Entfernungsmessungen mit Genauigkeiten im Mikrometerbereich sind für die Regelung von industriellen Maschinen essentiell. In dieser Arbeit wird untersucht, welche Genauigkeiten mit FMCW‑Radaren, die eine zusätzliche Phasenauswertung einsetzen, erreicht werden können. In industriellen Anwendungen wird gezeigt, dass mit FMCW-Radaren Entfernungsmessungen in Bereichen ermöglicht werden, in denen es bisher nicht möglich war zu messen. Im Labor konnten Genauigkeiten < 1 μm nachgewiesen werden