Research of 6.835GHz Microwave Devices in Miniaturized Rubidium Atomic Clock

铷气室型原子频标结构简单、体积小、重量轻，并且具有良好的稳定性，因此得到了广泛应用。近年来，由于MEMS技术的迅速发展，以及小型原子钟在实际应用上的优越性，实现铷原子频标的微小型化成为各国的主要研究热点。针对铷原子频标的量子部分中需要提供6.835GHz的微波信号，本文主要从微小型化方向研究提供该信号的两种微波器件：介质谐振腔和MEMS电感，并对MEMS电感微制造过程中的电镀工艺做了详细研究。论文主要分为以下三个部分： 第一，对铷原子频标中6.835GHz微波谐振腔进行小型化研究，通过填充高介电常数的陶瓷介质来减小谐振腔的体积。首先，利用混合磁壁法分析介质谐振腔内电磁场分布和频率变化，并根据...Because of the simple structure, small shape, light weight and excellent stability, Rubidium standard has been widely used in many feields. Due to the rapid development of MEMS technology, to miniaturize the rubidium atomic frequency standard has been a major research in many countries. As the quantum part in the rubidium atomic clock needs a 6.835GHz microwave signal, this paper research the micr...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院_微电子学与固体电子学学号：1982011115286

Fabrication of high-quality micro-cavity for filter cell of rubidium atomic clock

在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯kOH溶液,并结合搅拌和超声等方法,对(100)硅片进行湿法腐蚀,并运用激光共聚焦扫描显微镜对腐蚀后的{111}表面进行粗糙度测量,表明运用超声腐蚀技术可以获得光滑的{111}腔体侧面。在此基础上,引入条形掩模凸角补偿方法进行微腔体腐蚀。实验结果表明:在80℃、质量分数为30%kOH、超声频率和功率分别为59 kHz和160 W的溶液中腐蚀,其{111}腐蚀表面粗糙度为0.117μM,同时条形的长度取1200μM时,可以获得平滑规整的微腔体。In chip-scale rubidium atomic clock,the Rb—87 filter is required to be loaded in micro-cavity,so present a new technology for fabrication of the high-quality micro-cavity.In order to gain smooth side surfaces,i.e.Si( 111) plane,of micro-cavity and to avoid undercutting at the concave corner,ultrasonic etching and concave corner compensation techniques are used.First,silicon( 100) wafer is wet etched in the pure KOH etching solution with ultrasonic and stirring,and the roughness of Si { 111 } wet-etched surface is measured by laser scanning confocal microscope( LSCM).On this basis,a strip mask compensation method for concave corner is adopted for micro-cavity etching.The results show that the etched Si{ 111} surface roughness can achieve 0.117 μm( RMS) in mass fraction 30 % KOH etching solution at 80 ℃ with ultrasonic frequency of 59 kHz and power of 160 W,and when the strip length is 1 200 μm,smooth micro-cavity can be obtained.福建省重大科技项目前期研究计划资助项目(2005HZ1021

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目的 研究高危型人乳头瘤病毒（HR-HPV）感染相关的宫颈病变程度与抗人乳头瘤状病毒（HPV）抗体水平的相关性,探讨HPV致病的免疫学问题。方法 选取2012年1月-2013年6月在该院妇产科门诊就诊的女性中选取60例病理确诊为女性宫颈病变（CINⅠ及以上）,且宫颈脱落细胞的DNA检测为HR-HPV阳性者为研究组,根据组织学检测结果将研究组进一步分为低度病变组30例（CINⅠ）和高度病变组30例（CINⅡ或Ⅲ）。对照组为经核酸检测无HPV感染且病理诊断未见癌前病变的门诊患者60例,按年龄进一步分为低年龄组和高年龄组。低年龄组和高年龄组与低度病变组和高度病变组的年龄差异无统计学意义（P〉0.05）。分别抽取研究组及对照组外周血,检测其抗HR-HPV L1 Ig G抗体及中和抗体滴度,比较研究组与对照组抗体阳性率及抗体滴度水平的差别。结果 研究组血清中的抗HR-HPV L1 Ig G抗体阳性率及抗体滴度均高于对照组（P〈0.05）;低度病变组患者血清中的抗HR-HPV的中和抗体滴度高于相应对照组（P〈0.05）,而高度病变组的抗HR-HPV的中和抗体阳性率及抗体水平与相应对照组比较差异无统计学意义（P〉0.05）。结论 宫颈病变患者血清中抗HR-HPV L1 Ig G抗体升高,说明HPV感染可引起机体的体液免疫反应。低度病变组的中和抗体水平相对较高,可能是机体产生的中和抗体阻止了病毒的进一步感染。高度病变组的Ig G抗体和中和抗体均低下,说明进入CINⅡ/Ⅲ后HPV已经逃避了免疫系统的监视。基金项目：厦门市科技局项目（3502220124050）;2011年福建省科技计划项目资助计划,青年创新项目（20111）00310517

中国现代花粉数据集

孢粉是重建古植被、古气候的重要基础数据。孢粉数据库对研究样点至区域和全球尺度上的古环境演变规律、古气候变化特征反演和古生物地球化学循环模拟等具有重要意义。该文收集整理了中国1960–2020年间发表和部分未发表的现代花粉数据记录,包括样品编号、采样位置、采样地经纬度和海拔高度、样品类型、数据来源、数据类型、周边植被信息、参考文献、花粉类群及其含量等信息;并对数据进行筛选和标准化等处理,由此整合为中国现代花粉数据集。该数据集由4 497个现代花粉采样点的数据信息组成,包括660个来自中国第四纪孢粉数据库数据,1 763个前期整理发表的数据和2 074个近期收集的数据,涵盖772个花粉类群。样品类型以土壤表层样品(3 332个)为主,苔藓样品以及湖泊、海洋表层样品等为辅,广泛分布于全国不同地理区域和植被类型中,其中以温带荒漠区域(24.91%)和亚热带常绿阔叶林区域(24.02%)最丰富,其次为温带草原区域(16.14%)和青藏高原高寒植被区域(15.83%)。数据按照来源可分为原始数据(58%)和数值化数据(42%);按照数据类型可分为原始统计粒数的样点(59%)和以花粉百分比表达的样点(41%)。半个多世纪以来,科研人员开展了大量的表层现代花粉取样和研究。本数据集虽然仅获取部分记录,但样点覆盖了我国绝大多数地区,可有效地用于古植被与古气候重建的现代孢粉与现代植被校验,并将为中国孢粉数据库的建立与更深入的孢粉研究提供数据支撑