力学所建成高能冲击磁控溅射装备系统并开放服务

表面工程提高材料摩擦磨损、耐腐蚀性能的同时,还赋予材料新的表面功能,为解决人类发展中遇到的资源、能源等问题起到了不可替代的重要作用.作为表面工程领域的重要分支,我国亟需提升物理气相沉积(PVD)的技术能力.在中国科学院装备研制项目的支持下,力学所先进制造工艺力学重点实验室镀层工艺力学与摩擦学

多功能材料表面性能试验仪

1) 薄膜表面形态检测 可进行表面粗糙度、膜厚的测量。 2) 薄膜表面压入分析 记载加载位移曲线，并辅以声发射检测。 可进行表面压痕、弹性模量的测量。 3) 薄膜划痕性能检测 记载加载摩擦力曲线，并辅以声发射检测。 可进行薄膜结合力的测量。 4) 膜层性能往复摩擦分析 记载单向或往复摩擦力曲线

一种切削刀具用耐高温氧化铝厚膜涂层的制备方法

本发明实施例提供一种切削刀具用耐高温氧化铝厚膜涂层的制备方法，该方法制备出的氧化铝厚膜涂层具有均匀致密的结构，最高获得了29GPa的硬度，接近于α‑Al2O3单晶材料的硬度值。在刀具本体材料和α‑Al2O3涂层之间设计如Ti/TiN结构的结合层/过渡层，对提高涂层和基体之间的结合强度有较大的益处，使得涂层材料具有良好的附着力，达到70N。同时实际的使用结果表明，涂覆有本实施例α‑Al2O3厚膜涂层的硬质合金刀具，可高速干切削硬度HRC63的淬火钢，且刀具刃口在1200℃切削，仍能保持良好的红硬性，与常规涂层刀具对比，低摩擦有效降低了由于高温粘附带来的切削力

一种提高大型模具PVD 膜层均匀性的方法

ZL201811549499.6一种提高大型模具PVD 膜层均匀性的方法-夏原、李光、高方

一种基于反应溅射迟滞效应的TiAlSiN涂层制备方法

本发明公开了一种基于反应溅射迟滞效应的TiAlSiN涂层制备方法，包括工件预处理、气路清洗、氩离子轰击、沉积结合层Ti、沉积过渡层TiN、沉积功能层TiAlSiN、冷却和出炉等步骤。本发明通过对反应溅射迟滞效应的“过渡模式”进行有效控制，在保证薄膜沉积速率的同时获得化学配比合适、结构性能优异的薄膜，解决了现有技术中存在的结构难以控制、沉积速率低、缺乏工艺稳定性和可重复性等问题，实现高硬度(38GPa)、低摩擦系数(0.3)、良好的附着力(大于80N)及耐高温性能好(超过1000℃)的TiAlSiN涂层的快速稳定制备，以该涂层制备的高速干切削刀具和高温成型模具在表面耐磨润滑及抗高温方面表现出很大的优势，具有巨大的经济和社会效益

Quantitative evaluation for magnetic field distribution of magnetron sputtering target

针对磁控溅射阴极靶磁场分布难以进行定量评价的问题,提出以磁场水平分量Bx的平行率Rk为量化指标,对磁场分布状态进行评价的新方法;采用有限元方法,模拟分析了磁控溅射阴极靶结构参数对磁场分布的影响规律,并利用Rk对结构参数的合理性进行了验证.结果表明,量化指标Rk可以有效地评价磁场分布的优劣,能够为磁场模拟及分析提供基础的科学判

Effects of PEO ceramic layer on load-bearing characteristics of DLC films on aluminum substrate

重载作用下,类金刚石(DLC)薄膜直接应用于铝合金等软金属基体上易发生脆性破裂和剥离而导致过早失效.针对这一问题,以PEO陶瓷层作为承载层,采用有限元数值计算方法,对复合涂层在均布接触载荷作用下的应力场进行研究.结果表明:陶瓷层可明显降低DLC膜的表面拉应力和界面剪应力,起到了良好的载荷支撑作用;陶瓷层厚度对涂层表面拉应力,界面及基体内剪应力的分布有显著影响,其中陶瓷层厚度与接触半宽比为0.150.30时,涂层可以获得较为合理的表面和界面应力场,从而改善DLC膜在铝合金基体上的摩擦磨损性