Development and testing of a micromachined probe card.

This thesis is concerned with the design, fabrication and testing of micro scale probes. The probes were designed to act as temporary electrical connections to allow wafer level testing of integrated circuits. The work initially focused on the creation of free standing nickel cantilevers, angled up from the substrate with probe tips at the free end. These were fabricated using a novel method, combining pseudo grey scale lithography and thick photoresist sacrificial layers. Detailed analysis of the fabrication method, in particular the resist processing and lithography was undertaken and the limitations of the method explored.EThOS - Electronic Theses Online ServiceGBUnited Kingdo

Funktionale Schichten in Leiterplatten - Entwicklung von intelligenten Mikrovibrationssensoren in mehrdimensionaler Leiterplattentechnologie

Gegenstand der Arbeit sind kugelbasierte Mikrovibrationssensoren zur Bewegungserkennung. Sie werden zur Aktivierung elektronischer Systeme in Abhängigkeit ihres Bewegungszustandes genutzt und ermöglichen eine Reduktion der Energieaufnahme um einen Faktor 30 bei optischen Computermäusen. Zentraler Bestandteil der Arbeit sind die Herstellverfahren und Prozessketten zur Integration mechanischer Elemente und ungehäuster Siliziumchips in die Leiterplatte für den Aufbau der Sensoren