Особенности структурообразования вакуумно-дуговых покрытий на основе TiN

The structure and the phase composition of the TiN-based vacuum arc coatings alloyed by chromium and copper deposited from the separated plasma flows are investigated. It is determined, that multicomponent (Ti, Cr)N coatings represent the substitutional solution with fcc lattice on the base of titanium nitride It is established, that multicomponent TiN/Cu coatings consist of the basic nanocrystalline TiN phase, and the thin layer of the second Cu phase is on the grain boundary of the TiN phase and it blocks the grain growth of the main phase It is found, that the residual stresses in the coatings are considerably high - 15-17 GPa for (Ti, Cr)N and 9-10 GPa for TiN/Cu. It is determined, that the addition of the alloying element reduces the coherent-scattering region size to 6 nm - (Ti, Cr)N and to 20 nm - TiN/Cu in comparison with 30-40 nm for TiN.Приведены результаты исследований структуры и фазового состава вакуумно-дуговых покрытий на основе TiN, легированных хромом и медью, осажденных из сепарированных плазменных потоков. Установлены особенности структу-рообразования многокомпонентных покрытий в зависимости от вида легирующего элемента. Рассчитаны остаточные напряжения и определены размеры зерен в покрытиях

Evolution of structure and phase composition of vacuum plasma coatings alloyed by aluminium

В статье представлены результаты исследования структуры и свойств покрытий, нанесенных из разделенных вакуумно-дуговых разрядных потоков на основе TiN легированных алюминием. Рассмотрено влияние элементного состава покрытий на структуру, фазовый состав и их механические свойства. Определили, что покрытия, содержащие в гексагональной фазе Ti[3]Al[2]N[2], характеризуются высокой твердостью, низким коэффициентом трения, максимальными значениями упругого восстановления и сопротивления пластической деформации

Technological features of Ti–Cr–B–N coatings formation by magnetron sputtering method in a direct current

The results of the study of the phase composition and physical and mechanical properties of multicomponent coatings Ti– Cr–B–N formed by magnetron sputtering at a constant current from composite targets are presented. The features of phase formation of coatings when spraying targets containing titanium diboride (TiB2) or boron nitride (BN) as a boron-containing component are studied. The conditions of deposition of coatings with microhardness up to 32 GPA and heat resistance up to 800 °C are established