Особенности структурообразования вакуумно-дуговых покрытий на основе TiN

Abstract

The structure and the phase composition of the TiN-based vacuum arc coatings alloyed by chromium and copper deposited from the separated plasma flows are investigated. It is determined, that multicomponent (Ti, Cr)N coatings represent the substitutional solution with fcc lattice on the base of titanium nitride It is established, that multicomponent TiN/Cu coatings consist of the basic nanocrystalline TiN phase, and the thin layer of the second Cu phase is on the grain boundary of the TiN phase and it blocks the grain growth of the main phase It is found, that the residual stresses in the coatings are considerably high - 15-17 GPa for (Ti, Cr)N and 9-10 GPa for TiN/Cu. It is determined, that the addition of the alloying element reduces the coherent-scattering region size to 6 nm - (Ti, Cr)N and to 20 nm - TiN/Cu in comparison with 30-40 nm for TiN.Приведены результаты исследований структуры и фазового состава вакуумно-дуговых покрытий на основе TiN, легированных хромом и медью, осажденных из сепарированных плазменных потоков. Установлены особенности структу-рообразования многокомпонентных покрытий в зависимости от вида легирующего элемента. Рассчитаны остаточные напряжения и определены размеры зерен в покрытиях

    Similar works