5 research outputs found
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса