МОНИТОРИНГ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ГЕРМЕТИЗАЦИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

High reliability of ASICs in metal-ceramic packages at the stage of manufacturing is achieved as a result of minimization of moisture content inside the package and due to continuous measurements of parameters of the encapsulation environment. It is shown that the use of instruments for checking the conditions of contact welding and the instruments for complex measurements of parameters of the ambient environment of the encapsulation system has allowed to provide a continuous monitoring of the process parameters: welding current, temperature, dew point and relative humidity of an inert ambient environment. As the result of seam welding, increase of yield fitted in hermeticity over 99,0 % and decrease the moisture content inside the IC package to vol. 0,01–0,2 % has been reached.Высокая надежность интегральных схем специального назначения в металлокерамических корпусах на стадии производства достигается в результате минимизации содержания влаги в корпусе и постоянного измерения параметров среды герметизации. Показано, что использование приборов контроля режимов контактной сварки и приборов для комплексного измерения параметров атмосферы установки герметизации позволило осуществить постоянный мониторинг параметров технологического процесса – тока сварки, температуры, точки росы и относительной влажности инертной атмосферы. В результате мониторинга процесса шовно-роликовой сварки достигнуто увеличение выхода годных по герметичности более 99,0 % и снижение влаги в корпусах интегральных схем до 0,01–0,2 % объёмных

MONITORING OF IC ENCAPSULATION PROCESS

High reliability of ASICs in metal-ceramic packages at the stage of manufacturing is achieved as a result of minimization of moisture content inside the package and due to continuous measurements of parameters of the encapsulation environment. It is shown that the use of instruments for checking the conditions of contact welding and the instruments for complex measurements of parameters of the ambient environment of the encapsulation system has allowed to provide a continuous monitoring of the process parameters: welding current, temperature, dew point and relative humidity of an inert ambient environment. As the result of seam welding, increase of yield fitted in hermeticity over 99,0 % and decrease the moisture content inside the IC package to vol. 0,01–0,2 % has been reached

Determination of major and trace elements by inductively coupled mass-spectrometry in silicate rocks after fusion with LiBo₂

Оценена возможность одновременного определения широкого набора элементов методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (ИСП-МС) в силикатных породах после сплавления с метаборатом лития. Работа выполнена на стандартных образцах состава естественных горных пород. Определение всех элементов осуществляется в рамках одного измерения в режимах низкого, среднего и высокого разрешения масс-спектрометра c магнитным сектором ELEMENT с использованием внешней градуировки по стандартному образцу BHVO-1 и применением внутреннего стандарта. Правильность разработанной методики подтверждена сравнением результатов, полученных для 9 стандартных образцов, с принятыми значениями. Погрешность определения всех элементов в установленном диапазоне концентраций существенно не различается и составляет менее 10 %.The ability of simultaneous determination of great number of elements by inductively coupled plasma mass-spectrometry (ICP-MS) has been estimated in silicate rocks after fusion with LiBO₂. The objects of analysis were geological reference materials. Simultaneous determination of all elements is carried out in low, medium and high resolution using high resolution mass-spectrometer ELEMENT with external calibration of the reference material - BHVO-1 and the internal standard. The method has been validated through the analysis of nine geological reference materials. Relative standard deviations for all elements were lower than 10 % in the defined concentrations range and did not differ for the major and trace elements

Radiation-Induced Embrittlement of WWER-440 Reactor Pressure Vessel Steel under Loading.

Abstract not availableJRC.F-Institute for Energy (Petten