Pengaruh Holdingtime Proses Annealing terhadap Strukturmikrodan Morfologi Lapisan Tipis Barium Zirkonium Titanate

PENGARUH HOLDINGTIME PROSES ANNEALING TERHADAP STRUKTURMIKRODAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS BARIUM ZIRKONIUM TITANATE. Penumbuhan lapisan tipis Barium Zirconium Titanate (BZT)menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) yang disiapkan dengan spin coater telah berhasil ditumbuhkan di atas substrat Si. Variasi holding time proses annealing dilakukan untuk melihat struktur mikro (tingkat kekristalan) menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) dan morfologi (ukuran butir) menggunakan Scanning Electron Microscopy (SEM) dari lapisan tipis BZT. Hasil penelitian menunjukkan bahwa variasi holding timemengakibatkan berubahnya tingkat kekristalan, ketebalan dan ukuran butir lapisan BZT. Tingkat kekristalan makin tinggi seiring dengan bertambahnya holding time yang ditandai dengan makin besarnya intensitas. Tingkat kekristalan tertinggi pada holding time 4 jam yaitu sebesar 80%. Ketebalan lapisan makin tipis seiring dengan bertambahnya holding time. Lapisan tipis BZT dengan holding time 4 jam adalah yang paling tipis yaitu sebesar 570 nm. Ukuran butir bertambah besar seiring dengan bertambahnya holding time karena adanya proses difusi antar butir

PENGARUH HOLDINGTIME PROSES ANNEALING TERHADAP STRUKTURMIKRODAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS BARIUM ZIRKONIUM TITANATE

PENGARUH HOLDINGTIME PROSES ANNEALING TERHADAP STRUKTURMIKRODAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS BARIUM ZIRKONIUM TITANATE. Penumbuhan lapisan tipis Barium Zirconium Titanate (BZT)menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) yang disiapkan dengan spin coater telah berhasil ditumbuhkan di atas substrat Si. Variasi holding time proses annealing dilakukan untuk melihat struktur mikro (tingkat kekristalan) menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) dan morfologi (ukuran butir) menggunakan Scanning Electron Microscopy (SEM) dari lapisan tipis BZT. Hasil penelitian menunjukkan bahwa variasi holding timemengakibatkan berubahnya tingkat kekristalan, ketebalan dan ukuran butir lapisan BZT. Tingkat kekristalan makin tinggi seiring dengan bertambahnya holding time yang ditandai dengan makin besarnya intensitas. Tingkat kekristalan tertinggi pada holding time 4 jam yaitu sebesar 80%. Ketebalan lapisan makin tipis seiring dengan bertambahnya holding time. Lapisan tipis BZT dengan holding time 4 jam adalah yang paling tipis yaitu sebesar 570 nm. Ukuran butir bertambah besar seiring dengan bertambahnya holding time karena adanya proses difusi antar butir