Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике

Основной целью научно-исследовательской работы является установление взаимосвязи технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) с термической стабильностью, механическими и трибологическими свойствами наноструктурных нитридных покрытий (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N. Для достижения поставленной цели решались следующие задачи: 1)проанализировать влияние технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) на элементный и фазовый состав нитридных покрытий; 2)изучить термическую стабильность нитридных покрытий при температуре отжига 873 К