6 research outputs found

    プラズマ化学気相成長法により堆積したas-grownシリコン酸窒化薄膜の膜中欠陥に関する研究

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    取得学位:博士(工学),学位授与番号:博甲第708号,学位授与年月日:平成17年3月22
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