Изучение процессов формирования массивов капель золота на подложках кремния методом высокотемпературного отжига

In this study, the peculiarities of the transformations of gold films deposited on the Si wafer surfaces as a result of high temperature anneals are investigated experimentally depending on the conditions of wafer surface preparation and the annealing regimes. The morphology and the distribution functions of the crystallites of gold films as well as the gold droplets formed as a result of anneals are studied as functions of annealing temperature, type of annealing (rapid thermal or rapid furnace annealing), and the state of the surface of Si wafers. The results obtained can be used for the controlled preparation of the arrays of catalytic gold droplets for subsequent growth of Si wire-like crystals.В роботі вивчено особливості трансформації золотих плівок, нанесених на поверхню кремнієвих пластин, в результаті високотемпературного відпалу в залежності від умов підготовки поверхні пластин та режимів відпалу. Морфологія і розподіл кристалітів плівок золота, а також масивів крапель золота, сформованих в результаті відпалу, досліджені як функції температури і типу відпалу (швидкий термічний або швидкий відпал в печі) та стану поверхні пластин Si. Отримані результати можуть бути використані для контролю виготовлення масивів каталітичних крапель золота для подальшого вирощування нитковидних кристалів Si.В работе изучены особенности трансформации золотых пленок, нанесенных на поверхность кремниевых пластин, в результате высокотемпературного отжига в зависимости от условий подготовки поверхности пластин и режимов отжига. Морфология и распределение кристаллитов пленок золота, а также массивов капель золота, сформированных в результате отжига, исследованы как функции температуры и типа отжига (быстрый термический или быстрый отжиг в печи) и состояния поверхности пластин Si. Полученные результаты могут быть использованы для контроля изготовления массивов каталитических капель золота для последующего выращивания нитевидных кристаллов Si