铷气室型原子频标结构简单、体积小、重量轻，并且具有良好的稳定性，因此得到了广泛应用。近年来，由于MEMS技术的迅速发展，以及小型原子钟在实际应用上的优越性，实现铷原子频标的微小型化成为各国的主要研究热点。针对铷原子频标的量子部分中需要提供6.835GHz的微波信号，本文主要从微小型化方向研究提供该信号的两种微波器件：介质谐振腔和MEMS电感，并对MEMS电感微制造过程中的电镀工艺做了详细研究。论文主要分为以下三个部分： 第一，对铷原子频标中6.835GHz微波谐振腔进行小型化研究，通过填充高介电常数的陶瓷介质来减小谐振腔的体积。首先，利用混合磁壁法分析介质谐振腔内电磁场分布和频率变化，并根据...Because of the simple structure, small shape, light weight and excellent stability, Rubidium standard has been widely used in many feields. Due to the rapid development of MEMS technology, to miniaturize the rubidium atomic frequency standard has been a major research in many countries. As the quantum part in the rubidium atomic clock needs a 6.835GHz microwave signal, this paper research the micr...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院_微电子学与固体电子学学号：1982011115286
