Investigation of particle agglomeration with in-situ generation of oxygen bubble during the tungsten chemical mechanical polishing (CMP) process

This research investigates abrasive particles agglomeration via interaction between O-2 bubbles and slurry abrasives during the tungsten chemical mechanical polishing (W CMP) process. The abrasive particles in slurry were highly agglomerated due to higher volumes of O-2 bubbles produced in the reaction between the catalyst Fe (NO3)8(3) and the oxidizer H2O2. Results obtained from a gas pressure sensor confirmed the generation of higher O-2 volume via the decomposition of H2O2 at a high catalyst concentration and an increase in reaction temperature. The decomposed O-2 volume rate at 80 degrees C was reported at the maximum value of 2.0 x 10(-2) L/s at 120 ppm as compared to the moderate and minimum rates of 3.5 x 10(-3) and 3.2 x 10(-4) L/s for catalyst concentrations of 60 and 30 ppm, respectively. Images of O-2 bubbles, captured using a high-speed camera, exhibited subsequent enhancement in average O-2 bubble diameters of 91, 427, and 503 mu m at 25, 60, and 80 degrees C, respectively. Analysis of surface scans confirmed large abrasive particles contamination on the TEOS wafer with an increase in the O-2 bubble flow rate and bubbling time. Also, large abrasive particles agglomeration was observed in the presence of O-2 bubbles as compared to no bubbles, as measured by dynamic light scattering DLS. It is believed that higher hydrophilicity of abrasive particles with O-2 bubbles increased the adhesive force between the abrasive particles and the in-situ generated O-2 bubbles. The high drag force generated during the collapse of O-2 bubbles is essentially attributed a strong attractive force between the abrasive particles and the TEOS wafer which strongly binds with the abrasive particles and intensifies the defect level as particle agglomeration

Infiltration assay and prognosis using immunohistochemical stain in gliomas

의학과/박사[한글]종양의 침윤성은 뇌종양의 조직병리학적 특징이다. 미세하게 침윤되어 있는 종양 세포를 효과적으로 차단할 수 있다면 악성 뇌종양의 국소적인 치료뿐 아니라 국소적이거나 원거리에서의 종양 재발도 막을 수 있을 것이다. 원발성 뇌종양중에서 가장 흔한 교종에서도 종양세포가 정상 뇌조직을 깊숙이 침윤하는 것을 관찰 할 수 있는데, 만약 이러한 침윤성을 억제할 수 있다면 교종의 치료 성적의 향상을 기대할 수 있을 것이다.종양의 침윤성을 개관적으로 분석하기 위한 면역조직화학적 염색방법은 종양의 조직학적 특성 뿐 아니라 부분적으로 종양의 유전적학 변이를 확인할 수 있는 가장 간편하면서도 임상에서 손쉽게 적용할 수 있는 강력한 검색 방법이다. 이 방법을 통해 교종의 침윤성에 관계된 여러 인자들의 면역 반응성을 측정하고, 이 결과를 환자의 예후 및 병리조직학적 특성(세계보건기구의 분류에 따른 4단계 분류)과 비교 분석하였다.총 41명(남자 19명, 여자 22명)의 환자가 이 연구에 포함되었다. 수술 받을 당시의 나이는 3세에서 63세까지 분포하였으며, 추적 관찰은 4개월에서 201개월이었다. 면역반응정도에 따라서 생존율에 차이를 보여준 것은 tenascin, collagen type IV, CD44, GFAP, Caspase 3 였으며, 비록 증명되지는 않았지만 가능성을 보여준 것은 vimentin과 Ki-67이다. 종양 등급과의 연관성이 드러난 것은 GFAP와 caspase 3였다.교종은 다양한 예후를 보이는 일련의 종양군이다. 흔히 사용되는 병리학적 분류만으로는 예후를 설명하기에 부족한 부분이 없지 않으므로 이상의 표지자들을 종양등급과 같이 예후 인자로서 활용한다면 조직병리학적 등급의 부족한 점을 보충할 수 있으며, 이로 인해 환자의 치료 성적을 향상시킬 수 있을 것이다. [영문]The invasiveness of tumors is the histopathological features of the brain tumors. Theoretically controlling the invaded tumor cells can helps us treat the local tumors and keep the tumors from recurring in the local or distant areas. Gliomas, the most common primary brain tumor, sometimes present the deep invasion to the normal brain tissues. If you can prevent the invasiveness, you can expect the improvement of the treatment outcome.You can detachedly analyze the invasiveness of the tumors using the immunohistochemical stains. The immunohistochemical stain is the easiest and the strongest clinical study with which you can reveal the histological characteristics and the genetical variations. Using the immunohistochemical stain, we surveyed the immunological responsiveness of the some markers, which has known to be related to the invasiveness of the gliomas. And we compared the result to the prognosis and histopathological characteristics (4 grades by world health organization).41 patients (19 men and 22 women) were included in this study. The age of the patients ranged from 3 to 63 years and the follow-up periods ranged from 4 to 201 months. The survival rates by immunoreactivity of the gliomas to the markers showed a difference in the markers: tenascin, collagen type IV, CD44, GFAP and caspase 3. The possible difference was noted in the markers; vimentin and Ki-67. The relationships between the immunoreactivity to the markers and the glioma grade were noted in the markers: GFAP and caspase 3. The glioma is a group of tumors that have a variety of prognosis. The prognosis cannot be always explained very well by the common histopathological classification. If we use the markers as the prognostic factors, we can compensate the paucity of the histopathological classification commonly used and we can expect the improvement of the treatment outcome.ope

유사구조와 개별적 변형에 의한 조각 제작 연구

학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :조소과 조소전공,1995.Maste

(The) role of foramen ovale electrode insertion in the temporal lobe epilepsy surgery.

의학과/석사[한글] 연구배경 : 약물에 반응하지 않는 내측기저(mesiobasal) 측두엽 간질 환자는 전측두엽절제술(anterior temporal lobectomy, ATL) 혹은 선택적인 편도핵-해마절제술( amygdalohippocampectomy,AHE)에 의해서 성공적으로 치료될 수 있다. 이들 환자의 수술전 평가에 있어서 심도 전극(depth electrodes) 혹은 경막하 조각 전극(subdural strip electrodes)과 같은 두개강내 전극(intracranial electrodes)의 역할은 잘 인식되어져왔다. 난원공을 통해 두개강내 전극를 넣는 방법은 1985년 Wieser등에 의해 처음으로 개발, 소개되었으며 이 방법은 측두엽 간질의 위치결정(localization) 및 범위결정(delineation)에 효과가 있는 것으로 보고되었다. 방법 : 1999년부터 2002년까지 난치성 측두엽 간질(intractable temporal lobe epilepsy)로 진단받은 27명의 환자에서 다극성 난원공 전극 삽입[multipolar foramen ovale electrode(FOE) insertion]이 시행되었다. 우리는 두개강외 뇌파검사(extracranial electroencephalography)상 측위화(lateralization)가 이루어지지 않은 경우나 두개강외 뇌파검사상의 측위화 결과가 핵자기공명영상(MRI)상의 내측 측두엽경화(mesial temporal sclerosis)와 일치하지 않는 경우에 난원공 전극 삽입을 하였다. 국소마취하에서 난원공 전극 삽입은 시행되었으며 그 방법은 Kirschner의 방법을 따랐다. 결과: 난원공 전극을 통한 뇌파검사 결과 27명 중 24명에서 발작 발병부위(seizure focus)를 밝힐 수 있었으며 그에 따라 전측두엽절제술을 하였다. 3명에서는 난원공 전극 뇌파검사로 측위화가 되지 않아서 심도 전극 삽입을 하였으며 이를 통해 발작의 발병 방향 및 부위를 밝혔다. 또한 이 3명에서도 이에 따라 수술이 진행되었다. 27명의 환자중 21명에서는 발작없음(seizure-free)으로서 Engel's classI,10명에서는 드문 발작( rare seizure)로서 Engel's class II,1명에서는 의미있는 호전(worthwhile improvement)로서 Engel's class IIl 의 결과를 보였다. 결론: 난원공 전극 삽입의 방법은 두개강외 뇌파검사상의 양측 내측기저 측두엽 발병의 발작에서 측위화를 하는데 유용하게 쓰일 수 있다. 이 방법은 심도 전극 혹은 경막하 전극에 비해서 상대적으로 침습적 정도가 약(less invasive)하며 더 안전하다고 할 수 있다. [영문] Background : Patients suffering from drug-resistant mesiobasal temporal lobe epilepsy can be successfully operated on by anterior temporal lobe resection(ATL) or selective amygdalo-hippocampectomy. During the presurgical evaluation, the role of depth electrodes and subdural strip electrodes for intracranial electroencephalographic recording has been well recognized. A technique of recording from the mesiobasal temporal lobe by inserting an intracranial electrode through the foramen ovale(FOE) was described by Wieser in 1985. They reported this technique could be used to localize and delineate the seizure focus in patients with the intractable temporal lobe epilepsy. Methods : From March 1999 to March 2002, a multipolar FOE analysis was used in 27 intractable temporal lobe seizure patients. We implanted the FOE in cases of non-lateralized seizure onset by the routine extracranial EEGs or EEG abnormalities inconsistent with the results of magnetic resonance imaging(MRI). Under local anesthesia, bilateral FOEs were implanted according to the techique introduced by Kirschner. Results : Telemetry recording from FOE; twenty-four patients revealed clear onset of seizures originating from one side of the MTL and underwent anterior temporal lobectomy(ATL), three patients had non-lateralized onset and underwent the depth electrode insertion. They underwent the ATL after depth electrode analysis. Twenty-one patients showed the seizure-free status after ATL(Engel's classifcation I ).Five patients had only rare seizures(Engel's classifcation II).One patient showed worthwhile improvement(Engel's classifcation III). Conclusions : The technique of FOE placement is reliable for lateralization of seizure onset not clearly captured by extracranial EEGs. This technique is less invasive and safer than the depth electrodes or subdural grids placements.ope

Dynamic Systems Simulator Improvement using Centralized Component Attribute Control and Diverse Communication Layers of Material and Information

학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :생태조경.지역시스템공학부(지역시스템공학전공),2007.Maste