Effet de l’oxygène sur les radiations optiques émises lors de la pulvérisation de l’aluminium par un faisceau d’ions

La présence de l’oxygène au voisinage d’une surface métallique lors d’unbombardement ionique, provoque une décroissance du rendement totalde pulvérisation mais elle modifie considérablement les proportions desdiverses espèces éjectées de cette surface. Dans ce travail, nous noussommes intéressés à l’effet de l’oxygène sur la lumière émise lors de lapulvérisation d’une surface d’aluminium par des ions Kr+ d’énergiecinétique de 5 keV. Le spectre de luminescence relevé à une pression de10-7 Torr est comparé à celui mesuré lorsque la cible est soumise à uneatmosphère d’oxygène. L’examen des intensités des raies spectralesmontre que toutes les raies Al I manifestent une dépendance positiveavec la pression en oxygène alors que des raies Al II manifestent unedépendance négative. Nous avons aussi enregistré que des raies Al IIIrestent insensibles à la présence de ce gaz. Ces observations sontcomparées avec les spectres de luminescences de l’alumine bombardéedans les mêmes conditions expérimentales. Les résultats obtenus sontinterprétés dans le cadre du modèle de transfert d’électrons entre lasurface et la particule éjectée. La validité du modèle suggère qu'en présence de l'oxygène, une structure est formée et dont le schéma debandes d'énergie est intermédiaire entre celui de l'aluminium et celui del'alumine.Mots-clés : pulvérisation, émission optique, aluminium, alumine, modèlede transfert d’électrons; analyse de surface, spectroscopie optique