1 research outputs found
Protonnyalábos mikromegmunkálás = Proton beam Micromachinig
A tĂ©ma keretĂ©ben a mikromegmunkálás mĂłdszerĂ©t telepĂtettĂĽk az ATOMKI pásztázĂł proton mikroszondájához. Második lĂ©pĂ©sben kĂĽlönbözĹ‘ nyomdetektor Ă©s más reziszt anyagokat vizsgáltunk a mikromegmunkálás szempontjábĂłl. A megmunkált anyagok kĂĽlönbözĹ‘ jellemzĹ‘it vizsgáltuk a besugárzási paramĂ©terek fĂĽggvĂ©nyĂ©ben. Az előállĂtott eszközök (mikrostruktĂşrák) alkalmazási lehetĹ‘sĂ©geit fel kĂvántuk kutatni, mikrostruktĂşrákat állĂtottuk elĹ‘ demonstráciĂłs Ă©s konkrĂ©t alkalmazási cĂ©lbĂłl. A világon második kutatĂłcsoport lettĂĽnk e tĂ©mában, szerepĂĽnk azonban nem másodrendű. Kihasználva saját adottságainkat, a nemzetközi irodalomhoz Ăşj kutatási eredmĂ©nyekkel járultunk hozzá. Az ATOMKI pásztázĂł proton mikroszondája Ăgy egy Ăşj, perspektivikus alkalmazási terĂĽletet nyert. | We have installed the Proton Beam Micromachining (PBM) / P-beam Writing (PBW) method on the Scanning Nuclear Microprobe of ATOMKI. We have investigated various solid state nuclear track detector and other resist materials for micromachining properties. We have characterized various properties of materials as a function of irradiation parameters. We have explored the potential application areas of the produced microstructures. We have created products for demonstration and real application purposes. We became the second research group in the world in this field, but our role is not of secondary importance. Exploiting our resources, we have added new scientific results to the literature. The Scanning Nuclear Microprobe of ATOMKI has gained a new, prosperous application area