一种三维纳米定位台控制系统设计

这篇文章描述了一种三维纳米定位台控制系统。本系统采用双处理器架构,将ARM在逻辑控制、人机交互的优势同FPGA硬件可编程、并行处理的优势互补,再搭载自行设计的高精度ADC电路及DAC电路,完成了对三维纳米定位台的高精度运动控制