2 research outputs found
Elaboraci贸n del silicio poroso tipo p y caracterizaci贸n morfol贸gica mediante microscop铆a de fuerza at贸mica
Se presenta un sistema para la elaboraci贸n del Silicio Poroso (SP) tipo p y su caracterizaci贸n morfol贸gica. El SP es elaborado mediante un ataque electroqu铆mico de un cristal de silicio tipo p en una soluci贸n con acido fluorh铆drico (HF) dentro de una celda electroqu铆mica a la cual es aplicada una corriente constante mediante un electrodo de platino y otro de silicio con un contacto 贸hmico de plata. La caracterizaci贸n del SP se obtuvo mediante la t茅cnica de microscopia de fuerza at贸mica (AFM).Palabras clave: Semiconductor, Silicio poroso, ataque electroqu铆mico, 谩cido fluorh铆drico
Elaboraci贸n del silicio poroso tipo p y caracterizaci贸n morfol贸gica mediante microscop铆a de fuerza at贸mica
Se presenta un sistema para la elaboraci贸n del Silicio Poroso (SP) tipo p y su caracterizaci贸n morfol贸gica. El SP es elaborado mediante un ataque electroqu铆mico de un cristal de silicio tipo p en una soluci贸n con acido fluorh铆drico (HF) dentro de una celda electroqu铆mica a la cual es aplicada una corriente constante mediante un electrodo de platino y otro de silicio con un contacto 贸hmico de plata. La caracterizaci贸n del SP se obtuvo mediante la t茅cnica de microscopia de fuerza at贸mica (AFM)