L\u27herborisation A La Moucherolle Et Dans Ses Alentours

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Caractérisation optique de réseaux de diffraction submicroniques par des techniques génétique et neuronale

Les efforts consentis dans les années récentes dans la conception de réseaux de diffraction de période réduite ont conduit à atteindre les limites de résolution des différents techniques de caractérisation microscopiques utilisées jusqu'alors. De nouvelles méthodes doivent être mises au point afin de permettre une bonne adéquation entre les formes espérées et celles effectivement réalisées. Une solution efficace consiste à résoudre le problème inverse de la diffraction. Ainsi, il est possible de remonter au profil du réseau connaissant un certain nombre d'efficacités diffractées appelé signature optique sous un certaines hypothèses. Nous avons montré expérimentalement l'efficacité de deux méthodes basées d'une part sur l'utilisation des algorithmes génétiques et d'autre part sur les réseaux neuronaux. La première se révèle être d'une très grande robustesse et flexibilité. Le traitement de la seconde est extrêmement rapide et peut ainsi permettre un contrôle de l'homogénéité d'un réseauRecent development in the field of grating fabrication with submicrometer period leads to reach the resolution limit of classical microscopic caracterization techniques. New methods need to be finalised to produce a good checking of the realised structures. The resolution of the inverse scattering problem can be a good alternative. Thus, it is possible to reconstruct the grating profile from a set of diffracted efficiencies orders called optical signature under some hypothesis. The efficiency of two methods based respectively on the use of a genetic algorithm and a neural network is experimentally demonstrated. The first one is a robust and flexible technique. On the other hand, the speed of the second one permits to accomplish a control of the grating homogeneityST ETIENNE-BU Sciences (422182103) / SudocSudocFranceF

Caractérisation de réseaux optiques par l’utilisation de réseaux neuronaux

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Résolution d’un problème inverse par une approche neuronale. Application à la caractérisation de réseaux optiques

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Réduction du temps de contrôle de réseaux de diffraction submicroniques

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Resolution of inverse problem by use of a Neural Network: Application to the characterization of optical grating

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Control of the homogeneity of an optical grating by a neural characterization

International audienceProgress in microelectronics has allowed the fabrication of optical gratings with small period-to-wavelength ratios, which are very useful in several applications, such as telecommunication and optical sensors. A rapid and nondestructive characterization process is essential to check the agreement of the produced with the expected structure. The main difficulty is in assuring sufficient homogeneity all along the grating surface. We show that neural characterization coupled with neural selection can be efficiently applied to this quality measurement. Depicted results concern a 1-µm-period grating fabricated by reactive ion etching on a silicon substrate

Caractérisation de composants optiques par des techniques d’intelligence artificielle

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Optical control of the homogeneity of a silicon grating

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