18 research outputs found

    GHz Range SAW Transducers Using Electron Beam Lithography

    Get PDF
    Nanometer electrodes of the order of 0.085 μm width have been fabricated using direct electron beam lithography, normal lift-off techniques and 0₂-plasma cleaning system. These techniques have been applied to Inter-Digital Transducers (IDТ) as surface acoustic wave (SAW) transducers in the GHz-range. We performed SAW filter experiments at GHz-range. Filters with minimum insertion loss of 16.0 dB at the center frequency of 5 GHz and 27 dB at 11 GHz were obtained.Zadanie pt. Digitalizacja i udostępnienie w Cyfrowym Repozytorium Uniwersytetu Łódzkiego kolekcji czasopism naukowych wydawanych przez Uniwersytet Łódzki nr 885/P-DUN/2014 zostało dofinansowane ze środków MNiSW w ramach działalności upowszechniającej naukę

    Low Energy Electron-Hydrogen Scattering

    No full text
    corecore