Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS

In diesem Beitrag werden die aktuellen Ergebnisse des Teilprojekts B8 aus dem SFB 516 „Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme“ vorgestellt. Ziel dieses Projektes ist es, eine geeignete Verbindungstechnik auf Basis von nicht-viskosen Klebstoffsystemen (Schmelzklebstoffe) für MEMS und MOEMS zu entwickeln. Dabei wird von vornherein auf die Automatisierbarkeit, die Prozessgeschwindigkeit und die Anwendbarkeit in einem Batchprozess geachtet. Es werden verschiedene Möglichkeiten vorgestellt, den Schmelzklebstoff aufzutragen. Des Weiteren wird eine Anlage zur Montage von mikrosystemtechnischen Komponenten vorgestellt, mit der das automatisierte Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile möglich ist. Dabei wird auch auf die erschiedenen Prozessvarianten zur Erwärmung der Bauteile bzw. des Schmelzklebstoffs eingegangen

Greifsysteme für das Fügen mit schmelzklebstoff-vorbeschichteten Bauteilen zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Bei der Fertigung dreidimensionaler (MEMS/MOEMS)-Strukturen durch hybride Integration von Einzelbauelementen zu einem Gesamtsystem werden aus prozesstechnischen und wirtschaftlichen Gründen in der Regel batchfähige Prozesse verwendet. Als wichtige Aufbau- und Verbindungstechnik hat sich dabei das Kleben etabliert. Im Rahmen des Sonderforschungsbereichs 516 wurde eine batchfähige Verbindungstechnik auf Basis von Schmelzklebstoffen entwickelt. Sie ermöglicht, Mikrobauteile vorzubeschichten und in einem anschließenden Fügeprozess diese Bauteile zu montieren. Dabei können auf Grund sehr schneller Abbindezeiten von Schmelzklebstoffen kurze Fügeprozesszeiten erreicht werden. Dieser Beitrag stellt Greifsysteme vor, mit denen mit Schmelzklebstoff vorbeschichtete Bauteile gefügt werden können. Dabei hängt die Wahl des einzusetzenden Greifsystems von der Prozessführung, der Wärmeführung sowie von den thermischen Eigenschaften des zu fügenden Bauteils ab

Eine batchfähige Verbindungstechnik auf Basis von Schmelzklebstoffen

Die hier vorgestellten Arbeiten des Teilprojekts B8 aus dem SFB 516 „Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme“ befassen sich mit der Montage aktiver Mikrosysteme. Dabei werden sensorgeführte Montageprozes se sowie die Verbindungstechnik auf Basis von nicht-viskosen Klebstoffsystemen (Schmelzklebstoffen) entwi ckelt. Bei diesen Entwicklungen wird der Fokus auf die Automatisierbarkeit, die Prozessgeschwindigkeit und die Anwendbarkeit in Batchprozessen gelegt. In diesem Beitrag werden batchfähige Applikationstechniken für den Auftrag von Schmelzklebstoffen, ein System für die sensorgeführte Montage sowie ein Montageprozess von schmelzklebstoffbeschichteten Mikrobauteilen am Beispiel der Montage eines Mikrolinearaktors vorgestellt