마이크로비아에서 바닥 차오름을 위한 브로마이드 이온과 트라이에틸렌글라이콜을 기반한 평탄제의 구조적 요소들에 대한 전기화학적 연구

학위논문 (박사) -- 서울대학교 대학원 : 공과대학 화학생물공학부, 2021. 2. 김재정.구리 전해도금은 전자기기 산업에서 인쇄 회로 기판과 집적 회로에서의 배선을 위한 기술로서 공통적으로 이용되었다. 배선의 높은 신뢰성을 위해서는 다양한 첨가제들을 사용하면서 바닥 차오름을 형성하여야 한다. 이러한 첨가제들 중에서 평탄제는 마이크로비아의 바닥 차오름에 중요한 역할을 하며, 더 나은 채움 특성을 위해 평탄제의 개발은 필수적이다. 억제효과를 상승시키기 위해서 평탄제의 구조 변화는 필요하다, 그러나 구조에 따른 평탄제의 억제 거동에 대한 연구는 아직 불충분한 상태이다. 본 연구에서는 억제 세기를 상승시키기 위해 트라이에틸렌 글라이콜 기반의 평탄제들의 말단 작용기 그룹 그리고 4가 암모늄 그룹들과 같은 구조들을 조절하는 것과 브로마이드 이온과 가속제 사이의 상호작용에 대한 연구를 진행하였다. 첫번째 연구는 중합체의 억제제와 가속제의 흡착에 대한 브로마이드 이온들의 영향에 대해 살폈다. 비록 브로마이드 이온들은 반대 이온들로 사용되었지만, 무기 첨가제로서 적용을 할 수 있다. 브로마이드 이온들은 구리 표면에서 억제 효과를 보이고 억제제의 억제 층이 안정화 된다. 가속제와의 경쟁 흡착은 가속제와 브로마이드 이온들의 농도와 강제 대류에 좌우된다. 첨가제의 농도비가 특정 범위(0.2 < [SPS]/[Br] < 0.7) 안에서, 마이크로비아의 바닥 모서리에서 구리를 도금하고 위 표면을 억제함으로써 마이크로비아는 바닥 차오름을 형성 할 수 있다. 만약 이 농도 범위에서 벗어난다면, 등각 채움이 형성 된다. 브로마이드 이온은 첨가제들과 상호작용으로 형성된 억제 효과의 이유로 TEG 기반의 평탄제에서 반대이온으로서 선택되었다. 평탄제들은 부족한 억제를 보충하기 위해 구조를 수정할 필요성이 있으며 그 이유로는 아이오다이드 이온에서 브로마이드 이온으로 대체가 평탄제들의 억제 효과를 감소시키기 때문이다. 평탄제들의 억제 특성을 향상시키기 위해서, 말단 작용기들(알릴기, 프로필기, 벤질기, 그리고 나프틸메틸기)을 변화시키면서 TEG 기반의 평탄제들을 합성하였다. 모든 평탄제들에서, 나프틸메틸기가 포함된 평탄제가 가장 억제 효과가 크고 가속제에 의한 비활성화가 나타나지 않음을 보였다. 마이크로비아 채움에서, 평탄제를 포함한 세개의 첨가제들을 사용함으로써 채움 비율은 100%가 50분 안에 도달하였고 마이크로비아의 윗 부분 두께는 15 μm이었다. 결과적으로 나프틸메틸 작용기가 평탄제의 억제 세기를 향상 시키기 위해서 유리한 조건이었다. 게다가, 제4 암모늄 작용기는 양전하 때문에 평탄제의 흡착에 관련될 수 있다. 우리는 제4 암모늄 작용기의 수에 따른 평탄제들의 억제 효과를 또한 조사하였다. 세개의 암모늄 작용기를 포함한 평탄제는 이 연구에서 합성한 첨가제들 중에서 가장 강한 억제효과를 이끌었다. 그리고 평탄제와 가속제 사이에서의 상호작용이 경쟁 흡착 동안 상승적인 억제를 만들어내는 것을 보였다. 첨가제들의 특정 농도에서 세개의 암모늄 작용기가 있는 평탄제를 사용함으로써 바닥 차오름이 형성 되었고, 또한 전류 밀도를 15에서 30 mA/cm2 향상 시킴으로써 바닥 차오름을 얻을 수 있었다. 놀랍게도, 구리 도금 속도는 60분에서 30분으로 줄었다. 이러한 연구들은 구리 전해도금 산업에서 새로운 평탄제를 분석하고 제안하는데 있어 도움이 될 수 있다.Copper (Cu) electrodeposition is a commonly utilized technology for the metallization in printed circuit boards and integrated circuits in the electronics industry. For the high responsibility of metallization, bottom−up filling is achieved by using various additives. Levelers play a role in bottom−up filling of microvia among the additives, which is necessary to develop for better filling performance. It is necessary to modify the structure of levelers for enhancing the inhibition effect, but studies on the inhibition behavior of leveler according to structures are still insufficient. In this study, the interaction between bromide ions and accelerator and modifying the structures, such as terminal functional groups and quaternary ammonium groups, on triethylene glycol (TEG)−based levelers are examined to improve the inhibition strength. First study investigates the effect of bromide ions on the adsorption of polymeric suppressor and accelerator. Although bromide ions are used as the counter ions, they can be applied as the inorganic additive. Bromide ions indicate the inhibition effect and stabilize the inhibition layer of suppressor on the Cu surface. The competitive adsorption with the accelerator is dependent on the concentration of accelerator and bromide ions and the forced convections. In the range of concentration ratio (0.2 < [SPS]/[Br−] < 0.7), microvias can form bottom−up filling by depositing Cu at the corner of bottom in microvias and inhibiting the top surface of microvias. The conformal filling is achieved if the concentration ratio is out of that range. Bromide ions are chosen as the counter ions in TEG−based levelers because of the inhibition effect produced by the interaction with additives. Levelers are necessary to modify the structure for compensating the insufficient inhibition because the displacement of I− to Br− reduces the inhibition effect of levelers. To enhance the inhibition property of levelers, TEG−based levelers varying the terminal functional groups (allyl, propyl, benzyl, and naphthylmethyl) are synthesized. Among the synthesized levelers, the leveler composed of naphthylmethyl groups indicates the strongest inhibition effect and no deactivation by accelerator. In microvia filling, filling ratio reaches 100% within 50 min and the top thickness of microvia is 15 μm by using three−additives containing the leveler. As a results, naphthylmethyl groups are advantageous for enhancing the inhibition strength of leveler. In addition, quaternary ammonium groups can be related to the adsorption of levelers because of their positive charge. We also investigate the inhibition effect of levelers according to the number of quaternary ammonium groups. The leveler containing three−ammonium groups induces the strongest inhibition effect among the synthesized levelers in this study. And it shows that the interaction between the leveler and accelerator make the synergistic inhibition by the competitive adsorption. In specific concentrations of additives, bottom−up filling is formed by using the leveler with three−ammonium groups, which also can be achieved by enhancing the current density from 15 to 30 mA/cm2 in the accelerator and leveler composition. Astonishingly, the Cu deposition time is reduced from 60 to 30 min. These studies can be helpful for analyzing and suggesting new levelers in the Cu electrodeposition industry.Abstract....................................................................................................................... i List of Tables............................................................................................................... vi List of Figures............................................................................................................. vii Chapter I. Introduction.............................................................................................. 1 1.1. Cu interconnects in electronic devices........................................................ 1 1.2. Filling of microvia by Cu electrodeposition................................................ 6 1.3. Additives for bottom−up filling.................................................................. 10 1.4. Leveler and its structural characteristic....................................................... 14 1.5 Purpose of this study.................................................................................... 20 Chapter II. Experimental........................................................................................... 22 2.1. Electrochemical analyses............................................................................. 22 2.2. Microvia filling........................................................................................... 25 2.3. Additives for microvia filling...................................................................... 28 Chapter III. Results and Discussion......................................................................... 33 3.1. Bromide ions as the additive in microvia filling......................................... 33 3.1.1. Electrochemical behaviors of bromide ions and interaction with SPS........................................................................................................ 34 3.1.2. Microvia filling varying the concentration of Br− and SPS.................. 44 3.2. Terminal functional groups of levelers....................................................... 51 3.2.1. Inhibition effect with different terminal functional groups.................. 52 3.2.2. Interaction of levelers with the accelerator and the suppressor............ 59 3.2.3. Filling performance of microvia with synthesized levelers................. 64 3.3. Quaternary ammonium groups of levelers..................................................68 3.3.1. Electrochemical effect of ammonium groups...................................... 68 3.3.2. Microvia filling in high current density............................................... 77 Chapter IV. Conclusion.............................................................................................. 87 References....................................................................................................................91 국문 초록.................................................................................................................... 98 Appendix I................................................................................................................... 101 Appendix Ⅱ................................................................................................................. 122 Appendix Ⅲ................................................................................................................ 126Docto

제 83 차 실재론 - 반실재론 논쟁의 함정

전통적인 실재론과 반실재론의 논쟁에서는 인식론적 문제와 존재론적 문제가 혼재된 채 전개되었다. 이러한 논쟁의 해결을 위하여 다음과 같이 존재론적 논제와 인식론적 논제를 구분할 것을 제안한다. 논제 I(존재론적 논제): 나(나의 의식)로부터 독립된 그러그러한 대상(실재， 세계)이 존재한다. 논제 2(인식론적 논제): 진리는 그러그러한 실재와 문장(명제)에 대응한다

Анна Ахматова в Ташкенте(Anna Akhmatova in Tashkent)

안나 아흐마토바는 독소전쟁이 벌어지던 1941년 11월부터 1944년 4월까지 약 2년 반 동안 우즈베키스탄의 수도 타시켄트에 체류하였다. 전시의 타시켄트에서 아흐마토바는 예술가이자 애국적인 소비에트 시민으로서 창조적이고 풍요로운 삶을 살았다. 타시켄트 시절에 씌어진 그녀의 서정시들은 두 가지 계열로 나뉜다. 하나는 전쟁 시 계열이고, 다른 하나는 아시아-동방 시 계열이다. 전자에는 전쟁의 화염에 휩싸인 레닌그라드의 당대 현실이 형상화되는 반면, 후자에는 고대의 모습을 그대로 간직한 탈역사적인 타시켄트의 풍광이 그려진다. 타시켄트 시절을 특징짓는 창작의 두 갈래는 양 방향으로 이루어진 자기정체성의 탐색과 확립이라는 관점에서 고찰해볼 수 있다. 전쟁시 계열에서는 러시아인 혹은 러시아 국민시인으로서의 자의식이 두드러지는 반면, 아시아-동방 시 계열에서는 아시아와의 친연성, 아시아인으로서의 자기정체성이 부각된다. 아울러 후자에서는 타시켄트라는 구체적 지명이 줄곧 아시아 혹은 동방 이라는 보편적 범주로 대체되고, 시인의 또 다른 집 고향으로 간주되는 점이 특징적이다. 언급된 양 방향의 자기정체성 탐색은 일견 조화롭게 양립하는 듯하다. 그러나 유럽인-타지인으로서의 정체성을 뚜렷하게 표명하고 있으며, 타시켄트를 타향으로 규정하고 있는 시 「사이클 타시켄트의 지면들에서」에서 드러나듯이 그러한 이중적 자기정체성 탐색의 기저에는 레닌그라드-유럽-서방-고향 vs. 타시켄트-아시아-동방-타향이라는 오리엔탈리즘적 반정립이 작동하고 있다. Осенью 1941 года, когда началась ленинградская блокада, Анна Ахматова была эвакуирована в Ташкент. Стихотворения, написанные в этот период, можно разделить на два ряда: одни принадлежат ряду военной лирики, а другие – лирике об Азии-Востоке. Первый ряд посвящен нынешнему положению осажденного Ленинграда, который преодолеет суровые истори-ческие испытания, а второй – внеисторической и мифической картине Ташкента, где сохранён древнейший целомудренный образ жизни и природы Азии-Востока. Это разнородное содержание можно рассмотреть с точки зрения поиска двойной самидентичности – я – русский народ и я – азиатка. Отмеченная двойная самоидентичность дана как непротиворечивое начало в рамках ташкентских текстов. Но анализ стихотворения «Из цикла Ташкенские страницы», написанного 17 лет спустя после эвакуации, показывает, что двойная поэтическая самоидентичность содержит в себе ориенталистическую антитезу Ташкент-Восток-чужбина vs. Ленинград-Запад-родина. И изображение самого себя как таинственного мифического бытия-азиатки, которое происходит в лирике об Азии-Востоке, считается одним из различных аспектов единого процесса ахматовской авто-мифологизации

(A) study on analysis of increasing and decreasing factors of drug expenditure of outpatients

보건정책학과/석사이 연구에서는 제도 시행 전‧후 의원 외래 환자 약품비 증감율을 살펴보고, 이에 관련 요인을 처방을 하는 의사가 속해 있는 의원 일반 특성(대표자 연령, 개원기간, 의사수, 설립구분, 세부 표시과목), 의원 진료 환자 특성(환자수, 65세 이상 노인 환자 비율), 과거 시범사업 지역 여부로 나누어 기술 분석과 카이제곱검정, 로지스틱 회귀분석을 실시하였다.prohibitio

Benjamin Britten의 Songs from the Chinese Op.58 연구

학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 음악과, 2015. 2. 전승현.20세기 영국의 작곡가인 벤자민 브리튼(Benjamin Britten, 1913-1976)은 뛰어난 작곡가이자 피아니스트, 지휘자이다. 그는 많은 작품들을 통해 17세기 이후 침체되었던 영국음악을 국제적 수준으로 끌어올려 새로운 부흥기를 마련하는데 기여하였다. 그의 작품은 오페라, 관현악곡, 발레곡, 합창곡 등 여러 장르에 분포되어 있다. 특히 피터 피어스(Peter Pears 1910-1986)와의 오랜 협력으로 100여곡의 성악곡을 남겼다. 그는 문학적 감수성이 뛰어나 수준 높은 시들에 자신만의 독창적인 가곡들을 썼고, 성악가로 하여금 시와 음악의 깊은 이해를 필요로 한다. 본 논문에서는 벤자민 브리튼의 생애, 작품경향을 살펴보고, 그의 많은 작품들 중 중국의 시에 붙여진 노래(Songs from the Chinese) Op.58에 관하여 연구하였다. 1957년 겨울에 쓰인 이 연가곡은 브리튼이 발리와 일본의 민속음악을 직접 접하게 된 이후에 작곡하여 그 영향을 브리튼 나름대로의 서양 어법으로 표현하기 시작한 시대의 작품으로서, 유일하게 기타 반주로 이루어진 연가곡이다.Ⅰ. 서론 Ⅱ. 본론 1. Benjamin Britten의 생애와 작품 경향 A. Benjamin Britten의 생애 B. Benjamin Britten의 작품 경향 2. 에 대한 연구 A. 작품 개요 B. 발리 음악에 대한 Britten의 관심 계기 C. 작품 분석 1) The Big Chariot 2) The Old Lute 3) The Autumn Wind 4) The Herd-Boy 5) Depression 6) Dance Song Ⅲ. 결론 Ⅳ. 참고문헌 Ⅴ. AbstractMaste

우송 김태길 교수 정년퇴임 특집호 : 철학자 우송 선생 소묘

"나의 자화상은 그 출발점에서 큰 착오를 일으켰다. 처음부터 학자가 되겠다는 목표의 설정도 없이 우왕좌왕하다가 그럭저럭 대학교수의 직을 얻게 되었고, 또 그럭저럭 세월이 흘러서 정년을 맞은 꼴이 되었다. 그것은, 자신이 세운 삶의 설계와 그 설계의 현실적인 성취를 견주어 봄으로써 그 사람의 인생의 성패를 측정할 수 있다고 한 존 롤즈의 의견에 비추어보면, 분명히 한폭의 실패작이다." 이것은 우송 김태길 교수가 최근 어떤 월간지의 요청을 받고 자신의 정년을 맞이하여 쓴 글의 한대목이다. 여기서 우리의 시선을 끄는 것은 그가 자기의 삶을 하나의 실패작으로 묘사하고 있다는 점이다. 「우왕좌왕하다가」된 대학교수와 「그럭저럭」세월이 밀려가 버린후 찾아온 정년의 감회를 그는 실패작으로 묘사하고 있다. 어쩌면 그것은 멋있는 실패작인지도 모른다. 같은 글에서 우리는 다음과 같은 그의 고백을 읽을 수 있기 때문이다. "만일에 학원사태라는 만성적인 풍파만 없었더라면, 나는 철학교수라는 직업에 거의 완전한 만족을 느꼈을 것이다.

In Honor of Prof. Kim Yersu

김여수 선생님은 내가 미국에서 유학을 끝내고 1973년 귀국한 후 오늘에 이르기까지 동업자의 유대관계 속에서 나의 삶의 중요한 자리를 차지하신 분이다. 철학의 동업자로서, 아니 더 구체적으로 분석철학의 동업자로서 김여수 선생님과 나는 뗄 수 없는 삶의 맥락속에서 살아왔다. 1975년경부터 한국철학회의 분과활동의 하나로서 분석철학 모임이 종로서적의 회장님 방을 빌려 자주 모였는데, 그때 김여수 선생님은 박영식 선생님과 소홍렬 선생님, 그리고 본인과 함께 네 명의 운영위원으로 분석철학 모임을 꾸려왔다. 물론 이렇게 네 명의 운영위원 중심의 운영체제로부터 회장체제로 운영전환을 하였을 때, 김여수 선생님은 분석철학회 회장 일을 맡기도 하였다. 아마도 나의 지난 25년에 걸친 학문 활동 중 나의 뇌리에 가장 강렬하게 남아 있는 것은 서울대에 철학사상연구소를만들어 김여수 선생님과 더불어 우리 과 선생님들이 분주히 뛰어다니던 때가 아니었던가 싶다