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    Poly-elektronica zakboekje /

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    ELECTRON MICROSCOPICAL STUDY OF OXYGEN RELATED DEFECTS IN CZOCHRALSKI SILICON

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    Les défauts créés par un traitement à basse température du silicium Czochralski avec une teneur élevée en oxygène, sont étudiés par microscopie électronique à haute tension et à haute résolution.The defects formed during a low temperature treatment of Czochralski silicon with a high interstitial oxygen content are studied by both high voltage and high resolution electron microscopy
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