Effect of deposition conditions and thermal annealing on the charge trapping properties of SiN[sub x] films

The density of charge trapping centers in SiNx:H films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition is investigated as a function of film stoichiometry and postdeposition annealing treatments. In the as-deposited films, the defect density is observed to increase with an increasing N/Si ratio x in the range of 0.89–1.45, and to correlate with the N–H bond density. Following the annealing in the temperature range of 500– 800 °C, the defect density increases for all N/Si ratios, with the largest increase observed in the most Si rich samples. However, the defect density always remains highest in the most N rich films. The better charge storage ability suggests the N rich films are more suitable for the creation of negatively charged nitride films on solar cells.Financial support from the Australian Research Council LP0883613 is gratefully acknowledged

Meningkatkan Hasil Belajar Siswa Pada Mata Pelajaran IPA Kelas V SDN 9 Bokat Dengan Memanfaatkan Lingkungan Sekolah

Penelitian ini dilatarbelakangi rendahnya hasil belajar siswa yang dapat dibuktikan dengan nilai rata-rata hasil belajar siswa kelas V SDN 9 Bokat pada mata pelajaran IPA. Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui peningkatan hasil belajar siswa kelas V SDN 9Bokat Kab. Buol pada pembelajaran IPA dengan memanfaatkan lingkungan sekolah. Jumlah siswa sebanyak 11 orang. Penelitian ini adalah penelitian tindakan kelas yang terdiri atas dua siklus. Rancangan penelitian mengikuti tahap penelitian yang mengacu pada modifikasi diagram Kemmis dan Mc. Taggart, yaitu 1) Perencanaan tindakan, 2) Pelaksanaan tindakan, 3) Observasi, dan 4) Refleksi. Teknik pengumpulan data yang digunakan adalah lembar observasi guru dan siswa, LKS untuk pengamatan siswa, serta tes hasil belajar siswa. Hasil penelitian menunjukkan bahwa terjadi peningkatan hasil belajar, dari siklus I ke siklus II. Peningkatan tersebut dibuktikan dengan hasil analisis tes hasil belajar siswa yang diperoleh pada siklus I, yakni siswa yang tuntas 7 dari 11 siswa atau persentase ketuntasan klasikal sebesar 63,6% dan daya serap klasikal 76,4%, serta aktivitas siswa dalam kategori baik. Pada siklus II siswa yang tuntas 9 dari 11 siswa atau ketuntasan klasikal 81,8% dan dan daya serap klasikal sebesar 81,8%, serta aktivitas siswa berada dalam kategori sangat baik. Berdasarkan hasil penelitian menunjukkan bahwa pemanfaatan lingkungan sekolah dapat meningkatkan hasil belajar IPA di kelas V SDN 9Bokat Kab. Buol

Modeling the charge decay mechanism in nitrogen-rich silicon nitride films

The stability of negative charge in nitrogen-rich silicon nitride films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition is investigated by analyzing the influence of storage temperature, postdeposition thermal annealing, and the presence of a tunnel oxide. The results are compared to a charge decay model. Comparison of experimental and modeled results indicates that (i) the tunnel oxide is almost entirely responsible for charge retention in samples with an oxide-nitride-oxide (ONO) structure, with the trap properties playing an insignificant role; (ii) thermionic emission over the tunnel oxide barrier is the limiting charge decay mechanism; and (iii) thermal annealing of the films at 800 °C leads to an increase in the oxide-nitride barrier height by ∼0.22 eV , which results in a significant increase in the charge stability. Annealed ONO samples are predicted to maintain a negative charge density of >5×10¹² cm¯² for well in excess of 100 years at a storage temperature of 100 °C .Financial support from Australian Research Council Grant No. LP0883613 is gratefully acknowledged

Membuka Pintu bagi Masa Depan : Biografi Sartono Kartodirodjo

xviii, 382 hlm. : Il.; 23 c

Krisis daya cipta Indonesia : Polemik Soedjatmoko versus Boejoeng Saleh

Indeksxxxviii, 114 hlm. : il. ; 20 cm

Sistem sosial Indonesia

vi, 122 hlm.; 21 cm

Metodologi sejarah

ix, 336 p. : ill.; 21 c

Memenuhi Panggilan Ibu Pertiwi Biografi Laksamana Muda John Lie

23 cm; 328 ha

Mata hari terbit dan tirai bambu : persaingan dagang Jepang-Cina

xi, 148 hlm.: ilus.; 21 c