Novel dielectric capping layer approach for advanced copper interconnects using chemical grafting

International audienceDue to its low bulk resistivity copper has become the material of choice for ULSI interconnects. However its high diffusivity in dielectrics and weak chemical bonding to low-k materials require a capping layer as diffusion barrier and to improve adhesion. In order to control the copper-capping layer interface and reduce the risk for electromigration, this paper presents a novel approach in which a dielectric capping layer was chemically grafted on copper lines prior to SiC(N) deposition. Selection of chemically graftable precursors consisted into compatibility tests of these precursors with both layers using adhesion measurements. The robustness to the SiC(N) deposition process was validated by exposing as-deposited films to reducing chemistry plasma at high temperature. Improved copper-capping layer interface quality is demonstrated by the enhancement of the interface adhesion energy on a 500 nm Cu/chemical grafting/40 nm SiN stack. Validation tests also included electrical measurements on two selected precursors

: Conséquences en santé et sécurité au travail dans les petites entreprises en France

rapport édité par l'INVS - co produit par les experts1er scénario : Un engagement fort et fructueux de l’État et des entreprises : un développement massifLes expert se placent en 2030 en imaginant que les années 2020 ont été marquées par une succession d’innovations scientifiques et techniques majeures dans différents domaines. Au cours de cette période, les investissements publics et privés alloués à des technologies nouvelles et prometteuses se sont ainsi très fortement accrus.Conséquences : On dispose à la fois des outils et de l’argent pour innover, produire et prévenir les risques. Les nouveaux produits sont correctement catégorisés ce qui permet la mise en place de moyens de prévention des risques professionnels adaptés.2ème scénario : Un rejet éclairé de la part de la société : un développement dans quelques rares filières stratégiquesConséquences : Dans un contexte d’opacité, les systèmes publics de prévention des risques professionnels ne sont pas les bienvenus dans les entreprises. Pour ces dernières, les interventions de l’Etat, à travers une application sans nuance du principe de précaution, peuvent peser gravement. 3ème scénario : Une mainmise industrielle : un développement dans des secteurs porteursConséquences : Le contrat individuel entre l’entreprise et le travailleur est devenu la règle. La prévention est strictement du ressort des entreprises et s’exprime majoritairement en termes de réparation et non pas en termes de prévention primaire. 4ème scénario : Une volonté régionale soutenue : un développement en fonction des compétences localesConséquences : La protection de la santé des travailleurs répond à des exigences très générales définies au niveau européen, mais elle est pilotée par les instances régionales

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