PERHITUNGAN FAKTOR KALIBRASI SENSOR AKSELEROMETER MMA7361L PADA KETIGA SUMBU DENGAN MENGGUNAKAN SIMULATOR ST-3176-TC-10

Abstrak Akselerometer adalah sensor percepatan yang banyak dipakai sebagai komponen utama dalam pembuatan IMU (Inertial Measurement Unit). Akselerometer MMA7361L merupakan sensor percepatan dengan 2 pilihan tingkat sensitivitas, yaitu 800 mV/g dan 206 mV/g. Sensor akselerometer yang dijual belum terkalibrasi, sehingga sensor harus dikalibrasi sebelum digunakan. Kalibrasi akselerometer dipengaruhi oleh tegangan catu daya, sehingga diperlukan catu daya yang stabil dalam pemakaiannya. Faktor kalibrasi merupakan faktor pengali yang mengubah data ADC keluaran sensor menjadi nilai percepatan hasil pengukuran. Alat utama yang digunakan untuk melakukan kalibrasi sensor dan pengujian sensor adalah simulator gerak 3 sumbu ST-3176-TC-10. Hasil pengujian menunjukkan bahwa sensor dengan tipe yang sama mempunyai faktor kalibrasi yang berbeda-beda, sehingga setiap sensor harus dikalibrasi sebelum digunakan. Faktor kalibrasi suatu sensor tidak dapat digunakan untuk sensor yang lain meskipun tipenya sama

KALIBRASI SENSOR MULTIGAIN AKSELEROMETER DENGAN ACUAN PERCEPATAN GRAVITASI BUMI

Akselerometer merupakan salah satu sensor percepatan yang banyak dipakai dalam pembuatan IMU (Inertial Measurement Unit). Sensor akselerometer dijual di pasaran dalam keadaan belum terkalibrasi, sehingga tidak bias langsung digunakan. MMA7361L merupakan akselerometer dengan 2 pilihan tingkat sensitivitas, yaitu 1,5 g dan 6 g, sehingga penggabungan 2 unit sensor tersebut dapat digunakan dalam perancangan sensor multigain. Kalibrasi akselerometer dipengaruhi oleh tegangan catu daya, sehingga diperlukan catu daya yang stabil dalam pemakaiannya. Keluaran sensor pada saat tidak ada eksitasi dari luar disebut sebagai nilai offset sensor. Kalibrasi sensor multigrain dapat dilakukan secara bersamaan dengan membandingkan percepatan gravitasi bumi. Alat utama yang digunakan untuk melakukan kalibrasi sensor dan pengujian sensor adalah simulator gerak 3 sumbu ST-3176-TC-10. Hasil pengujian menunjukkan bahwa sensor dengan tipe yang sama mempunyai sensitivitas dan nilai offset yang berbedabeda. Sensor MMA7361L 1,5 g mempunyai nilai sensitivitas yang lebih tinggi dan nilai (Root Mean Square Error) RMSE yang lebih rendah jika dibandingkan dengan MMA7361L 6 g

KALIBRASI SENSOR MULTIGAIN AKSELEROMETER DENGAN ACUANPERCEPATAN GRAVITASI BUMI Cover

eprints.undip.ac.id/7182

Design, Fabrication, Testing of CNT Based ISFET and Characterization of Nano/Bio Materials Using AFM

A combination of Carbon Nanotubes (CNTs) and Ion Selective Field Effect Transistor (ISFET) is designed and experimentally verified in order to develop the next generation ion concentration sensing system. Micro Electro-Mechanical System (MEMS) fabrication techniques, such as photolithography, diffusion, evaporation, lift-off, packaging, etc., are required in the fabrication of the CNT-ISFET structure on p-type silicon wafers. In addition, Atomic Force Microscopy (AFM) based surface nanomachining is investigated and used for creating nanochannels on silicon surfaces. Since AFM based nanomanipulation and nanomachining is highly controllable, nanochannels are precisely scratched in the area between the source and drain of the FET where the inversion layer is after the ISFET is activated. Thus, a bundle of CNTs are able to be aligned inside a single nanochannel by Dielectrophoresis (DEP) and the drain current is improved greatly due to CNTs` remarkable and unique electrical properties, for example, high current carrying capacity. ISFET structures with or without CNTs are fabricated and tested with different pH solutions. Besides the CNT-ISFET pH sensing system, this dissertation also presents novel AFM-based nanotechnology for learning the properties of chemical or biomedical samples in micro or nano level. Dimensional and mechanical property behaviors of Vertically Aligned Carbon Nanofibers (VACNFs) are studied after temperature and humidity treatment using AFM. Furthermore, mechanical property testing of biomedical samples, such as microbubbles and engineered soft tissues, using AFM based nanoindentation is introduced, and the methodology is of great directional value in the area