฌ๋ก ๊ณผ ๋ฐ์ค์ฌ๋ก ์ ๋
ผ์์์๋ ์ธ์๋ก ์ ๋ฌธ์ ์ ์กด์ฌ๋ก ์ ๋ฌธ์ ๊ฐ ํผ์ฌ๋ ์ฑ ์ ๊ฐ๋์๋ค. ์ด๋ฌํ ๋
ผ์์ ํด๊ฒฐ์ ์ํ์ฌ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ด ์กด์ฌ๋ก ์ ๋
ผ์ ์ ์ธ์๋ก ์ ๋
ผ์ ๋ฅผ ๊ตฌ๋ถํ ๊ฒ์ ์ ์ํ๋ค. ๋
ผ์ I(์กด์ฌ๋ก ์ ๋
ผ์ ): ๋(๋์ ์์)๋ก๋ถํฐ ๋
๋ฆฝ๋ ๊ทธ๋ฌ๊ทธ๋ฌํ ๋์(์ค์ฌ๏ผ ์ธ๊ณ)์ด ์กด์ฌํ๋ค. ๋
ผ์ 2(์ธ์๋ก ์ ๋
ผ์ ): ์ง๋ฆฌ๋ ๊ทธ๋ฌ๊ทธ๋ฌํ ์ค์ฌ์ ๋ฌธ์ฅ(๋ช
์ )์ ๋์ํ๋ค
ะะฝะฝะฐ ะั ะผะฐัะพะฒะฐ ะฒ ะขะฐัะบะตะฝัะต(Anna Akhmatova in Tashkent)
์๋ ์ํ๋งํ ๋ฐ๋ ๋
์์ ์์ด ๋ฒ์ด์ง๋ 1941๋
11์๋ถํฐ 1944๋
4์๊น์ง ์ฝ 2๋
๋ฐ ๋์ ์ฐ์ฆ๋ฒ ํค์คํ์ ์๋ ํ์์ผํธ์ ์ฒด๋ฅํ์๋ค. ์ ์์ ํ์์ผํธ์์ ์ํ๋งํ ๋ฐ๋ ์์ ๊ฐ์ด์ ์ ๊ตญ์ ์ธ ์๋น์ํธ ์๋ฏผ์ผ๋ก์ ์ฐฝ์กฐ์ ์ด๊ณ ํ์๋ก์ด ์ถ์ ์ด์๋ค. ํ์์ผํธ ์์ ์ ์์ด์ง ๊ทธ๋
์ ์์ ์๋ค์ ๋ ๊ฐ์ง ๊ณ์ด๋ก ๋๋๋ค. ํ๋๋ ์ ์ ์ ๊ณ์ด์ด๊ณ , ๋ค๋ฅธ ํ๋๋ ์์์-๋๋ฐฉ ์ ๊ณ์ด์ด๋ค. ์ ์์๋ ์ ์์ ํ์ผ์ ํฉ์ธ์ธ ๋ ๋๊ทธ๋ผ๋์ ๋น๋ ํ์ค์ด ํ์ํ๋๋ ๋ฐ๋ฉด, ํ์์๋ ๊ณ ๋์ ๋ชจ์ต์ ๊ทธ๋๋ก ๊ฐ์งํ ํ์ญ์ฌ์ ์ธ ํ์์ผํธ์ ํ๊ด์ด ๊ทธ๋ ค์ง๋ค. ํ์์ผํธ ์์ ์ ํน์ง์ง๋ ์ฐฝ์์ ๋ ๊ฐ๋๋ ์ ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ง ์๊ธฐ์ ์ฒด์ฑ์ ํ์๊ณผ ํ๋ฆฝ์ด๋ผ๋ ๊ด์ ์์ ๊ณ ์ฐฐํด๋ณผ ์ ์๋ค. ์ ์์ ๊ณ์ด์์๋ ๋ฌ์์์ธ ํน์ ๋ฌ์์ ๊ตญ๋ฏผ์์ธ์ผ๋ก์์ ์์์์ด ๋๋๋ฌ์ง๋ ๋ฐ๋ฉด, ์์์-๋๋ฐฉ ์ ๊ณ์ด์์๋ ์์์์์ ์น์ฐ์ฑ, ์์์์ธ์ผ๋ก์์ ์๊ธฐ์ ์ฒด์ฑ์ด ๋ถ๊ฐ๋๋ค. ์์ธ๋ฌ ํ์์์๋ ํ์์ผํธ๋ผ๋ ๊ตฌ์ฒด์ ์ง๋ช
์ด ์ค๊ณง ์์์ ํน์ ๋๋ฐฉ ์ด๋ผ๋ ๋ณดํธ์ ๋ฒ์ฃผ๋ก ๋์ฒด๋๊ณ , ์์ธ์ ๋ ๋ค๋ฅธ ์ง ๊ณ ํฅ์ผ๋ก ๊ฐ์ฃผ๋๋ ์ ์ด ํน์ง์ ์ด๋ค. ์ธ๊ธ๋ ์ ๋ฐฉํฅ์ ์๊ธฐ์ ์ฒด์ฑ ํ์์ ์ผ๊ฒฌ ์กฐํ๋กญ๊ฒ ์๋ฆฝํ๋ ๋ฏํ๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์ ๋ฝ์ธ-ํ์ง์ธ์ผ๋ก์์ ์ ์ฒด์ฑ์ ๋๋ ทํ๊ฒ ํ๋ช
ํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ํ์์ผํธ๋ฅผ ํํฅ์ผ๋ก ๊ท์ ํ๊ณ ์๋ ์ ใ์ฌ์ดํด ํ์์ผํธ์ ์ง๋ฉด๋ค์์ใ์์ ๋๋ฌ๋๋ฏ์ด ๊ทธ๋ฌํ ์ด์ค์ ์๊ธฐ์ ์ฒด์ฑ ํ์์ ๊ธฐ์ ์๋ ๋ ๋๊ทธ๋ผ๋-์ ๋ฝ-์๋ฐฉ-๊ณ ํฅ vs. ํ์์ผํธ-์์์-๋๋ฐฉ-ํํฅ์ด๋ผ๋ ์ค๋ฆฌ์ํ๋ฆฌ์ฆ์ ๋ฐ์ ๋ฆฝ์ด ์๋ํ๊ณ ์๋ค.
ะัะตะฝัั 1941 ะณะพะดะฐ, ะบะพะณะดะฐ ะฝะฐัะฐะปะฐัั ะปะตะฝะธะฝะณัะฐะดัะบะฐั ะฑะปะพะบะฐะดะฐ, ะะฝะฝะฐ ะั
ะผะฐัะพะฒะฐ ะฑัะปะฐ ัะฒะฐะบัะธัะพะฒะฐะฝะฐ ะฒ ะขะฐัะบะตะฝั. ะกัะธั
ะพัะฒะพัะตะฝะธั, ะฝะฐะฟะธัะฐะฝะฝัะต ะฒ ััะพั ะฟะตัะธะพะด, ะผะพะถะฝะพ ัะฐะทะดะตะปะธัั ะฝะฐ ะดะฒะฐ ััะดะฐ: ะพะดะฝะธ ะฟัะธะฝะฐะดะปะตะถะฐั ััะดั ะฒะพะตะฝะฝะพะน ะปะธัะธะบะธ, ะฐ ะดััะณะธะต โ ะปะธัะธะบะต ะพะฑ ะะทะธะธ-ะะพััะพะบะต. ะะตัะฒัะน ััะด ะฟะพัะฒััะตะฝ ะฝัะฝะตัะฝะตะผั ะฟะพะปะพะถะตะฝะธั ะพัะฐะถะดะตะฝะฝะพะณะพ ะะตะฝะธะฝะณัะฐะดะฐ, ะบะพัะพััะน ะฟัะตะพะดะพะปะตะตั ัััะพะฒัะต ะธััะพัะธ-ัะตัะบะธะต ะธัะฟััะฐะฝะธั, ะฐ ะฒัะพัะพะน โ ะฒะฝะตะธััะพัะธัะตัะบะพะน ะธ ะผะธัะธัะตัะบะพะน ะบะฐััะธะฝะต ะขะฐัะบะตะฝัะฐ, ะณะดะต ัะพั
ัะฐะฝัะฝ ะดัะตะฒะฝะตะนัะธะน ัะตะปะพะผัะดัะตะฝะฝัะน ะพะฑัะฐะท ะถะธะทะฝะธ ะธ ะฟัะธัะพะดั ะะทะธะธ-ะะพััะพะบะฐ. ะญัะพ ัะฐะทะฝะพัะพะดะฝะพะต ัะพะดะตัะถะฐะฝะธะต ะผะพะถะฝะพ ัะฐััะผะพััะตัั ั ัะพัะบะธ ะทัะตะฝะธั ะฟะพะธัะบะฐ ะดะฒะพะนะฝะพะน ัะฐะผะธะดะตะฝัะธัะฝะพััะธ โ ั โ ััััะบะธะน ะฝะฐัะพะด ะธ ั โ ะฐะทะธะฐัะบะฐ. ะัะผะตัะตะฝะฝะฐั ะดะฒะพะนะฝะฐั ัะฐะผะพะธะดะตะฝัะธัะฝะพััั ะดะฐะฝะฐ ะบะฐะบ ะฝะตะฟัะพัะธะฒะพัะตัะธะฒะพะต ะฝะฐัะฐะปะพ ะฒ ัะฐะผะบะฐั
ัะฐัะบะตะฝััะบะธั
ัะตะบััะพะฒ. ะะพ ะฐะฝะฐะปะธะท ััะธั
ะพัะฒะพัะตะฝะธั ยซะะท ัะธะบะปะฐ ะขะฐัะบะตะฝัะบะธะต ัััะฐะฝะธััยป, ะฝะฐะฟะธัะฐะฝะฝะพะณะพ 17 ะปะตั ัะฟัััั ะฟะพัะปะต ัะฒะฐะบัะฐัะธะธ, ะฟะพะบะฐะทัะฒะฐะตั, ััะพ ะดะฒะพะนะฝะฐั ะฟะพััะธัะตัะบะฐั ัะฐะผะพะธะดะตะฝัะธัะฝะพััั ัะพะดะตัะถะธั ะฒ ัะตะฑะต ะพัะธะตะฝัะฐะปะธััะธัะตัะบัั ะฐะฝัะธัะตะทั ะขะฐัะบะตะฝั-ะะพััะพะบ-ััะถะฑะธะฝะฐ vs. ะะตะฝะธะฝะณัะฐะด-ะะฐะฟะฐะด-ัะพะดะธะฝะฐ. ะ ะธะทะพะฑัะฐะถะตะฝะธะต ัะฐะผะพะณะพ ัะตะฑั ะบะฐะบ ัะฐะธะฝััะฒะตะฝะฝะพะณะพ ะผะธัะธัะตัะบะพะณะพ ะฑััะธั-ะฐะทะธะฐัะบะธ, ะบะพัะพัะพะต ะฟัะพะธัั
ะพะดะธั ะฒ ะปะธัะธะบะต ะพะฑ ะะทะธะธ-ะะพััะพะบะต, ััะธัะฐะตััั ะพะดะฝะธะผ ะธะท ัะฐะทะปะธัะฝัั
ะฐัะฟะตะบัะพะฒ ะตะดะธะฝะพะณะพ ะฟัะพัะตััะฐ ะฐั
ะผะฐัะพะฒัะบะพะน ะฐะฒัะพ-ะผะธัะพะปะพะณะธะทะฐัะธะธ
(A) study on analysis of increasing and decreasing factors of drug expenditure of outpatients
๋ณด๊ฑด์ ์ฑ
ํ๊ณผ/์์ฌ์ด ์ฐ๊ตฌ์์๋ ์ ๋ ์ํ ์ โงํ ์์ ์ธ๋ ํ์ ์ฝํ๋น ์ฆ๊ฐ์จ์ ์ดํด๋ณด๊ณ , ์ด์ ๊ด๋ จ ์์ธ์ ์ฒ๋ฐฉ์ ํ๋ ์์ฌ๊ฐ ์ํด ์๋ ์์ ์ผ๋ฐ ํน์ฑ(๋ํ์ ์ฐ๋ น, ๊ฐ์๊ธฐ๊ฐ, ์์ฌ์, ์ค๋ฆฝ๊ตฌ๋ถ, ์ธ๋ถ ํ์๊ณผ๋ชฉ), ์์ ์ง๋ฃ ํ์ ํน์ฑ(ํ์์, 65์ธ ์ด์ ๋
ธ์ธ ํ์ ๋น์จ), ๊ณผ๊ฑฐ ์๋ฒ์ฌ์
์ง์ญ ์ฌ๋ถ๋ก ๋๋์ด ๊ธฐ์ ๋ถ์๊ณผ ์นด์ด์ ๊ณฑ๊ฒ์ , ๋ก์ง์คํฑ ํ๊ท๋ถ์์ ์ค์ํ์๋ค.prohibitio
A Study on the Implementation of Institutional Direction of the Basic Income for Freedom
Benjamin Britten์ Songs from the Chinese Op.58 ์ฐ๊ตฌ
ํ์๋
ผ๋ฌธ (์์ฌ)-- ์์ธ๋ํ๊ต ๋ํ์ : ์์
๊ณผ, 2015. 2. ์ ์นํ.20์ธ๊ธฐ ์๊ตญ์ ์๊ณก๊ฐ์ธ ๋ฒค์๋ฏผ ๋ธ๋ฆฌํผ(Benjamin Britten, 1913-1976)์ ๋ฐ์ด๋ ์๊ณก๊ฐ์ด์ ํผ์๋์คํธ, ์งํ์์ด๋ค. ๊ทธ๋ ๋ง์ ์ํ๋ค์ ํตํด 17์ธ๊ธฐ ์ดํ ์นจ์ฒด๋์๋ ์๊ตญ์์
์ ๊ตญ์ ์ ์์ค์ผ๋ก ๋์ด์ฌ๋ ค ์๋ก์ด ๋ถํฅ๊ธฐ๋ฅผ ๋ง๋ จํ๋๋ฐ ๊ธฐ์ฌํ์๋ค.
๊ทธ์ ์ํ์ ์คํ๋ผ, ๊ดํ์
๊ณก, ๋ฐ๋ ๊ณก, ํฉ์ฐฝ๊ณก ๋ฑ ์ฌ๋ฌ ์ฅ๋ฅด์ ๋ถํฌ๋์ด ์๋ค. ํนํ ํผํฐ ํผ์ด์ค(Peter Pears 1910-1986)์์ ์ค๋ ํ๋ ฅ์ผ๋ก 100์ฌ๊ณก์ ์ฑ์
๊ณก์ ๋จ๊ฒผ๋ค. ๊ทธ๋ ๋ฌธํ์ ๊ฐ์์ฑ์ด ๋ฐ์ด๋ ์์ค ๋์ ์๋ค์ ์์ ๋ง์ ๋
์ฐฝ์ ์ธ ๊ฐ๊ณก๋ค์ ์ผ๊ณ , ์ฑ์
๊ฐ๋ก ํ์ฌ๊ธ ์์ ์์
์ ๊น์ ์ดํด๋ฅผ ํ์๋ก ํ๋ค.
๋ณธ ๋
ผ๋ฌธ์์๋ ๋ฒค์๋ฏผ ๋ธ๋ฆฌํผ์ ์์ , ์ํ๊ฒฝํฅ์ ์ดํด๋ณด๊ณ , ๊ทธ์ ๋ง์ ์ํ๋ค ์ค ์ค๊ตญ์ ์์ ๋ถ์ฌ์ง ๋
ธ๋(Songs from the Chinese) Op.58์ ๊ดํ์ฌ ์ฐ๊ตฌํ์๋ค.
1957๋
๊ฒจ์ธ์ ์ฐ์ธ ์ด ์ฐ๊ฐ๊ณก์ ๋ธ๋ฆฌํผ์ด ๋ฐ๋ฆฌ์ ์ผ๋ณธ์ ๋ฏผ์์์
์ ์ง์ ์ ํ๊ฒ ๋ ์ดํ์ ์๊ณกํ์ฌ ๊ทธ ์ํฅ์ ๋ธ๋ฆฌํผ ๋๋ฆ๋๋ก์ ์์ ์ด๋ฒ์ผ๋ก ํํํ๊ธฐ ์์ํ ์๋์ ์ํ์ผ๋ก์, ์ ์ผํ๊ฒ ๊ธฐํ ๋ฐ์ฃผ๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ง ์ฐ๊ฐ๊ณก์ด๋ค.โ
. ์๋ก
โ
ก. ๋ณธ๋ก
1. Benjamin Britten์ ์์ ์ ์ํ ๊ฒฝํฅ
A. Benjamin Britten์ ์์
B. Benjamin Britten์ ์ํ ๊ฒฝํฅ
2. ์ ๋ํ ์ฐ๊ตฌ
A. ์ํ ๊ฐ์
B. ๋ฐ๋ฆฌ ์์
์ ๋ํ Britten์ ๊ด์ฌ ๊ณ๊ธฐ
C. ์ํ ๋ถ์
1) The Big Chariot
2) The Old Lute
3) The Autumn Wind
4) The Herd-Boy
5) Depression
6) Dance Song
โ
ข. ๊ฒฐ๋ก
โ
ฃ. ์ฐธ๊ณ ๋ฌธํ
โ
ค. AbstractMaste
๋ฌดํ(็ก่ฆ) ์ฌ์ฌ๋ฃก(๏ฅฒๅจ้พ) ๊ต์ ์ถ๋ชจ ํน์งํธ : ํน์ง ; ๋ค๋ฅธ ์ธ๊ณ๋ก ๋จผ์ ๋ ๋ ์ฌ์ฌ๋ฃก ๊ต์๋ฅผ ์๊ฐํ๋ฉฐ
๊ตญ์ ํญ๊ณต์ ์ฑ ์ ์๋ก์ด ๋ฐฉํฅ(A new strategy for international aviation policy)
์ฐ์ก ๊นํ๊ธธ ๊ต์ ์ ๋ ํด์ ํน์งํธ : ์ฒ ํ์ ์ฐ์ก ์ ์ ์๋ฌ
"๋์ ์ํ์์ ๊ทธ ์ถ๋ฐ์ ์์ ํฐ ์ฐฉ์ค๋ฅผ ์ผ์ผ์ผฐ๋ค. ์ฒ์๋ถํฐ ํ์๊ฐ ๋๊ฒ ๋ค๋ ๋ชฉํ์ ์ค์ ๋ ์์ด ์ฐ์์ข์ํ๋ค๊ฐ ๊ทธ๋ญ์ ๋ญ ๋ํ๊ต์์ ์ง์ ์ป๊ฒ ๋์๊ณ , ๋ ๊ทธ๋ญ์ ๋ญ ์ธ์์ด ํ๋ฌ์ ์ ๋
์ ๋ง์ ๊ผด์ด ๋์๋ค. ๊ทธ๊ฒ์, ์์ ์ด ์ธ์ด ์ถ์ ์ค๊ณ์ ๊ทธ ์ค๊ณ์ ํ์ค์ ์ธ ์ฑ์ทจ๋ฅผ ๊ฒฌ์ฃผ์ด ๋ด์ผ๋ก์จ ๊ทธ ์ฌ๋์ ์ธ์์ ์ฑํจ๋ฅผ ์ธก์ ํ ์ ์๋ค๊ณ ํ ์กด ๋กค์ฆ์ ์๊ฒฌ์ ๋น์ถ์ด๋ณด๋ฉด, ๋ถ๋ช
ํ ํํญ์ ์คํจ์์ด๋ค." ์ด๊ฒ์ ์ฐ์ก ๊นํ๊ธธ ๊ต์๊ฐ ์ต๊ทผ ์ด๋ค ์๊ฐ์ง์ ์์ฒญ์ ๋ฐ๊ณ ์์ ์ ์ ๋
์ ๋ง์ดํ์ฌ ์ด ๊ธ์ ํ๋๋ชฉ์ด๋ค.
์ฌ๊ธฐ์ ์ฐ๋ฆฌ์ ์์ ์ ๋๋ ๊ฒ์ ๊ทธ๊ฐ ์๊ธฐ์ ์ถ์ ํ๋์ ์คํจ์์ผ๋ก ๋ฌ์ฌํ๊ณ ์๋ค๋ ์ ์ด๋ค. ใ์ฐ์์ข์ํ๋ค๊ฐใ๋ ๋ํ๊ต์์ ใ๊ทธ๋ญ์ ๋ญใ์ธ์์ด ๋ฐ๋ ค๊ฐ ๋ฒ๋ฆฐํ ์ฐพ์์จ ์ ๋
์ ๊ฐํ๋ฅผ ๊ทธ๋ ์คํจ์์ผ๋ก ๋ฌ์ฌํ๊ณ ์๋ค. ์ด์ฉ๋ฉด ๊ทธ๊ฒ์ ๋ฉ์๋ ์คํจ์์ธ์ง๋ ๋ชจ๋ฅธ๋ค. ๊ฐ์ ๊ธ์์ ์ฐ๋ฆฌ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ๊ทธ์ ๊ณ ๋ฐฑ์ ์ฝ์ ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ค. "๋ง์ผ์ ํ์์ฌํ๋ผ๋ ๋ง์ฑ์ ์ธ ํํ๋ง ์์๋๋ผ๋ฉด, ๋๋ ์ฒ ํ๊ต์๋ผ๋ ์ง์
์ ๊ฑฐ์ ์์ ํ ๋ง์กฑ์ ๋๊ผ์ ๊ฒ์ด๋ค.
In Honor of Prof. Kim Yersu
๊น์ฌ์ ์ ์๋์ ๋ด๊ฐ ๋ฏธ๊ตญ์์ ์ ํ์ ๋๋ด๊ณ 1973๋
๊ท๊ตญํ ํ ์ค๋์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ๋์
์์ ์ ๋๊ด๊ณ ์์์ ๋์ ์ถ์ ์ค์ํ ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ฐจ์งํ์ ๋ถ์ด๋ค. ์ฒ ํ์ ๋์
์๋ก์, ์๋ ๋ ๊ตฌ์ฒด์ ์ผ๋ก ๋ถ์์ฒ ํ์ ๋์
์๋ก์ ๊น์ฌ์ ์ ์๋๊ณผ ๋๋ ๋ ์ ์๋ ์ถ์ ๋งฅ๋ฝ์์์ ์ด์์๋ค. 1975๋
๊ฒฝ๋ถํฐ ํ๊ตญ์ฒ ํํ์ ๋ถ๊ณผํ๋์ ํ๋๋ก์ ๋ถ์์ฒ ํ ๋ชจ์์ด ์ข
๋ก์์ ์ ํ์ฅ๋ ๋ฐฉ์ ๋น๋ ค ์์ฃผ ๋ชจ์๋๋ฐ, ๊ทธ๋ ๊น์ฌ์ ์ ์๋์ ๋ฐ์์ ์ ์๋๊ณผ ์ํ๋ ฌ ์ ์๋, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ณธ์ธ๊ณผ ํจ๊ป ๋ค ๋ช
์ ์ด์์์์ผ๋ก ๋ถ์์ฒ ํ ๋ชจ์์ ๊พธ๋ ค์๋ค. ๋ฌผ๋ก ์ด๋ ๊ฒ ๋ค ๋ช
์ ์ด์์์ ์ค์ฌ์ ์ด์์ฒด์ ๋ก๋ถํฐ ํ์ฅ์ฒด์ ๋ก ์ด์์ ํ์ ํ์์ ๋, ๊น์ฌ์ ์ ์๋์ ๋ถ์์ฒ ํํ ํ์ฅ ์ผ์ ๋งก๊ธฐ๋ ํ์๋ค.
์๋ง๋ ๋์ ์ง๋ 25๋
์ ๊ฑธ์น ํ๋ฌธ ํ๋ ์ค ๋์ ๋๋ฆฌ์ ๊ฐ์ฅ ๊ฐ๋ ฌํ๊ฒ ๋จ์ ์๋ ๊ฒ์ ์์ธ๋์ ์ฒ ํ์ฌ์์ฐ๊ตฌ์๋ฅผ๋ง๋ค์ด ๊น์ฌ์ ์ ์๋๊ณผ ๋๋ถ์ด ์ฐ๋ฆฌ ๊ณผ ์ ์๋๋ค์ด ๋ถ์ฃผํ ๋ฐ์ด๋ค๋๋ ๋๊ฐ ์๋์๋๊ฐ ์ถ๋ค