基于稳定偏振VCSEL的光学矢量-矩阵乘法器

本发明公开了一种基于稳定偏振VCSEL为光源的光学矢量-矩阵乘法器系统,属于光计算机领域。本发明通过在VCSEL出射孔处加工一个亚波长光栅,从而大大减小了VCSEL光源出射光的偏振噪声,使其达到稳定,从而消除VCSEL光源偏振不稳定对光学矢量-矩阵乘法器运算造成的影响,同时用一路偏振光就可完成光学矢量-矩阵乘法的运算过程,大大简化了光学矢量-矩阵乘法器系统的结构。本发明实现了多灰度级的计算,提高了系统的计算精度,降低了系统设计加工与调节的难度,同时还降低了系统的生产成本

一种在微电子或光电子芯片上的光刻胶沉积的方法

本发明涉及一种在微电子或光电子芯片上的光刻胶沉积的方法,这种方法包括以下步骤:首先选取与芯片(4)厚度一致的基片(1),在基片(1)上沉积硬掩膜层(2)和光刻胶(3),用芯片(4)作为掩膜,光刻出中央开口的图形;腐蚀形成第一通孔(6),深刻蚀得到第二通孔(7);接着将光刻胶(3)和硬掩膜层(2)去除,得到甩胶套(8);然后将芯片(4)放入甩胶套(8)的第二通孔(7),甩胶套(8)固定在支撑薄膜(9)上,支持薄膜(9)固定在甩胶机上;将光刻胶(10)滴在芯片(4)表面进行甩胶,得到芯片表面厚度均匀的光刻胶(11)。该技术能够有效减少光刻胶边的厚度,提高芯片面积的利用率,并增加后续工艺的完整性

聚四氟乙烯清洗花篮改良结构

本实用新型涉及一种应用于半导体清洗工艺中的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构,其包括把手和一个以上花篮本体,所述把手上设置一个以上卡槽,所述花篮本体的一侧部设置可与所述卡槽紧密插接配合的突出部。所述卡槽优选采用T型卡槽。所述花篮本体上端面上分布二个以上可以容置硅片的浅槽。所述浅槽的槽底部设置复数个竖直通孔。本实用新型在保有现有聚四氟乙烯清洗花篮各种优点的同时,还可用于同时清洗多品种、多规格的多片小片,且其底部设置的通孔还提高了清洗的效率,再者,利用卡槽,尤其是T型卡槽固定花篮本体和把手,使得清洗花篮更加坚固耐用,且便于安装拆卸,并使得清洗花篮还易于运输和收储