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Intérêt des tests biologiques réalisés sur l'humeur aqueuse en cas de toxoplasmose oculaire
POITIERS-BU MĂ©decine pharmacie (861942103) / SudocPARIS-BIUM (751062103) / SudocSudocFranceF
Mise en oeuvre de chitosan ou d'alginate en tant que masque de transfert dans des procédés de lithographie et de transfert
Brevet : N° de publication FR 15 53072 / Déposant cnrs / Date de dépot 09/04/2015 /no abstrac
Nanotechnologie Verte : des polymères de la biomasse comme résine éco efficiente pour la lithographie
11/06/2015International audienceEn micro et nanofabrication, la lithographie est devenue un procédé incontournable pour reproduire un motif sur un substrat. Les motifs sont, d’abord, réalisés dans une résine, une solution contenant un solvant organique et un polymère sensible à un rayonnement, étalée sur le substrat. Le motif est ensuite transféré au substrat (gravure ou dépôt) et la résine est éliminée. Les solvants et les polymères actuellement utilisés sont des produits organiques synthétiques pour lesquels se posent des questions d’impact environnemental, de gestion des déchets et leurs coûts et de dépendance au pétrole. Il est envisagé de remplacer les résines actuelles par des résines issues de la biomasse. Des polymères naturels ont été rendus photo ou électrosensibles par modifications chimiques (préparation de dérivés de polymères naturels, greffage de groupements) mais ne sont pas toujours solubles en milieu aqueux[1], [2]. Au contraire, certains polymères naturels sont utilisés sans préparation préalable en lithographie mais les mécanismes mis en jeu et l’étape de gravure, n’ont pas été étudiés [3]. Les objectifs de ce travail sont de développer des résines constituées de chitosane, polymère naturel soluble en milieu aqueux, pouvant faire des films, adhérent à notre substrat et résistant à la gravure et d’étudier les mécanismes mis en jeu et de comprendre la relation processabilité/structure. En lithographie électronique, il est apparu que certains paramètres structuraux et la teneur en eau sont des paramètres clés pour écrire sur un film de chitosane. En photolithographie, pour la dose délivrée, le chitosane n’est pas sensible aux UV. Des nanoparticules de dioxyde de titane ont été incorporées dans une solution de chitosane. Ceci a permis de le photosensibiliser mais a induit de nouvelles problématiques notamment liées à la dispersion des nanoparticules
Chitosan : a biopolymer as resist green lithography
International audienc
GreenLitho : Procédés éco-efficients de micro et nanofabrication utilisant des polymères issus de la biomasse
International audienc
Chitosan, an abundant biopolymer, as resist for green lithography
November 18-20 2015International audienceno abstrac