Titanium oxynitride thin films sputter deposited by the reactive gas pulsing process

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Chromium multilayered thin films with orientated microstructure

Chromium thin films exhibiting a columnar microstructure have been prepared by dc magnetron sputtering. The glancing angle deposition (GLAD) technique and the substrate motion have been implemented to sculpt this typical columnar microstructure into desired zigzag shapes. By changing the direction of the incident flux of the species impinging on the substrate surface, the deposited films led to columns that are tilted with respect to the substrate normal. A systematic and periodic variation of the angle of incidence “$\alpha$” from -50 to 50$^{\circ}$ allowed to achieve chromium multilayered thin films with a controlled zigzag microstructure. The growth mechanisms and the morphology of such films have been investigated by scanning electron microscopy. The effect of the angle of incidence and the half-period (one layer thickness) “$\lambda$” (50 $< \lambda < 1000$ nm) on porosity, film microstructure, deposition rate, and surface properties have mainly been studied

Propriétés colorimétriques de couches minces d’oxynitrures de titane élaborées par pulvérisation cathodique réactive

Des couches minces d’oxynitrures de titane ont été déposées par pulvérisation cathodique réactive à l’aide d’une cible de titane, d’argon comme gaz neutre et d’azote comme gaz réactif. Deux méthodes ont été employées pour l’apport d’oxygène comme autre gaz réactif dans le procédé : l’utilisation de vapeur d’eau et le contrôle par débit pulsé d’oxygène. L’étude de la variation des couleurs, dans l’espace CIEL*a*b*, des dépôts élaborés sur substrat de verre a été menée pour les deux méthodes d’élaboration. Il est apparu un comportement similaire de la luminosité pour les deux séries de dépôts. En effet, celle-ci reste constante pour les faibles quantités d’oxygène dans les couches puis augmente plus ou moins brusquement jusqu’à atteindre une valeur seuil de 85 environ pour les couches de type oxyde. Les couples de coordonnées (a*, b*) suivent une tendance continue seulement dans le cas des couches réalisées par pulses d’oxygène. Ces propriétés colorimétriques seront comparées à la composition chimique et à la structure cristallographique des films