Caractérisation optique de réseaux de diffraction submicroniques par des techniques génétique et neuronale

Abstract

Les efforts consentis dans les années récentes dans la conception de réseaux de diffraction de période réduite ont conduit à atteindre les limites de résolution des différents techniques de caractérisation microscopiques utilisées jusqu'alors. De nouvelles méthodes doivent être mises au point afin de permettre une bonne adéquation entre les formes espérées et celles effectivement réalisées. Une solution efficace consiste à résoudre le problème inverse de la diffraction. Ainsi, il est possible de remonter au profil du réseau connaissant un certain nombre d'efficacités diffractées appelé signature optique sous un certaines hypothèses. Nous avons montré expérimentalement l'efficacité de deux méthodes basées d'une part sur l'utilisation des algorithmes génétiques et d'autre part sur les réseaux neuronaux. La première se révèle être d'une très grande robustesse et flexibilité. Le traitement de la seconde est extrêmement rapide et peut ainsi permettre un contrôle de l'homogénéité d'un réseauRecent development in the field of grating fabrication with submicrometer period leads to reach the resolution limit of classical microscopic caracterization techniques. New methods need to be finalised to produce a good checking of the realised structures. The resolution of the inverse scattering problem can be a good alternative. Thus, it is possible to reconstruct the grating profile from a set of diffracted efficiencies orders called optical signature under some hypothesis. The efficiency of two methods based respectively on the use of a genetic algorithm and a neural network is experimentally demonstrated. The first one is a robust and flexible technique. On the other hand, the speed of the second one permits to accomplish a control of the grating homogeneityST ETIENNE-BU Sciences (422182103) / SudocSudocFranceF