Дослідження спектральних залежностей коефіцієнта поглинання в тонких плівках гідрованого кремнію методом постійного фотоструму з модульованим збудженням

Spectral dependences of absorption coefficient in thin films of amorphous hydrogenated silicon are investigated. Silicon films were obtained by decomposition of monosilane and hydrogen mixture under hydrogen portion, corresponding to conditions of the beginning of nanocrystalline phase formation in structure of films. A new modification of the constant photocurrent method, based on the modulation of the exciting light flux, is developed and used to measure the spectral dependence of the absorption coefficient. The effect of illumination of different duration on films absorption spectra, measured by the proposed method, is investigated. According to the study of a-Si:H films, obtained under conditions corresponding to the beginning of formation of the crystalline phase, we can assume the presence of silicon nanocrystals in structure of the films and nanocrystals influence on the optical properties of a-Si:H.Исследованы спектральные зависимости коэффициента поглощения в тонких пленках аморфного гидрированного кремния, полученных разложением смеси моносилана и водорода при относительной доле водорода в газовой смеси, соответствующей условиям начала формирования нанокристаллической фазы в структуре пленок. Для измерения спектральных зависимостей коэффициента поглощения предложен и использован модифицированный метод постоянного фототока, основанный на модуляции возбуждающего светового потока. Исследовано влияние освещения различной длительности на спектры поглощения пленок, измеренных предложенным методом. По результатам исследования пленок a-Si:H, полученных в условиях, соответствующих началу формирования кристаллической фазы, можно предположить наличие в структуре пленок нанокристаллов кремния, влияющих на оптические свойства a-Si:H.Досліджено спектральні залежності коефіцієнта поглинання в тонких плівках аморфного гідрованого кремнію, отриманих розкладанням суміші моносілана і водню при відносній частці водню в газовій суміші, що відповідає умовам початку формування нанокристалічної фази в структурі плівок. Для вимірювання спектральних залежностей коефіцієнта поглинання запропонований і використаний модифікований метод постійного фотоструму, заснований на модуляції збудливого світлового потоку. Досліджено вплив освітлення різної тривалості на спектри поглинання плівок, виміряних запропонованим методом.За результатами дослідження плівок a-Si: H, отриманих в умовах, що відповідають початку формування кристалічної фази, можна припустити наявність у структурі плівок нанокристалів кремнію, що впливають на оптичні властивості a-Si: H